电真空材料与工艺.ppt

电真空材料与工艺提出性能指标理论计算结构工艺设计成品管测试第一章 微波电真空工艺特点和电真空材料什么是微波电真空器件什么是微波电真空器件 ？？ 利用电子注与高频场的相互作用而实现利用电子注与高频场的相互作用而实现微波能量的产生和放大的器件微波能量的产生和放大的器件 工作环境：真空工作环境：真空 电子注与高频场的复杂性，决定了它的研电子注与高频场的复杂性，决定了它的研制必然是一种知识、技术密集型的过程制必然是一种知识、技术密集型的过程第一节 电真空工艺特点 1、、 使用材料广泛而特殊使用材料广泛而特殊广泛：包含了自然界中广泛：包含了自然界中70%以上的已知元素以上的已知元素 金属及合金、气体、介质材料、化学材料、金属及合金、气体、介质材料、化学材料、特殊材料特殊材料金属材料：气体：介质材料：玻璃陶瓷云母聚四氟乙烯、硅橡胶、环氧树脂、…… 化学材料： 硫酸、盐酸、硝酸、铬酸、丙酮、乙醇、硫酸、盐酸、硝酸、铬酸、丙酮、乙醇、汽油、三氯乙烯、四氯化碳、汽油、三氯乙烯、四氯化碳、…… 特殊材料：特殊材料： 发射材料、吸气材料、发光材料、封接材发射材料、吸气材料、发光材料、封接材料、二次电子发射材料、磁性材料、料、二次电子发射材料、磁性材料、… 1、、 使用材料广泛而特殊使用材料广泛而特殊特殊特殊 ：对材料的要求特殊：对材料的要求特殊 机械加工性能：机械加工性能： 既要易于加工，又要具有足够的强度；既要易于加工，又要具有足够的强度； 电磁性能：电磁性能： 高频机构的材料应具有良好的导电性，磁高频机构的材料应具有良好的导电性，磁体材料则应具有良好的磁性能等等；体材料则应具有良好的磁性能等等；真空性能：真空性能： 好的吸气或放气性能，低的饱和蒸汽压，好的吸气或放气性能，低的饱和蒸汽压，良好的气密性；良好的气密性；热性能：热性能： 热稳定性能、高温强度性能等；热稳定性能、高温强度性能等；封接（焊接）性能：封接（焊接）性能： 适当的膨胀系数、好的焊料浸润性能等适当的膨胀系数、好的焊料浸润性能等等；等；特殊材料的特殊性能：特殊材料的特殊性能： 发射材料的发射性能、抗中毒能力，吸发射材料的发射性能、抗中毒能力，吸气材料的吸气性能等等。

气材料的吸气性能等等第一节 电真空工艺特点1、使用材料广泛而特殊、使用材料广泛而特殊2、机械加工要求高、机械加工要求高 要求加工精度高要求加工精度高 （（0.01mm~0.02mm））表面光洁度要高表面光洁度要高 （粗糙度（粗糙度0.8~0.2或更高）或更高）第一节 电真空工艺特点3、设备专业性强、设备专业性强 ：按照特定工艺技术要求：按照特定工艺技术要求而设计制造的专用设备而设计制造的专用设备 加工制造设备加工制造设备真空设备真空设备涂覆设备涂覆设备 热处理设备热处理设备 焊接设备焊接设备 专用测试设备专用测试设备 第一节 电真空工艺特点4、生产技术复杂、生产技术复杂机械加工技术机械加工技术 半导体工艺技术半导体工艺技术 真空技术真空技术 焊接技术焊接技术玻璃、陶瓷及其封接技术玻璃、陶瓷及其封接技术 第一节 电真空工艺特点5、真空卫生严格、真空卫生严格 成品率、可靠性以及寿命成品率、可靠性以及寿命 ；； 固体污染物固体污染物 液态污染物液态污染物 第一节 电真空工艺特点6、工艺纪律严肃、工艺纪律严肃 严格按工艺规范生产严格按工艺规范生产 ，对工艺规范的修，对工艺规范的修改，都必须经充分试验，审批后才能实行改，都必须经充分试验，审批后才能实行第二节 电真空常用金属与合金难熔金属：熔点高，难熔金属：熔点高，3000℃℃ 左右。

