
安全管理真空机组使用说明及注意事项.doc
2页此资料由网络收集而来,如有侵权请告知上传者立即删除资料共分享,我们负责传递知识安全管理真空机组使用说明及注意事项 一 真空机组开机流程1、 启动VB150维持泵,然后打开出口阀当电阻计2真空度达到5帕以下时,启动扩散泵加热2、 启动VB200旋片泵,打开旁通阀;当电阻计1真空度达到2000帕以下时,开启2ZJP—300罗茨泵,进行预抽3、 扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到5帕以下时,先关闭旁通阀,再打开主阀,进行主抽4、 关闭2ZJP—300罗茨泵,30秒后关闭VB200旋片泵二 真空机组关机流程1、 关闭主阀2、 启动-----关机程序三 真空机组使用注意事项1、 真空机组在使用的整个过程中,必须保证水路、气路完整通畅2、 必须严格按照真空机组的开机、关机流程,进行操作3、 扩散泵加热过程中,若不慎断水应先关闭扩散泵电源,再关闭主阀然后摘下扩散泵电炉加热器,并使用电风扇进行降温在这过程中,要一直保持VB150维持泵和出口阀处于开启状态4、 扩散泵加热过程中,若VB150维持泵出现故障不工作,应先关闭出口阀,然后启动VB200旋片泵,再启动2ZJP—300罗茨泵,打开维持阀进行主抽。
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