几种新型传感器.ppt

单击此处编辑母版标题样式,,单击此处编辑母版文本样式,,第二级,,第三级,,第四级,,第五级,,,*,第5章 新型传感器简介,5.1 CCD图像传感器,,5.2 触觉传感器,,5.3 光纤传感器,,5.4 磁性传感器,,5.5 集成温度传感器,,第5章 新型传感器简介,从第2章到第4章我们已经学习了十几种常用的传感器随着科学技术的发展，在不断发现新现象、采用新原理、开发新材料和采用新工艺的基础上，传感器技术得到了很大的进步与提高同时，与单片机或者微计算机相结合的智能式传感器、生物传感器也有了很大的发展新型传感器技术含量高、功能强，相对传统传感器具有很多优点了解和学习这些新型的传感器有助于我们打一大视野，及时了解、掌握新型传感器技术并加以应用本章将介绍最近几年发展起来的新型传感器，包括CCD图像传感器、触觉传感器、光纤传感器、磁性传感器和集成温度传感器返回,,5.1 CCD图像传感器,图像传感器是采用光电转换原理，用来摄取平血光学图像并使其转换为电子图像信号的器件图像传感器必须具有两个作用，一是具有把光信号转换为电信号的作用;二是具有将平面图像上的像素进行点阵取样，并把这些像素按时间取出的扫描作用。

电荷耦合器件又称为CCD器件，如其外形如,图5-1,所示，它是近年来新发展起来的一种半导体功能器件，能够把光学影像转化为数字信号下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,5.1.1 CCD图像传感器的结构,,CCD更接近于人的视觉的工作方式，只不过人眼的视网膜是由负责光强度感应的杆细胞和色彩感应的锥细胞分工合作组成视觉感应CCD经过长达35年的发展，大致的形状和运作方式都已经定型，如,图5-2,示为CCD的三层结构示意图，上层为增光镜头，中层为分色滤色片，下层为感光层第一层：增光镜头,,CCD 成像的关键是在于其感光层，为了扩展CCD 的采光率，必须扩展单一像素的受光面积感光面积不再由传感器的开口面积决定，而由微型镜片的表面积来决定上一页,下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,第二层 分色滤色片,,CCD 的第二层是“分色滤色片”，目前有两种分色方式：一是RGB 原色分色法，另一个则是CMYK 补色分色法RGB 原色分色法，几乎所有人类眼镜可以识别的颜色，都可以通过红、绿和蓝来组成CMYK 补色分色法，是由青洋红、黄、黑四个通道的颜色配合而成原色CCD 的优势在于画质锐利，色彩真实，但缺点则是噪声问题。

在印刷业中，CMYK 更为适用，但其调节出来的颜色不及RGB 的多上一页,下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,第三层 感光层,,,CCD 的第三层是“感光片”，这层主要是负责将穿过滤色层的光源转换成电子信号，并将信号传送到图像处理芯片，将影像还原感光层的基本组成部分是MOS 型光通量传感器如,图5-3,,所示一个图像传感器是由纵横方向上数千个光通量传感器组成的矩阵和控制水平方向与垂直方向扫描的移位寄存器组合而成的上一页,下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,5.1.2 CCD 传感器的工作过程,,如,图5-4,,所示为CCD 系统构成，主要由CCD 传感器、放大器、模数转换器和缓存构成其中，CCD 传感器由成像区、暂存区和水平读出寄存器三部分构成，每个成像单元称为一个像索（Pixel ) ，假定有,M,个转移沟道，每个沟道有N 个成像单元，那么整个成像区共有,M,*,N,个像索CCD 传感器的暂存区的结构和单元数与成像区相似，暂存区与水平读出寄存器均需作遮光处理上一页,下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,CCD 传感器工作时，图像经物镜在成像区成像，给成像区上面的电极加上适当的偏压时，光生电荷被收集到电极下方的势阱里，这样就将光学图像变成了电荷包图像。