左右W（钨）（钨）、、Mo（钼）、（钼）、Re（铼）、（铼）、Ta（钽）、（钽）、Nb（铌）等，用作器件中的加热体（阴极、（铌）等，用作器件中的加热体（阴极、热子）及高温工作零件（行波管螺旋线、热子）及高温工作零件（行波管螺旋线、管内阳极、聚焦极等）管内阳极、聚焦极等） 非难熔金属非难熔金属 ：熔点低，：熔点低，1000～～1500℃℃ 铜（铜（Cu）、镍（）、镍（Ni）、铁（）、铁（Fe）等及其合）等及其合金做结构零件金做结构零件 晶粒示意图2.1 难熔金属 （一）钨及钨合金（一）钨及钨合金性质：钨的比重达性质：钨的比重达19.1～～19.3克克/厘米厘米3钨的熔点高达的熔点高达3410℃℃ 用途：直热式阴极、热子材料用途：直热式阴极、热子材料合金合金 ：钨钼合金：钨钼合金 、钍钨丝、钍钨丝 、铼钨丝、铼钨丝 、钨、钨铜棒铜棒 2.1 难熔金属（二）钼及钼合金（二）钼及钼合金性质：比重性质：比重10.2克克/厘米厘米3、熔点、熔点2620℃℃纯钼的机械性能良好，因而易于加工纯钼的机械性能良好，因而易于加工 用途：做工作在用途：做工作在1000℃℃以下的电极以下的电极 合金合金 ：钨钼合金：钨钼合金 、钼铜、钼铜 2.1 难熔金属（三）钽铌（（三）钽铌（Ta－－Nb）合金）合金 性质性质 ：钽的熔点：钽的熔点2996℃℃，比重，比重16.6克克/厘米厘米3，铌的熔点，铌的熔点2415℃℃，比重，比重8.57克克/厘米厘米3。

强度高、抗疲劳、抗变形、抗腐蚀、导热、强度高、抗疲劳、抗变形、抗腐蚀、导热、及吸收气体等优良特性及吸收气体等优良特性 用途用途 ：阴极支持筒、热屏筒：阴极支持筒、热屏筒 等等2.2 非难熔金属 （一）铜（（一）铜（Cu）及铜合金）及铜合金性质性质 ：熔点为：熔点为1083℃℃，比重，比重8.95克克/厘米厘米3 ，良好导电、导热性能无磁性，有良好，良好导电、导热性能无磁性，有良好的耐腐蚀性，成本低的耐腐蚀性，成本低 用途用途 ：大量使用管内零件、管外零件大量使用管内零件、管外零件纯铜的牌号是纯铜的牌号是T1、、T2、、T3和和T4 无氧铜：无氧铜中氧的含量一般在无氧铜：无氧铜中氧的含量一般在0.001～～0.003%之间，杂质总量不超过之间，杂质总量不超过0.05% “氢病氢病”：氢气渗透到铜的内部，与铜中所：氢气渗透到铜的内部，与铜中所含的氧发生作用形成了水蒸气，在铜中形含的氧发生作用形成了水蒸气，在铜中形成很高的压力，使铜遭到破坏成很高的压力，使铜遭到破坏 塑性很好塑性很好 ；缺点是强度不高；缺点是强度不高 无氧铜牌号：无氧铜牌号：TU1、、TU2 弥散强化无氧铜：均匀掺入非常细小弥散强化无氧铜：均匀掺入非常细小（（<1μm）的硬化质点，比如）的硬化质点，比如Al2 2O3 3颗粒颗粒 强度高、导热导电性能好、热稳定性和气强度高、导热导电性能好、热稳定性和气密性高、无磁性、易于加工、与焊料浸润密性高、无磁性、易于加工、与焊料浸润性好性好 铜的合金铜的合金1、铜锌（、铜锌（Cu－－Zn）合金－黄铜）合金－黄铜 特点：强度比铜高、价格低；加热后蒸发特点：强度比铜高、价格低；加热后蒸发 严重严重 用途：管外零件，特别是微波元件、波导用途：管外零件，特别是微波元件、波导 最常用的黄铜是最常用的黄铜是H62，含铜量在，含铜量在60.5～～63.5% 铜的合金铜的合金2、铜镍（、铜镍（Cu－－Ni）合金－白铜）合金－白铜 3、青铜。

