重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录.docx

重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年版）一、大型清洁高效发电装备设备 名称技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件二级 部件单机免 税用量（供参 考）税那么号列 （供参考）行限 执年（一）就排且（三代就排且）1.核岛设备（1）反响 堆压力容 器额定功率NlOOOMWe持有合 同订单堆内仪表测量管 、检漏管、喇叭□11套控制棒驱动机构 适配器（包括法 兰座、袖套、贯 穿件延伸段和导 向罩）69套紧固件（包括主 螺栓、起吊导向 管、导向栓、塞 孔盖）62套7318（2）蒸汽 发生器带整体支架的管 嘴堵板、堵头2套（3）稳压器喷淋头1套（4）反响 堆堆内构 件钻基焊材0.2吨（5）核燃 料元件高硼靶材5吨毒物碳化硼铝板100吨（6）乏燃 料处理设 备乏燃料贮存格架硼钢管20吨乏燃料贮存、运输容器硼铝板0.8吨2.常规岛设备（1）主给 水泵组额定功率》 lOOOMWe； 耦合器额定功率N 7000kW持有合 同订单耦合器1套3.核主泵电机十一、重大工程自动化控制系统和关键精密测试仪器（无）十二、大型、精密、高速数控设备、数控系统、功能部件与基础制造装备 （无）十三、新型纺织机械设备 名称技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件二级 部件免量参 >*税那么号列 （供参考）行限 执年1.自动络 筒机卷绕速度N2100m/min年销售 量N50 台电子清纱器60〜72件2023空气捻接器60〜72件2023槽筒60〜72件2023超高速长度测量 装置60〜72件20222.全自动 转杯纺纱 机转杯转速N18万转/分钟； 纺纱速度，300m/min年销售 量330 台单锭纺纱磁悬浮电机24 〜768 件2023纺杯24 〜768 件2023单锭驱动分梳辐24 〜768 件2022电子清纱器24 〜768 件2023单锭驱动卷绕筒24 〜768 件2022单锭驱动导纱装 置24 〜768 件2022落纱装置2〜6件2022分段电子系统23套2023（）布峥殖1 •纺熔复 合非织造 布成套设 备幅宽N1.6m持有合 同订单熔喷纺丝装置1〜4套8448 84492023十四、新型、大马力农业装备设备 名称技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件二级 部件单机免 税用量(供参 考)税那么号列 (供参考)执行 年限1.大马力 轮式拖拉 机发动机额定功率N260马力；动力换挡或CVT换 挡；有卫星导航接口年销售 量350 台变速箱总成1件2023离合器1件2023液压提升器1件20222.自走式 喷杆喷雾 机药箱容积N2000L持有合 同订单车架总成1件3.自走式 玉米、小 麦联合收 获机玉米联合收获机采 收行数36行；小麦联合收获机喂入量 N 12kg/s年销售 量N 1()() 台液压机械无级变 速器1套十五、电子信息及生物医疗设备设备 名称技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件二级部件单机免 税用量（供参 考）税那么号列（供参考）执行 年限（-）极管（LED）殖、电^§（牛^§§、材料基因设备1.半导体发光二极管生产设备（1）金属 有机化学 气相沉积 设备可配置单片6英寸 或8英寸四腔系 统，可改造升级 8X6英寸多片四腔 系统；外延厚度和材料组 成均匀性STDW 1%；电子迁移率N1900cm2/Vs持有合 同订单工艺气体分配 传输系统气体质量流 量计36个2022动态压力控制器13个2022石墨盘28套2022气体分析仪2个2022气体浓度计4个2023磁流体转动真 空密封装置1个2022（2）高亮 度LED步 进投影光 刻机分辨率：0.7 〜2pm：适应2〜6英寸多种 基底的曝光； 可监测基底翘曲 值；多种反面对准配置持有合 同订单光学元件、元片滤射透透、列射 片学光、反明影轴阵反阑 镜光滤镜、照投镜镜球光 学射、棱片、、、透椭、 光衍件、波镜镜镜微、镜9()个2023金属陶瓷零件陶瓷底座、 陶瓷导轨10个2023直线电机伺服电机、 微型电机40台2023精密运动平台光学平台、 精密位移台 、精密气浮 旋转台4套2023硅片装载单元硅片装载台 、硅片传送 台、旋转升 降台、硅片 预对准装置6台2023设备 名称技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件二级部件单机免 税用量（供参 考）税那么号列（供参考）执行 年限光学测量装置激光双频干 涉仪、光束 质量分析器 、镜面定位 装置、光学 对心装置、 光学检测器 、光学分析 装置、信号 源分析装置 、发光分光 分析装置、 光学轮廓装 置、颗粒分 析装置10台2023干涉仪测量系 统激光双频干 涉仪2台20232.