当光积分周期结束时，加到成像区和暂存区电极上的时钟脉冲使所有收集到的信号电荷迅速转移到暂存区中，然后经由水平读出寄存器，在时钟脉冲控制下，通过输出极逐行输出一帧信息，在第一帧读出的同时，第二帧信息通过光积分又收集到势阱中，这样，就可以一帧一帧连续地读出上一页,下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,5.1.3 CCD 图像传感器的种类,,用于图像传感器的CCD 又称摄像或像敏CCD 它的功能是把二维图像光学信号转变成一维视频信号或数字信号从结构上可分为线阵CCD 和面阵CCD 两大类线阵CCD 结构简单，成本较低，可以同时储存一行电视信号，能够实现动态测量，并能在低照度下工作所以线阵CCD 广泛地应用于产品尺寸测量、非接触尺寸测量、条形码等许多领域面阵CCD的优点是结构较简单、容易增加像素数，缺点是CCD 尺寸较大、易产生垂直拖影上一页,下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,5.1.4 CCD 图像传感器的应用,,CCD 工件外形检测,,在机械零部件生产过程中，零件外径尺寸的测量占有重要地位，快速、准确地测量出零件的主要参数可以缩短整个产时的生产周期，并有利于实现自动化图5-6,,所示为CCD 工件尺寸检测系统组成框图。

该检测系统主要由传感器系统、测量平台、运动控制系统及软件系统等几部分构成上一页,下一页,返回,,5.1 CCD图像传感器,火车轴承滚子的表面探伤,,,磁粉探伤的原理是：当将滚子磁化后，磁力线在有表面缺陷的部位会发生变化，部分磁力线逸出，在缺陷处形成磁极，从而产生漏磁场；当在滚子表面喷洒荧光磁粉悬液时，磁粉将被吸附在漏磁场处形成磁痕，在紫外光照射的条件下，荧光磁粉将受激发射出荧光，由高像素CCD 摄像机对其进行摄像，经计算机进行相关图像处理后，对可疑缺陷进行增强显示并发出声响预警，同时将可疑缺陷图像输出打印，从而达到探伤的目的该自动检测系统主要由计算机、磁粉探伤机及控制部分、光学部分、图像处理部分、步进电机及控制等部分组成其系统组成框图如,图5-8,所示上一页,返回,,5.2 触觉传感器,触觉传感器的原型是模仿人的触觉功能，目的是通过触觉传感器与被识别物体的接触或相互作用来完成对被识别物体表面特征及物理性能的感知为了实现这一功能，研究者们设计了各种形式的触觉传感器以满足多种需要触觉传感器按传感原理基本上可以分为开关式、压阻式、压电式、光电式、电容式、电磁式等几类，下面分别介绍有代表性的几种触觉传感器。

下一页,返回,,5.2 触觉传感器,5.2.1 开关式触觉传感器,,开关式触觉传感器是用于检测物体是否存在的一种最简单的触觉制动器件开关内部分隔成两个电接点当一个电极上承受大于阀值的力时，该电极与另一个电极接触，这样可以用一个电路来检测该开关是否接触工业上利用小型开关阵列形成一种价廉触觉传感器，但是这种阵列的空间分辨率较低这种跟输出信号的二进制相对应的二值阵列触觉传感器，严重地限制、影响了其提供信息的质量图5-9,所示即为开关式传感器的原理图上一页,下一页,返回,,5.2 触觉传感器,5.2.2 光学式触觉传感器,,光照射到界面的角度通过界面法线测量若光照射到有机玻璃和空气界面的角度大于,θ,C,，则光沿着有机玻璃光波导传播，光波导表面跟外部物体接触时，接触点处全内反射被破坏，光从光波导相反一侧出射利用这种原理可以制成高分辨率的触觉传感器在实际应用中，通常用一块韧性的薄膜层设置在外部物体和光波导之间，以便保护光波导并隔断外部光源图5-10,所示为采用这种效应的触觉传感器原理图上一页,下一页,返回,,5.2 触觉传感器,5.2.3 压阻阵列触觉传感器,,压阻式阵列触觉传感器的基本结构是由外接引线、上（行）下（列）电极及压阻材料等构成，上（行）电极与下（列）电极相垂直，上（行）下（列）电极的交叉点定义为阵列触觉的一个触觉单元，外接引线从相互平行的触觉单元上引出，压阻材料放在上（行）下（列）电极中间，如图,5-11,所示。