青铜 2.2 非难熔金属（二）镍（（二）镍（Ni）及镍合金）及镍合金性质性质 ：银白色的金属，熔点：银白色的金属，熔点1452℃℃，比重，比重8.9克克/厘米厘米3 ；抗拉强度较高，有好的延展；抗拉强度较高，有好的延展性和韧性、焊接性好、蒸汽压低、耐腐蚀性和韧性、焊接性好、蒸汽压低、耐腐蚀 用途用途 ：用于合金是电真空工业中应用最：用于合金是电真空工业中应用最广泛的金属之一广泛的金属之一 镍的合金镍的合金 蒙耐尔（蒙耐尔（Monel）合金：镍含量达）合金：镍含量达60～～70%、铜仅、铜仅25～～35% 白色的金属，外观与镍相似，它具有比镍白色的金属，外观与镍相似，它具有比镍更好的强度和塑性更好的强度和塑性 牌号：牌号：NCu40-2-1（含铜（含铜40%、锰、锰2%、铁、铁1%））2.2 非难熔金属（三）铝（（三）铝（Al）及铝合金）及铝合金性质性质 ：导电性好：导电性好 ；导热性好、塑性好、易；导热性好、塑性好、易加工密度加工密度2.7克克/厘米厘米3 缺点：熔点低（缺点：熔点低（658℃℃），高温强度差高温强度差用途用途 ：管外零件为主管外零件为主。

牌号：牌号：L1、、L2 硬铝（硬铝（AL-Cu-Mg）、（）、（Al-Cu-Mn））牌号：牌号：LY11、、LY122.2 非难熔金属（四）铁（（四）铁（Fe）及铁合金）及铁合金性质性质 ：与镍相似：与镍相似 ；熔点为；熔点为1537℃℃，密度，密度7.87克克/厘米厘米3 缺点：去气困难、易生锈缺点：去气困难、易生锈用途用途 ：利用软磁特性；作极靴、磁屏蔽：利用软磁特性；作极靴、磁屏蔽 不锈钢不锈钢 ：含铬：含铬17～～19%，含镍，含镍9%左右的左右的1Cr18Ni9 如果再加入如果再加入0.8～～1%的钛，则就的钛，则就成为成为1Cr18Ni9Ti 作为器件本身的结构件，也可以做真空作为器件本身的结构件，也可以做真空系统的管道和各种连接法兰系统的管道和各种连接法兰 作模具材料（黑化）作模具材料（黑化）2.3 贵金属金、银、铂、钯、铑、铯、锇、铱等八种金、银、铂、钯、铑、铯、锇、铱等八种金属金属 特点：化学稳定性、抗腐蚀性和抗电化学特点：化学稳定性、抗腐蚀性和抗电化学侵蚀性好，并具有优良的导电、导热性侵蚀性好，并具有优良的导电、导热性。

