橡胶表面等离子处理技术介绍.pdf

什么是等离子体？  等离子体技术基于一个简单的物理原理如果获得能量供应，物质的状态将 发生改变：由固态液态，再由液态气态如果再向气体提供更多能量，气体 将发生电离，由气态高能等离子状态，这就是物质的第四种状态  等离子由美国物理化学家朗缪尔在1928年首次发现  等离子是部分或全部电离的气体，主要包括：电子、离子、 中性基团、分子和光子 朗缪尔 (美国, 1881.1.31 – 1957.8.16) 1932年诺贝尔化学奖得主 脉冲星磁层 闪电 核聚变 地球磁层 太阳风 日冕 金属中的电子 中性等离子中性等离子 电离层 辉光放电 高温等离子 低温等离子 太阳内部 白矮星 摄氏度 每立方厘米电子数 中性等离子体 现实中的等离子体 等离子体 固体 液体 气体 极光 冰 水 空气 等离子 自由电子 分子 受激分子 宇宙中99%以上的可见物质处于等离子体状态在地球上能够观察到的等离子的自 然形式是闪电，或者是南北两极出现的极光日食发生的时候，太阳周围明亮的光环（ 日冕），也是等离子的一种存在形式 如何产生等离子体? 等离子系统原理图 等离子发生系统 高频发生器 真空舱 电极 等离子作用原理? 原理一：带电离子 溅射侵蚀。

原理二：化学活性基团 化学侵蚀 Argon Plasma Physical Process SputteringAr++ArO..OCOOOxygen Plasma Chemical Process Organic RemovalHydrogen Plasma Chemical Process Oxide RemovalH.H.H HOOOH H.H.H..Ar+化学清洗工艺 化学清洗工艺 物理清洗工艺 项目 C F O N -C-N N-C=O -NH -NO 改性前 34.38 65.07 0.55 0.23 0 0 0 0 改性后 39.47 54.06 5.41 1.06 3.66 2 0.95 0.21 等离子体处理前后PTFE基材表面元素及化学键组成 At. % 等离子体处理前后PTFE基材的XPS（X射线光电子能谱仪）光谱 XPS表面分析 等离子处理前后对比 PBT表面粘附力测试：等离子处理前 PBT表面粘附力测试：等离子处理后 PTFE表面外观：等离子处理前 PTFE表面外观：等离子处理后 等离子处理前后对比 未处理的表面（<28mN/m) 处理过的表面（72mN/m) 水的表面能为72.6mN/m，通常水的浸润度可以表示表面处理的程度。

为了达到更好的 粘结，表面能有必要达到72mN/m 等离子处理前后对比 未处理表面 活化表面 活化表面 未处理表面 VS VS 等离子处理设备 空气等离子喷枪正在处理EPDM表面 低压等离子处理机 等离子处理在非极性橡胶制品的表面改 性中，引入了多种含氧基团，使表面由非极 性转化为有一定极性和亲水性，从而有利于 粘结和涂覆，提高耐磨性 氮气氮气(N2) 氧气氧气(O2) 氢气氢气(H2) 氩气氩气(Ar2) 四氟化碳四氟化碳(CF4) 等离子处理常用气体 。