防静电作业规范-A6.doc

新 晨 (华 显)光 电 科 技 有 限 公 司 SHING SUN (HUAXIAN) OPTICAL ELECTRONICS CO.,LTD文件名称文件编码WI-SOP-防静电作业规范文件版次A/0文件页数编 写:陈军飞审 核:核 准:修改记录日期版次页次条文修订内容变更人备注2008/06/14A/0新增陈军飞1. 目的：定义防静电规格标准，规范作业要求，防止人为静电损伤产品2. 使用对象：凡蓝光、白光、四次元DICE及其制成品如LAMP、SMD、PCB、成品生产所必须经过的区域、设备、人员皆适用3. 定义：静电：指相对于观察者而言，处于静止或缓慢变化的相对稳定状态的电荷4. 权责：4.1生产部：负责作业时连接各地线，保障产品的性能安全4.2品保部：负责监督所有作业人员及接触产品的人员的防静电措施；地板、离子风机、防静电工作椅、台垫、防静电帘、防静电服装、防静电检测设备等进行点检4.3维修课：负责地线网络的建立及维护，各点检点与生产设备的定时点检5.静电常识： 5.1静电的产生及危害： 5.1.1静电产生： 通常静电是由于一种物质与另一种物质的互磨擦所产生的，其中导体还可以通过感应与传导的方式产生静电。

5.1.2静电危害： 对于LED（半导体）来讲，静电的破坏有两种形式： a：热击穿：即PN介面的击穿破坏，而形成短路，造成LED缺亮或点暗 b：金属汽化：由于ESD瞬间产生较大热能，导致LED内部邦定金属汽化而形成开路，造成LED缺亮5.2ESD（静电放电）形式：5.2.1人体形式：即指当人体活动时身体和衣服之间的磨擦产生电荷，若人手持ESD敏感的器件而不预先泄放电荷到地，磨擦电荷将会移向ESD敏感的器件而造成损坏，电子器件的主要破坏均由此形式造成5.2.2 电子器件带电形式：即指这些ESD敏感电子器件，在作业过程中由于磨擦产生电荷，而这些电荷积累一定程度，便可以击穿LED造成损坏5.2.3 场感应形式：指有强电场围绕，这可能来自塑性材料或人的衣服，会发生极化跨过氧化层，若电位差超过氧化层的介电常数，则会产生电弧以破坏氧化层，其结果为短路5.3 消除静电方式及方法：5.3.1静电消除方式：a. 防止和减少静电的产生b. 防止和减少静电的积累，即增加静电的泄漏 5.3.2 静电消除方法：a. 降低介质材料本身的电阻率，例防静电衣、防静电椅等b. 使周围空气电离化，对已产生之静电进行中和，例离子风机。

5.3.3静电消除的措施：a. 接地：即指用导电体连接大地地线，以减少带电体与大地之间的电势差，一般可降至10V以下b. 静电消除器：即使周围空气电离化，对已产生之静电进行中和来消除静电c. 降低电阻率：物理方式：防静电服、防静电椅、防静电手指套等降低电阻率化学方式：采用加抗静电剂，以增加物质润滑，以减少磨擦，防止和减少静电的产生；另降低表面电阻，减少静电积累d. 屏蔽：指使外部流动电荷减少对物料的损坏，将电荷与敏感物料隔离，减少静电对物料的直接损坏，例防静电屏蔽袋、防静电棚等6.内容：6.1防静电标准：本公司防静电测量标准是以泄漏电流阻抗大小为基础量化的 6.1.1 各机台，设备电阻参数见下表：(单位：欧姆)材料表面阻抗 对地阻抗 静电环/757.5*10 < R < 1*10防静电地板10R<1*10757.5*10 < R < 1*10防静电服1057.5*10 < R <1*10587.5*10 < R <1*10防静电鞋、袜1057.5*10 < R < 1*1085 7.5*10 < R <1*10防静电手套、手指套/10 5 7.5*10 < R <1*10防静电工作椅10 R<1*108 5 7.5*10 < R <1*10防静电工作台墊8 11 正面1*10 ≦ R ≦1*106 4 背面1*10 ≦R ≦1*1010 R≧1*10防静电运输车10 R<1*1095 7.5*10 < R <1*10防静电PE袋、珍珠棉115 1*10 < R <1*10/防静电周转箱、盒、盘10 R<1*10/地线接地阻抗 /R<106.1.2 接地線：6.1.2.1接地以3根Ф25mm长3m之镀锌管，每隔3m一根并排打入地下，上端离地表面0.5m深处氧焊，接头处加防锈溙密封，并联不同顔色双线引出地线。

6.1.2.2接地主幹線截面積應不小於100mm；支幹線截面積應不小於6mm；設備和工作台的接地線應採用截面積不小於1.25mm的多股敷塑導線，接地線顏色以黃綠色線為宜6.1.3 设备接地和静电接地分开，新厂、老厂两栋厂房各1处防静电接地線6.1.4 接地线分防雷保护，漏电保护，静电保护等保护措施，三种接地分开，以保障地线安全正常运作6.1.5各站别、各工位、各机台使用单线辅设防静电线，防静电线在車間/站別、工位的连入处设防静电线点检点，各点检点的编号如附件6.2 接地线管制：6.2.1 静电接地双线通断点检：6.2.1.1 各站别、各工位、各机台均需点检，点检结果加入月度保养记录6.2.1.2 接地主幹线点检由维修课用万用表对各站别、各工位、各机台之间的接地线阻值量测，发现有阻值低於10Ω需及时检修，保障各站别、各工位、各机台防静电接地线接通良好6.2.1.3 地线与地线之间连线用焊接或端子锁螺丝固定6.2.2 各站别、各條工位、机台双线点检位置由维修课统一标示（如图一），且每周对各点检点量测，并填写点检表格<防靜電接地線接入口點檢表>、<表面阻抗點檢表> （圖一） 6.3防靜電地板：6.3.1防静电地板打蜡要求：必须使用专用防静电蜡。