集成电路关键设备（1）氧化 炉硅片直径：300mm；线宽W28nni持有合 同订单硅片传输系统1套2022源温控制器4套2022（2）高密 度等离子 刻蚀机硅片直径：300mm；线宽W55nm持有合 同订单硅片传输系统1〜2个2022硅片传输机械 手1〜2个2022射频电源6〜8个2022射频匹配器6〜8个2022真空泵（分子 泵）3〜4个2022真空阙门10〜12个2022真空压力计18〜24个2022终点检测系统3〜4个2022质量流量控制 器50〜66个2022静电卡盘3〜4个2022（3）薄膜 沉积设 备：化学 气相沉积 设备、物 理气相沉 积设备和 原子层沉 积设备硅片直径：300mm；线宽W28nm持有合 同订单射频电源4〜12台2022真空泵（分子 泵、干泵）7〜8个2022硅片传输系统1套2022射频匹配器6个2022硅片传输机械 手1个2022氟离子发生器3个2022设备 名称技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件二级部件单机免 税用量（供参考）税那么号列（供参考）执行 年限加热盘6个2022（4）涂胶 显影机硅片直径：300mm；线宽＜28nm持有合 同订单机械手4个2022晶圆自动传输 装置4个2022（5）快速 热退火设 备硅片直径：300mm：线宽W28nm持有合 同订单硅片传输系统1套2022半导体晶片生 产用石英制品 （熔融石英）2〜20个2022卤钙灯112个2022（6）湿法 清洗机硅片直径：300mm：线宽W28nm持有合 同订单声波换能器2台2022（7）晶圆 缺陷自动 检测设备可用于300mm晶 圆；镜头倍率：IX、2X、3.5X、5X、10X、20X持有合 同订单光学元件光学镜片、 衍射光学元 件、滤光片 、棱镜、滤 波片、反射 镜45个2023精密运动平台光学平台、 精密位移台 、精密气浮 旋转台1套2023光学测量装置深紫外激光 器16台2023（8）离子 注入机硅片直径：300mm：线宽W28nm持有合 同订单高压电源11套2022自动硅片搬运 机器人2个2022隔离变压器1个2022质量流量计8个2022（9）集成 电路自动 化测试及 分选设备数字信号通道N1024；最高测试速率N200Mbps；电源信号通道，128；继电器控制信号通 道 N256； 生产效率N9000片/小时；Jam^ 1/5000； 可搭配模拟模块、 射频模块、高压模持有合 同订单混合信号模块1套2022通讯模块1套2022SI技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件二级部件单机免 税用量（供参 考）税那么号列（供参考）执行 年限块、图像处理模块 等处理不同信号类 型的模块，以及机 器视觉检测模块、 多种不同进料出料 模块高精度高速数 据采集卡1台2022（10）前 道铜互连 电镀设备应用于45nm至14nm铜互连电镀 工艺持有合 同订单硅片传输机械2套2022电磁泵12个2022手动阀、隔膜 阀、组合阀160个2022除气装置10#2022加热器6个2022（11）化 学机械抛 光机硅片直径：300mm；线宽W28nm持有合 同订单超声流量控制 器46件2023保持环300｛牛2023气膜100件2023电机40台2023直线运动模组4件2023高精度丝杠4件2023（12）先 进封装电 镀设备应用于先进封装电 镀工艺持有合 同订单硅片传输机械 手2套2022电磁泵12个2022真空泵1个2022阀手动阙、隔 膜阀、组合 阀160个2022除气装置]0套2022加热器6个20223.电子元器件生产设备印刷速度N5m/min；印刷宽度：150-600mm：印刷直线度W减速机2件2022设备 名称技术规格 要求销售 业绩 要求一级部件（1）片式 多层陶瓷 电容器丝 网印刷机0.1mm；印刷间距波动范围 W0.2mm； 电极厚度范围：0.6 〜1.5pm； 收卷整齐度W0.5 mm；有张力控制系统、 边缘纠偏系统、数 据采集系统持有合 同订单风机滑轨（。