真空控制系统与质谱仪用离子泵供电的研究.docx

真空控制系统与质谱仪用离子泵供电的研究质谱仪作为高精密分析仪器，需要在高真空环境中工作，而高真空环境就是靠离子泵来提供的离子泵工作需要高压供电，真空腔体需要真空规来测量真空系统的真空度，以往我们的离子泵供电和真空控制部分是分离的、相互独立的两个部件为了仪器的小型化，提高其集成度，将离子泵高压供电部分和真空控制部分整合到一个系统是十分必要[1]1、系统概述该系统作为质谱仪的配套设备，除了需要给离子泵供电和读取真空度外，还要实现对减压泵、采样泵和真空进样阀的开关控制，这样能大大提高系统的集成度，有利于质谱仪的小型化该系统主要由两块电路板组成，一个是离子泵高压控制板，一个是真空系统控制板高压板的功能主要是靠集成到电路板上的进口高压模块UM6N30/M来实现，真空控制板作为下位机，通过串口实现和上位机(PC104计算机)的相互通信2、系统电路设计高压板和真空控制板作为该系统的主要组成部分，他们之间通过双排PC104插针进行电路连接高压板通过高压模块UM6N30/M可提供0～6kV的高压输出，实现对离子泵的电压设置、电流设置、电压显示和电流显示功能[2]通过真空控制板控制高压模块的使能端从而控制离子泵高压的开启和关闭，实现对离子泵的高压控制。

真空控制板作为中央处理单元，核心是嵌入式高性能处理器PIC32MX575，上位机通过和单片机串口通信，实现对真空系统的信号传输和开关控制[3]高压板的电路原理图如图1所示真空控制板的电路原理图如图2和图3所示图1高压板电路原理图图2真空控制板电路原理图a图3真空控制板电路原理图b3、系统软件设计PIC32MX微控制器作为该系统的硬件CPU，软件设计就是单片机的软件开发开发工具使用MPLABXIDE和XC32编译器[4]真空控制板的配置信息如下表1所示表1真空控制板配置信息单片机的程序撰写主要基于和上位机之间的通信协议，具体如下表2上位机发送数据表3下位机发送数据真空进样阀的开启需要根据进样真空和腔室真空的值来判定，具体的流程图如下图4所示图4真空进样阀控制流程4、结论针对质谱仪小型化的趋势，研制了一套新的真空腔体控制系统，该系统将离子泵高压供电和真空控制合二为一，既能提供0-6kV的高压给离子泵供电，还能读取真空度，控制减压泵、采样泵和真空进样阀的开关，通过串口实现和上位机的相互通信，大大提高了质谱仪的集成度该系统作为质谱仪的配套设备，已经和整机一块经过了长期测试，性能稳定可靠参考文献：[1]百科编委会.化工百科全书(第五卷)[M].北京:化学工业出版社,1993:128-130.[2]严奉轩.基于Modbus的三氟甲磺酸电解槽阴极H2监测系统[J].仪表技术与传感器,2016,NO.1:67-69.[3]SDW系列智能显示终端.指令集V6.2[M].武汉:武汉中显科技有限公司,2014.路晓川,赵加鹏,田亮亮,凌大鹏,李航涛.质谱仪用离子泵供电和真空控制系统的研制[J].科技风,2020(17):115-116.。