6.3.2點檢管理： 表面阻抗值的测定： a、使用测定器：表面阻抗测试仪 b、测定方法與測試點的選取： 圖二 防静电地板： 表面阻抗检测器底部两金属片接于地板表面，以测其表面阻抗值 測試點的選取:每個車間按同等間距選取九點測試如圖二） c、检测频数为：新铺垫时实施，以后1次/月 d、记录：检测结果记录于《表面阻抗點檢表》6.3.3异常处置: 对新铺设防静电地板检验时，若表面阻抗达不到要求，则要求供应商重新铺设 6.4離子風機:6.4.1判定基准：a. 静电残留电压030Vb. 静电消除时间：从“+1000V”降至“+100V”及从“-1000V”降至“-100V”所需时间均在3秒之内6.4.2点检管理： （1）除静电效果检测 a、使用测定器：静电压测试仪/综合静电测试仪 b、测定方法： 静电残留电压测量：（1） 将静电压测试仪距离子风口30cm处，测其静电压应小于“+/-30V”（2） 将静电压测试仪测试离子风下工作台，其台面静电压应小于“+/-20V”靜电消除时间测量：（1） 打开离子风机。

2） 将综合静电测试仪放置在距离子风机60cm处，并将离子风机口对着静电测试板3） 先将其综合静电测试仪充上高于1000V正向静电，而后观察其静电板静电在离子风机下静电由“+1000V”降至“+100V”所需消耗时间是否在3秒之内4） 再将其综合静电测试仪充上高于1000V负向静电，而后观察其静电板静电在离子风机下静电由“-1000V”降至“-100V”所需消耗时间是否在3秒之内 c、检测频数为：1次/周6.4.3异常处置： 达不到规格要求时，应立即停止使用，并报备维修部6.5防静电服裝: 所有进入无尘车间的人员穿着无尘服，进入非无尘车间穿着防静电衣6.5.1防静电服装穿着标准参照下图： 图三 图四6.5.2檢測與清洗： 1.檢測標準與頻將及清洗均參照《靜電服靜電鞋管制規範》2.檢測結果記錄於<靜電服裝表面阻抗點檢表>. 6.6防靜電工作椅： 6.6.1点检管理：表面阻抗值的测定： a、使用测定器：表面阻抗检测仪 b、测定方法： 将表面阻抗检测器底部两金属片接于被测对象的任意表面检测，读出顯示值。

c、检测频数为：新购入时实施，以后1次/月 d、记录：检测结果记录于《表面阻抗点检表》 6.6.2、异常处置：a、新购时，若其防静电工作椅表面阻抗达不到要求，则应退回供应商，不得使用b、测量时，其防静电工作椅表面阻抗达不到要求，则由产线更换新测试良品，并知会修务部 6.7防靜電簾： 6.7.1判定基准：(单位：欧姆)85 防静电帘内部表面阻抗： 10 < R < 10 1012 防静电帘外部表面阻抗： 10 < R < 10 6.7.2点检管理：表面阻抗检测：a、使用测定器：表面阻抗测试仪 b、测定方法：将表面阻抗检测器底部两金属片接于防静电帘表面进行检测，分内部与外部两次检测 c、检测频数为：新购入时实施，1次/片/月 d、记录：检测结果记录于《表面阻抗点检表》6.7.3异常处置： 新购入时，防静电帘内外阻抗达不到要求，退回供应商 6.8防靜電工作臺墊： 所有的防靜電工作臺墊必須用臺墊接地線連接靜電系統6.8.1点检管理：表面阻抗值的测定： a、使用测定器：表面阻抗检测仪 b、测定方法：将表面阻抗检测器底部两金属片接于被测对象的任意表面检测，读出示值。

c、检测频数为：新铺垫时实施，以后1次/月 d、记录：检测结果记录于《表面阻抗点检表》 6.8.2异常处置：a、新购时，若其防静电台垫表面阻抗达不到要求，则应退回供应商，不得使用b、测量时，其防静电台垫表面阻抗达不到要求，则由产线更换新测试良品 6.9防靜電PE袋、周轉盒：6.9.1点检管理： 表面阻抗值的测定： a、使用测定器：表面阻抗检测器 b、测定方法：将表面阻抗检测器底部两金属片接于防静电PE袋、周转盒表面进行检测 c、检测频数为：新购入时实施，以后1次/月 d、记录：检测结果记录于《表面阻抗点检表》6.9.2异常处置：（1）新购入與检测异常时，应退还给厂商，禁止使用2）点检时，发现劣化应和新品（良品）交换3）使用时若发现污迹则使用去渍油清冼，发现破损则予以报废。