在压阻式阵列触觉传感器中，最关键的构件是敏感材料和电极另外，各向异性压阻材料的应用也受到广泛的重视，如敏感材料在,z,方向有压阻变化特性，在,x , y,方向则无论受压与否，均有较大的阻值上一页,返回,,5.3 光纤传感器,光纤传感器相对于常规传感器具有以下特点：,,,1抗电磁干扰能力强,,2 灵敏度高,,3 重量轻、体积小,,4 适于遥测,,,由于光纤传感器的这些独特优点和广泛的潜在应用，使其得以迅速发展自1977 年以来已研制出多种光纤传感器，测量范围包括位移、速度、加速度、液位、压力、流量、振动、水声、温度、电流、电压、磁场和核辐射等下一页,返回,,5.3 光纤传感器,5.3.1 光纤的结构,,光纤由纤芯、包层及外套组成，如,图5-13,所示纤芯是山玻璃、石英或塑料等制成的圆柱体，一般直径约为5~150,μm,包在纤芯外的一层叫包层，材料也是玻璃或塑料等纤芯的折射率大于涂层的折射率，所以光纤具有使光束封闭在纤芯里面传输的功能外套起保护光纤的作用，它的折射率大于涂层的折射率人们通常把较长的或多股的光纤称之为光缆上一页,下一页,返回,,5.3 光纤传感器,5.3.2 光纤的工作原理,,下面以阶跃型多模光纤为例，来说明光纤的工作原理。

如,图5-14,所示，当光线从空气（折射率为,n,0,）中射入光纤的一个端面，并与其轴线的夹角为,θ,时，在光纤内折射成角,θ,,’,，然后以角 入射到纤芯与涂层的交界面上若入射角 大于临界角 ，则入射的光线就能在交界面上产生全反射，并在光纤内部以同样的角度反复包层全反射向前传播，直至从光纤的另一端射出若光纤两端同处于空气之中，则出射角也将为,θ,上一页,下一页,返回,,从空气中射人光纤的光并不一定都能在光纤中产生全反射，当入射的光线就不能在交界面产生全反射时，大部分光线将穿透包层而逸出，即漏光如果引人光纤的数值孔径NA 这个概念，则：,,,,,可以看出，纤芯与包层的折射率差值越大，数值孔径就越大，光纤的集光能力就越强上一页,下一页,返回,5.3 光纤传感器,,5.3.3 光纤的种类,,从构成光纤的材料来看，光纤可分为玻璃光纤和塑料光纤从性能和可靠性而言，不论是通信用光纤或传感用光纤，当前大多采用玻璃光纤光纤按其传输的模式，可分为单模光纤和多模光纤两类根据折射率的变化规律，光纤分为梯度型和阶跃型两种各种光纤如,图5-15,所示,上一页,下一页,返回,5.3 光纤传感器,,5.3.4 光纤传感器,,光纤传感器有功能型光纤传感器和非功能型光纤传感器两大类。

功能型光纤传感器,,功能型光纤传感器主要有光强调制型光纤传感器、光相位调制型光纤传感器、光偏振态调制型光纤传感器三种1）光强调制型光纤传感器,,光纤微弯位移（压力）传感器是光强调制型光纤传感器的一个典型例子，它是基于光纤微弯而产生的弯曲损耗原理制成的上一页,下一页,返回,5.3 光纤传感器,,2）光相位调制型光纤传感器,,光相位调制型光纤传感器是利用被测量引起光纤中光相位变化的原理制成的这种传感器具有灵敏度高、灵活性好和多样的特点常见的有迈克尔逊、马赫-琴特、萨占纳克和法勃-帕脱四种相位干涉型它们的共同点是：光源发出的光都要经棱镜分成两束或更多束的光，这些光沿不同的路径传播后，分离出的光束又组合在一起去激励一个光敏元件或显示干涉条纹如,图5-17,所示为利用马赫-琴特干涉仪测量压力或温度的相位调制型光纤传感器的组成原理图上一页,下一页,返回,5.3 光纤传感器,,3）光偏振态调制型光纤传感器,,偏振态调制型光纤传感器能检测出由于外界因索引起的光纤内部光的偏振态的变化最典型的是光纤电流传感器，其工作原理是根据磁旋效应做成的，主要应用于高压传输线中如,图5-18,所示为光纤大电流传感器原理框图。

