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背散射电子图像分析技术.pdf

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卖家[上传人]：w****i

文档编号：103741352

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背散射电子图像分析技术（周剑雄供稿 zjx@ ）当入射电子与样品中的原子相互作用而改变方向而产生散射时，其中部分电子(总散射角90 度时)，可重新通过入射电子表面而被反射出来，这样的电子叫背散射电子背散射电子的能量为 50ev ＜EB≤E 入背散射电子的产率（背散射系数）与原子系数成正比（见下图）使用 EPMA 和 SEM 等仪器时，均可以利用样品的背散射电子成像，定性了解样品的平均原子序数的大小，及不同组分的分布状态平均原子序数愈大，所产生的背散射电子数目越多，所以图象的亮度愈，反之亦然因此，尤其在对样品进行成分分析时，人们都乐于使用背散射电子图像来研究样品的元素组成的特点背散射电子图像的分辨率通常为 500 Å ~2000 Å 背散射电子的发射还与样品的表面形貌有关所以背散射电子还可以提供有关样品表面形貌的信息（周剑雄供稿 zjx@ ）背散射系数η与原子序数背散射系数η与原子序数 Z 的关系的关系背散射电子图像分析技术是成分分析时最常用的一项分析技术，为成分分析提供了重要的选点依据。

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