用途：利用其导电、导热性好作为引线、用途：利用其导电、导热性好作为引线、或者在波导内壁镀敷金、银；或者在波导内壁镀敷金、银； 作为焊料，如金、银、钯；作为焊料，如金、银、钯； 铂价格昂贵，用作钨钼材料焊接时的铂价格昂贵，用作钨钼材料焊接时的过度材料过度材料 第三节 常用介质材料 电真空器件的结构材料，除了大量使用各电真空器件的结构材料，除了大量使用各种金属和合金外，还广泛使用各种介质材种金属和合金外，还广泛使用各种介质材料，如玻璃、陶瓷、云母、硅橡胶、聚四料，如玻璃、陶瓷、云母、硅橡胶、聚四氟乙烯和衰减材料等等氟乙烯和衰减材料等等 主要介绍：陶瓷主要介绍：陶瓷‥‥普通陶瓷：高岭土的化学成分中含有大量的普通陶瓷：高岭土的化学成分中含有大量的AL2 2O3 3、、SiO2 2和少量的和少量的Fe2 2O3 3、、TiO2 2以及微以及微量的量的K2 2O、、Na2 2O、、CaO和和MgO等 3.1电真空陶瓷的特性（一）优点：（一）优点：1、陶瓷能在高温（达、陶瓷能在高温（达800℃℃）下正常工作；）下正常工作； 2、介质损耗小；、介质损耗小；3、可以加工得到精确的尺寸、可以加工得到精确的尺寸 ；；4、陶瓷的机械强度、化学稳定性、绝缘性、陶瓷的机械强度、化学稳定性、绝缘性能等等都优于玻璃。

能等等都优于玻璃 不足之处：不透明，制造和封接工艺相对不足之处：不透明，制造和封接工艺相对比较复杂比较复杂 ‥‥ 3.1电真空陶瓷的特性（二）用途：（二）用途：1、管壳、管壳 2、输能窗、输能窗3、支撑件、支撑件4、绝缘件、绝缘件 通常同一陶瓷零件同时起两三种作用通常同一陶瓷零件同时起两三种作用 ‥‥ 3.1电真空陶瓷的特性（三）性能：（三）性能：（（1）真空性能）真空性能a、气密性：阻止电真空器件外部的大气通过、气密性：阻止电真空器件外部的大气通过陶瓷进入器件内部的能力；陶瓷进入器件内部的能力；b、放气性、放气性 ‥‥3.1电真空陶瓷的特性（三）性能：（三）性能：（（2）热性能）热性能包括：导热系数、膨胀系数和热稳定性包括：导热系数、膨胀系数和热稳定性a、导热系数、导热系数 物理意义物理意义 热的来源热的来源 危害危害 ‥‥ 常用材料导热系数（单位：常用材料导热系数（单位：W/cm·K））Al2 2O3 3瓷瓷 0.1~0.3氧化铍瓷氧化铍瓷 2银银 4.29铜铜 3.86金金 3.17铝铝 2.37铁铁 0.8（（2）热性能）热性能b、膨胀系数、膨胀系数 膨胀膨胀——温度曲线的斜率温度曲线的斜率c、热稳定性、热稳定性 承受高低温冲击的能力承受高低温冲击的能力3.1电真空陶瓷的特性（三）性能：（三）性能：（（3）电性能）电性能a、介质损耗、介质损耗 一般都很小一般都很小 b、电绝缘性能、电绝缘性能体电阻体电阻 100℃℃时时 1013欧姆欧姆·厘米厘米 300℃℃时时 1012欧姆欧姆·厘米厘米 ‥‥3.1电真空陶瓷的特性（三）性能：（三）性能：（（4）机械性能）机械性能 取决于陶瓷的成分和密度取决于陶瓷的成分和密度（（5）其它性能）其它性能 密度、二次电子发射、抗辐射等性能密度、二次电子发射、抗辐射等性能 ‥‥3.1电真空常用陶瓷包括氧化物瓷、硅酸盐瓷、氮化物瓷等包括氧化物瓷、硅酸盐瓷、氮化物瓷等 主要介绍氧化物瓷、衰减瓷主要介绍氧化物瓷、衰减瓷‥‥3.2电真空常用陶瓷（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷： 包括有氧化铝（包括有氧化铝（Al2 2O3 3）瓷、氧化铍）瓷、氧化铍（（BeO）瓷、氧化镁（）瓷、氧化镁（MgO）和氧化锆）和氧化锆（（ZrO2 2）瓷）瓷‥‥3.2电真空常用陶瓷（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（（1）氧化铝瓷）氧化铝瓷 （（a））75瓷。