除利用磁旋效应的光偏振调制外，还可以利用光旋效应、光弹效应、电光效应和电旋效应等制成光偏振态调制型光纤传感器，所以是应用很广、开发潜力很大的一类光纤传感器上一页,下一页,返回,5.3 光纤传感器,,非功能型光纤传感器,,光纤在这类传感器中只是作为传光的媒质，需要和其他敏感元件一起才能组成传感器其结构比较简单，并能充分利用光电元件和光纤本身的特点，因此目前很受重视常见的有光纤位移传感器、光纤温度传感器等1）光纤位移传感器,,光纤位移传感器是一种传输型光纤传感器，其原理如,图 5-19,所示光纤采用Y 型结构，两束光纤一端合并在一起组成光纤探头，另一端分为两支，分别作为光源光纤和接收光纤光从光源耦合到光源光纤，通过光纤传输，射向反射体，再被反射到接收光纤，最后由光电转换器接收上一页,下一页,返回,5.3 光纤传感器,,转换器接受到的光与反射体表面性质、反射体到光纤探头距离有关，当反射表面位置确定后，接收到的反射光光强随光纤探头到反射体的距离的变化而变化显然，当光纤探头紧贴反射片时，接收器接收到的光强为零随着光纤探头离反射面距离的增加，接收到的光强逐渐增加，到达最大值点后又随两者的距离增加而减小。

2）光纤温度传感器,,,图5-21,所示,把半导体材料用支架夹持在发射光纤和接收光纤之间，当温度变化时半导体的透光率随之变化，接收光纤接收到的光量也变化经后续电路处理后送显示电路显示上一页,返回,5.3 光纤传感器,,5.4 磁性传感器,磁是人们所熟悉的一种物理现象，因此磁传感器具有占老的历史最简单的把磁转换成电的磁传感器就是线圈，根据电磁感应定律，在切割磁通的电路里，产生的感应电动势与磁通的变化速率成正比随着科学技术的发展，利用磁场作用使物质的电性能发生变化的各种物理效应，制成了固体化磁传感器，从而使磁场强度转换为电信号磁传感器的种类较多，制作磁传感器的材料有半导体、磁性体、超导体等，不同材料制作的传感器其工作原理和特性也不相同本节重点介绍一些常用的磁传感器,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,5.4.1 磁敏电阻器,,将一载流导体置于外磁场中，其电阻随磁场变化而变化的现象称为磁电阻效应，简称磁阻效应磁敏电阻器就是利用磁阻效应制成的一种磁敏元件当温度恒定时，在弱磁场范围内，磁阻与磁感应强度B 的平方成正比用公式表示为：,,,,磁场一定时，迁移率高的材料磁阻效应明显图5-22,所示为利用这种效应制成的磁敏电阻器。

上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,5.4.2 磁敏二极管的工作原理和主要特性,,磁敏二极管的结构如,图5-23,（a）所示，图5-23 （b）为磁敏二极管的电路符号当对磁敏二极管加正向偏压，即P,+,接电源正极，N,+,接负极，则P,+,-I 结向I 区注入空穴，N,+,-I 结向,I,区注入电子，因而有电流,I,流过二极管电流,I,的大小将随外加磁场的变化而变化，具体情况如下（如,图5-24,） ：,,1)当外磁场B = 0 时，,磁感应强度的方向如图5-24 （a）,,2)当外磁场B = B,+,时，,磁感应强度的方向如图5-24 （b）,,3)当外磁场B = B,-,时，,磁感应强度的方向如图5-24 （c）,,上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,主要特性：,,（1）伏安特性磁敏二极管所加正向偏压与二极管流过电流的关系称为伏安特性，不同磁场作用下，其伏安特性不同2）磁电特性磁敏二极管输出电压的变比与外加磁场的关系称为磁电特性磁敏二极管随外加磁场方向的变化可以产生正负输出电压的变化，在正磁场作用下电压升高，在负磁场作用下电压降低磁电特性与线路的连接形式有关，通常有单只接法和互补接法两种电路基本形式。

上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,（3）温度特性磁敏二极管的温度特性是指温度的变化与输出电压变化之间的关系磁敏二极管的温度特性有正温度系数和负温度系数两种，如锗磁敏二极管是负温度系数，硅磁敏二极管是正温度系数4）频率特性磁敏二极管的频率特性取决于注入载流子在本征区域内被复合和保持动态平衡的时间，而与元件的尺寸大小无关，载流子复合和保持动态平衡的时间越短，频率特性越好.,上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,5.4 .3 磁敏三极管,,1.磁敏三极管的结构,,磁敏三极管的结构如,图5-28,所示在弱P 型或弱N 型本征半导体上用合金法或扩散法形成发射极、基极和集电极其最大的特点是基区较长，基区结构类似磁敏二极管，也有高复合速率的：,r,区和本征,I,区长基区分为运输基区和复合基区，运输基区主要是将发射极注人的载流子输运到集电极，复合基区的作用是使从发射极和基极注入的载流子复合上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,2. 工作原理,,现在以锗磁敏三极管为例来说明磁敏三极管的工作原理，如,图5-29,所示图a，b，c分别表示外磁场为0，正，负的情况由图可知，磁敏三极管在正反向磁场作用下，其集电极电流出现明显变化。

这样就可以利用磁敏三极管来测量弱磁场、电流、转速、位移等物理量上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,3 ．磁敏三极管的主要特性,,（1）磁电特性磁敏三极管的磁电特性是其应用的基础，在弱磁场作用下接近于一条直线，即集电极电流的变化随磁感应强度近似为线性关系2）伏安特性磁敏三极管的伏安特性与普通三极管的伏安特性相似，但电流放大倍数大3）温度特性磁敏三极管受温度影响较大，使用时必须进行温度补偿磁敏三极管的温度系数有正、负之分，硅磁敏三极管的温度系数为负，锗磁敏三极管的温度系数为正，因此可采用相反温度系数的普通三极管或磁敏二极管及电阻进行补偿上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,5.4.4 磁性传感器的应用,,磁性传感器除用于磁场的测量外，特别适宜作无触点开关、无接触电位计应用范围很广，如转速测量、风速测量、流量测量等1）无接触线位移传感器,,无接触线位移传感器主要用于测量位移或与位移量有关的机械量如尺寸、厚度、角度、位置和距离等图5-30,所示是一个三端差分型lnSb磁敏直线位移传感器永久磁铁处于左右两磁敏电阻各二分之一的中心位置，将分压比为50 ％的点作为位移原点上一页,下一页,返回,,5.4 磁性传感器,2）磁敏二极管漏磁探伤仪,,磁敏二极管漏磁探伤仪是利用磁敏二极管可以检测弱磁场变化的特性而设计的。

其原理如,图5-31,所示，漏磁探伤仪由激励线圈、铁心、放大器、磁敏二极管探头等部分构成3）磁敏三极管电位器,,利用磁敏三极管制成的无触点电位器原理图如,图5-32,所示将磁敏三极管置于磁场中，改变磁敏三极管基极电流，该电路的输出电压在0 . 7 ~15V 内连续变化，这样就等效于一个电位器，且无触点，因而该电位器可用于变化频繁、调节迅速、噪声要求低的场合上一页,返回,,5.5 集成温度传感器,最近几年出现了深受人们欢迎的集成温度传感器，集成温度传感器是利用晶体管PN 结的电流和电压特性与温度的关系，把敏感元件、放大电路和补偿电路等部分集成化，并把它们装封在同一壳体里的一种一体化温度检测元件它与半导体热敏电阻一样，具有体积小、反应快、线性好、性能高、价格低、抗干扰能力强等特点但由于PN 结受耐热性能和特性范围的限制，只能用来测150 ℃ 以下的温度集成温度传感器的输出形式分为电压型和电流型两类集成温度传感器除了测量温度外，还可用于温度补偿元件及家用电器中的温度控制元件，在工业领域得到了广泛应用下一页,返回,,5.5 集成温度传感器,5.5.1 半导体PN 结的伏安特性,,一般情况下，半导体PN 结的伏安特性用公式表示：,,,,,求得：,,,,,正向压降,U,与温度,T,近似成线性关系,,,,上一页,下一页,返回,,5.5 集成温度传感器,5.5.2 集成温度传感器的基本工作原理,,实际使用中，二极管作为温度传感器虽然工艺简单，但线性特性差，因而选择把NPN 晶体三极管的基极和集电极短接，利用基极和发射极作为感温元件。