瓷Al2 2O3 3含量为含量为75%，烧成温度，烧成温度1400℃℃~1450℃℃ 瓷内含玻璃相较多，因此介质损耗较大瓷内含玻璃相较多，因此介质损耗较大（（3~8）） ×10-4 用途：用途：75瓷主要用作无线电元件而很少瓷主要用作无线电元件而很少用在电真空器件内用在电真空器件内‥‥单相单相单相单相AlAl2 2OO3 3陶瓷组织陶瓷组织陶瓷组织陶瓷组织3.2电真空常用陶瓷（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（（1）氧化铝瓷）氧化铝瓷 （（b））95瓷Al2 2O3 3含量为含量为95%，烧成温度，烧成温度1600~1620℃℃ 介质损耗小（介质损耗小（1.4~2.2））×10-4 导热性能和强度比导热性能和强度比75瓷高瓷高 用途：微波管的主要用瓷用途：微波管的主要用瓷 ‥‥3.2电真空常用陶瓷（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（（1）氧化铝瓷）氧化铝瓷 （（c））99瓷Al2 2O3 3含量达到含量达到99%，烧成温度，烧成温度更高更高 介电性能和强度等比介电性能和强度等比95瓷又有提高瓷又有提高 成本高成本高 用途：用于电真空器件中的关键部位用途：用于电真空器件中的关键部位 。

‥‥3.2电真空常用陶瓷（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（（（（1 1）氧化铝瓷）氧化铝瓷）氧化铝瓷）氧化铝瓷 （（（（d d）透明刚玉瓷）透明刚玉瓷）透明刚玉瓷）透明刚玉瓷 AlAl2 2OO3 3含量达到含量达到含量达到含量达到99.9%99.9%，烧成温，烧成温，烧成温，烧成温度度度度18001800℃℃℃℃和和和和5 5小时小时小时小时 性能非常好，特别是高频损耗比性能非常好，特别是高频损耗比性能非常好，特别是高频损耗比性能非常好，特别是高频损耗比9595瓷要低一瓷要低一瓷要低一瓷要低一个数量级，导热率又高，化学稳定性好个数量级，导热率又高，化学稳定性好个数量级，导热率又高，化学稳定性好个数量级，导热率又高，化学稳定性好 成本高成本高成本高成本高 用途：在少数场合下作微波管输出窗和特殊光用途：在少数场合下作微波管输出窗和特殊光用途：在少数场合下作微波管输出窗和特殊光用途：在少数场合下作微波管输出窗和特殊光源如钠灯、钾灯灯管等源如钠灯、钾灯灯管等源如钠灯、钾灯灯管等源如钠灯、钾灯灯管等 。

‥‥‥‥3.2电真空常用陶瓷（（一）氧化物瓷：一）氧化物瓷：一）氧化物瓷：一）氧化物瓷：（（（（1 1）氧化铝瓷）氧化铝瓷）氧化铝瓷）氧化铝瓷 （（（（e e）宝石）宝石）宝石）宝石 单晶刚玉通常称为宝石单晶刚玉通常称为宝石单晶刚玉通常称为宝石单晶刚玉通常称为宝石 ，，，，AlAl2 2OO3 3含量在含量在含量在含量在99.98~99.992%99.98~99.992%的的的的AlAl2 2OO3 3单晶体单晶体单晶体单晶体 很高的机械强度、耐高温、耐电子轰击、很低很高的机械强度、耐高温、耐电子轰击、很低很高的机械强度、耐高温、耐电子轰击、很低很高的机械强度、耐高温、耐电子轰击、很低的介质损耗、导热性与金属钛和不锈钢相当的介质损耗、导热性与金属钛和不锈钢相当的介质损耗、导热性与金属钛和不锈钢相当的介质损耗、导热性与金属钛和不锈钢相当 价格昂贵价格昂贵价格昂贵价格昂贵 用途：毫米波大功率微波管输出窗、螺旋线夹用途：毫米波大功率微波管输出窗、螺旋线夹用途：毫米波大功率微波管输出窗、螺旋线夹用途：毫米波大功率微波管输出窗、螺旋线夹持杆，常用于红外激光器、大规模集成电路外延持杆，常用于红外激光器、大规模集成电路外延持杆，常用于红外激光器、大规模集成电路外延持杆，常用于红外激光器、大规模集成电路外延的衬底、光学传感器、光通信器件的窗口等的衬底、光学传感器、光通信器件的窗口等的衬底、光学传感器、光通信器件的窗口等的衬底、光学传感器、光通信器件的窗口等 ‥‥‥‥3.2电真空常用陶瓷（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（（（（2 2）氧化铍瓷）氧化铍瓷）氧化铍瓷）氧化铍瓷 以氧化铍粉为原料，加入微量以氧化铍粉为原料，加入微量以氧化铍粉为原料，加入微量以氧化铍粉为原料，加入微量MgOMgO、、、、AlAl2 2OO3 3等添等添等添等添加物烧结而成，烧成温度达加物烧结而成，烧成温度达加物烧结而成，烧成温度达加物烧结而成，烧成温度达18001800℃℃℃℃~1850~1850℃℃℃℃。

性能：机械强度略低于氧化铝瓷，其膨胀系数、性能：机械强度略低于氧化铝瓷，其膨胀系数、性能：机械强度略低于氧化铝瓷，其膨胀系数、性能：机械强度略低于氧化铝瓷，其膨胀系数、介电强度、介质损耗都与氧化铝瓷接近介电强度、介质损耗都与氧化铝瓷接近介电强度、介质损耗都与氧化铝瓷接近介电强度、介质损耗都与氧化铝瓷接近 特点：是具有与金属可以比拟的导热能力，它特点：是具有与金属可以比拟的导热能力，它特点：是具有与金属可以比拟的导热能力，它特点：是具有与金属可以比拟的导热能力，它的导热系数与纯铝接近，是的导热系数与纯铝接近，是的导热系数与纯铝接近，是的导热系数与纯铝接近，是9595瓷的十倍瓷的十倍瓷的十倍瓷的十倍 ‥‥‥‥3.2电真空常用陶瓷（一）氧化物瓷：（一）氧化物瓷：（（2）氧化铍瓷）氧化铍瓷 用途：氧化铍是一种低损耗、高导热的绝用途：氧化铍是一种低损耗、高导热的绝缘材料，是制造大功率输能窗和大功率行缘材料，是制造大功率输能窗和大功率行波管螺旋线夹持杆的理想材料，也广泛用波管螺旋线夹持杆的理想材料，也广泛用作大功率半导体器件的热沉材料作大功率半导体器件的热沉材料 氧化铍的粉尘有剧毒氧化铍的粉尘有剧毒 ‥‥3.2电真空常用陶瓷（二）衰减瓷：（二）衰减瓷： 应用于管子内部，起吸收微波功率的作应用于管子内部，起吸收微波功率的作用用 种类包括：碳化硅衰减瓷种类包括：碳化硅衰减瓷 金属衰减瓷金属衰减瓷 渗碳多孔衰减瓷渗碳多孔衰减瓷 ‥‥3.2电真空常用陶瓷（二）衰减瓷：（二）衰减瓷：（（1）碳化硅衰减瓷）碳化硅衰减瓷 碳化硅与氧化铝陶瓷或氧化镁陶瓷组合碳化硅与氧化铝陶瓷或氧化镁陶瓷组合可成为大功率衰减陶瓷。