这样更接近理想的PN 结特性目前在集成温度传感器中，都采用一对非常匹配的差分对管作为温度敏感元器件,,如,图5-33,是集成温度传感器基本原理图可以看出，如果保证 恒定， 与温度,T,成单值线性函数关系.,,上一页,下一页,返回,,5.5 集成温度传感器,5.5.3 电压输出型集成温度传感器,,,,电压输出型集成温度传感器电路原理如,图5 -34,所示当电流I,1,恒定时，通过改变R,1,的阻值，可实现I,1,=I,2,，当晶体管的β>1时，电路的输出电压可表示为：,上一页,下一页,返回,,5.5 集成温度传感器,5.5.4 电流输出型集成温度传感器,,电流输出型集成温度传感器的原理电路如,图5-35,所示流过电路的总电流,I,T,为：,,,,,,可以看出，当,R,和,γ,一定时，电路的输出电流与温度有良好的线性关系上一页,下一页,返回,,5.5 集成温度传感器,5.5.5 集成温度传感器应用,,LM135 / LM235 / LM335 系列电压输出型集成温度传感器的应用,,LM135/M235 / LM335 系列是一种精密的、易于标定的三端电压输出型集成电路温度传感器。

当它作为两端器件下作时，相当于一个二极管，其击穿电压正比于绝对温度，灵敏度为10 mV / K 、作为一个电压源，当工作电流在0 . 4-5 mA 范围内变化时，并不影响传感器的性能，因为它的动态电阻低于1欧姆 如果在25 ℃ 下标定，在100 ℃ 宽的温度范围内测量误差小于l ℃ ，具有良好的输出线性特性上一页,下一页,返回,,5.5 集成温度传感器,AD590,系列集成电路温度传感器及应用,,,AD590 是美国模拟器件公司生产的单片集成两端感温电流源，它是利用PN 结正向电流与温度的关系构成的电流输出型温敏传感器，管脚配置如,图5-38,所示1）AD590 基本应用电路,,如,图5-39,是AD590 用于测量热力学温度的基本应用电路2）AD590 虽是一种模拟温度传感器，但附加上一些电路可输出数字信号如,图5-40,所示，用AD590 和A / D 转换器7106 组成数字式温度测量电路上一页,返回,,图5-1 CCD外形图,返回,,图5-2 CCD的三层结构示意图,返回,,图5-3 MOS型光通量传感器,返回,,图5-4 CCD系统构成,返回,,图5-6 CCD尺寸检测系统组成框图,返回,,图5-8 火车轴承滚子表面磁粉探伤系统组成框图,返回,,图5-9 遮光板开关式触觉传感器原理图,返回,,图5-10 利用破坏全内反射原理的触觉传感器原理图,返回,,图5-11 压阻式阵列触觉传感器原理图,返回,,图5-13 光导纤维结构,返回,,图5-14 光纤的传光原理,返回,,图5-15 光纤的种类和光传播形式,返回,,图5-17 相位调制型光纤压力(温度)传感器组成原理图,返回,,图5-18 光纤大电流传感器原理框图,返回,,图5-19 光纤位移传感器原理,返回,,图5-21 结构型光纤温度传感器测温系统原理图,返回,,图5-22 lnSb半导体薄膜在磁场中的磁电阻效应,返回,,图5-23 磁敏二极管的结构和电路符号,返回,,图5-24 磁敏二极管工作原理,返回,,图5-25 磁敏二极管伏安特性,返回,,图5-28 磁敏三极管的结构与符号,返回,,图5-29 磁敏三极管的工作原理,返回,,图5-30 磁敏直线位移传感器工作原理及特性,返回,,图5-31 漏磁探伤仪的工作原理,返回,,图5-32 无触点电位器,返回,,图5-33 集成温度传感器的基本原理,返回,,图5-34 电压型集成温度传感器原理,返回,,图5-35 电流型集成温度传感器原理,返回,,图5-38 AD590系列集成电路管脚配置图,返回,a）AD590；b）AD592,,图5-39 AD590基本应用电路,返回,,图5-40 AD590数字式温度测量电路,返回,,,返回,,。