可成为大功率衰减陶瓷 优点：衰减量大、能耐高温、高强度、高硬优点：衰减量大、能耐高温、高强度、高硬度、致密性好和导热率高度、致密性好和导热率高 缺点：放气量大、性能不够稳定缺点：放气量大、性能不够稳定 ‥‥3.2电真空常用陶瓷（二）衰减瓷：（二）衰减瓷：（二）衰减瓷：（二）衰减瓷：（（（（2 2）金属衰减瓷）金属衰减瓷）金属衰减瓷）金属衰减瓷 金属（金属（金属（金属（WW、、、、MoMo）粉末和陶瓷（）粉末和陶瓷（）粉末和陶瓷（）粉末和陶瓷（AlAl2 2OO3 3、、、、SiOSiO2 2、、、、BNBN、、、、BeOBeO）粉末，按一定比列混合，在高温下压）粉末，按一定比列混合，在高温下压）粉末，按一定比列混合，在高温下压）粉末，按一定比列混合，在高温下压制成型，埋于石墨中烧结而成制成型，埋于石墨中烧结而成制成型，埋于石墨中烧结而成制成型，埋于石墨中烧结而成 95%95%氧化铝瓷为基体，混入氧化铝瓷为基体，混入氧化铝瓷为基体，混入氧化铝瓷为基体，混入5%5%的钨粉，在碳的钨粉，在碳的钨粉，在碳的钨粉，在碳粉保护下烧结粉保护下烧结粉保护下烧结粉保护下烧结 在氧化铍瓷中掺入二氧化钛，则更可以获得高在氧化铍瓷中掺入二氧化钛，则更可以获得高在氧化铍瓷中掺入二氧化钛，则更可以获得高在氧化铍瓷中掺入二氧化钛，则更可以获得高导热率的衰减瓷导热率的衰减瓷导热率的衰减瓷导热率的衰减瓷 ‥‥‥‥3.2电真空常用陶瓷（二）衰减瓷：（二）衰减瓷：（（3）） 渗碳多孔衰减瓷渗碳多孔衰减瓷 在多孔陶瓷（多孔在多孔陶瓷（多孔Al2 2O3 3瓷、瓷、BeO瓷或其瓷或其它陶瓷）中渗入碳，烧氢而制成的陶瓷亦它陶瓷）中渗入碳，烧氢而制成的陶瓷亦可以作衰减瓷可以作衰减瓷 ‥‥缺点：性能不稳定，衰减量受配方、原料处缺点：性能不稳定，衰减量受配方、原料处理、成型方法、烧结温度等影响较大。

理、成型方法、烧结温度等影响较大 3.3 电真空玻璃 显示器件、光电器件等中仍有着广泛的显示器件、光电器件等中仍有着广泛的应用，即使在微波管中，玻璃也少量地被应用，即使在微波管中，玻璃也少量地被用来作某些管子的输出窗、放电管的谐振用来作某些管子的输出窗、放电管的谐振窗等 ‥‥3.3 电真空玻璃 （（一）玻璃的组成成份一）玻璃的组成成份 一种较为透明的液体物质，在一种较为透明的液体物质，在熔融熔融时形时形成连续网络结构，冷却过程中粘度逐渐增成连续网络结构，冷却过程中粘度逐渐增大并硬化而不结晶的硅酸盐类非金属材料大并硬化而不结晶的硅酸盐类非金属材料二氧化硅为主要成分，它本身就可以单独二氧化硅为主要成分，它本身就可以单独形成玻璃，是构成玻璃的基本骨架，占玻形成玻璃，是构成玻璃的基本骨架，占玻璃总重量的二分之一至四分之三璃总重量的二分之一至四分之三 玻璃就属于玻璃就属于 “玻璃态玻璃态”的物质的物质‥‥3.3 电真空玻璃 优点：优点：优点：优点：（（（（a a）玻璃成本低廉、原料丰富；）玻璃成本低廉、原料丰富；）玻璃成本低廉、原料丰富；）玻璃成本低廉、原料丰富；（（（（b b）玻璃是透明材料、透光性好，这点对显示器件）玻璃是透明材料、透光性好，这点对显示器件）玻璃是透明材料、透光性好，这点对显示器件）玻璃是透明材料、透光性好，这点对显示器件和光电器件尤为重要；和光电器件尤为重要；和光电器件尤为重要；和光电器件尤为重要；（（（（c c）加工性能好，易于成型；）加工性能好，易于成型；）加工性能好，易于成型；）加工性能好，易于成型；（（（（d d）气密性好，不透气，且易于清洁和去气；）气密性好，不透气，且易于清洁和去气；）气密性好，不透气，且易于清洁和去气；）气密性好，不透气，且易于清洁和去气；（（（（e e）玻璃的电气绝缘性能、化学稳定性等也能满足）玻璃的电气绝缘性能、化学稳定性等也能满足）玻璃的电气绝缘性能、化学稳定性等也能满足）玻璃的电气绝缘性能、化学稳定性等也能满足一般电真空器件的要求。

一般电真空器件的要求一般电真空器件的要求一般电真空器件的要求缺点：损耗大、强度差、不耐震、不能在高温下缺点：损耗大、强度差、不耐震、不能在高温下缺点：损耗大、强度差、不耐震、不能在高温下缺点：损耗大、强度差、不耐震、不能在高温下工作等3.3 电真空玻璃 （二）电真空常用玻璃（二）电真空常用玻璃 钨组玻璃钨组玻璃 、钼组玻璃、钼组玻璃 、铂组玻璃、铂组玻璃 、钢组、钢组玻璃、石英玻璃（按膨胀系数分）玻璃、石英玻璃（按膨胀系数分） 主要用于磁控管、气体放电管、引燃管、主要用于磁控管、气体放电管、引燃管、闸流管以及传统电子管中闸流管以及传统电子管中 特种电光源如气体放电灯、卤钨灯和紫特种电光源如气体放电灯、卤钨灯和紫外线灯的外壳，真空退火炉的玻璃钟罩等外线灯的外壳，真空退火炉的玻璃钟罩等 ‥‥3.4硅橡胶 用途：管外封装材料用途：管外封装材料 微波管引线几乎都用硅橡胶线微波管引线几乎都用硅橡胶线 ‥‥特点：电气性能特点：电气性能 耐温特性耐温特性 耐候性等耐候性等‥‥ 3.3硅橡胶 种类：硅橡胶按照其硫化（熟化）方法不同，种类：硅橡胶按照其硫化（熟化）方法不同，可分为高温硫化硅橡胶和室温硫化硅橡胶可分为高温硫化硅橡胶和室温硫化硅橡胶两大类。

室温硫化硅橡胶按其硫化机理可两大类室温硫化硅橡胶按其硫化机理可分为缩合型和加成型；按其包装方式可分分为缩合型和加成型；按其包装方式可分为双组分和单组分两种为双组分和单组分两种热硫化硅橡胶（热硫化硅橡胶（HTV）） 室温硫化硅橡胶（室温硫化硅橡胶（RTV））‥‥ 作业1 1、解释铜的、解释铜的、解释铜的、解释铜的“ “氢病氢病氢病氢病” ”现象2 2、列举常用无氧铜、不锈钢、蒙耐尔的牌号及成分列举常用无氧铜、不锈钢、蒙耐尔的牌号及成分列举常用无氧铜、不锈钢、蒙耐尔的牌号及成分列举常用无氧铜、不锈钢、蒙耐尔的牌号及成分3 3、列举电真空陶瓷的主要用途列举电真空陶瓷的主要用途列举电真空陶瓷的主要用途列举电真空陶瓷的主要用途4 4、列举常用衰减瓷的种类列举常用衰减瓷的种类列举常用衰减瓷的种类列举常用衰减瓷的种类唐涛唐涛答疑时间答疑时间答疑时间答疑时间 ：每周二下午：每周二下午：每周二下午：每周二下午 1717点点点点~18~18点点点点地点：地点：地点：地点： 逸夫楼逸夫楼逸夫楼逸夫楼233233。