T_JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备.docx

ICS 31.260CCS L51团 体 标 准T/JGXH 005—2020超快激光精密微纳加工设备Ultrafast laser precision micro & nano machining equipment2020-12-30 发布 2020-12-31 实施武 汉 激 光 学 会武 汉 ·中 国 光 谷 激 光 加 工 产 业 技 术 创 新 战 略 联 盟 发布T/JGXH 005—2020目 次前言......................................................................................................................................................................... Ⅱ1 范围...................................................................................................................................................................  12 规范性引用文件...............................................................................................................................................  13 术语和定义.......................................................................................................................................................  14 主要技术参数...................................................................................................................................................  15 技术要求...........................................................................................................................................................  25.1 使用条件....................................................................................................................................................  25.2 加工质量....................................................................................................................................................  25.3 装配质量....................................................................................................................................................  25.4 外观质量....................................................................................................................................................  25.5 其他部件....................................................................................................................................................  25.6 主要参数....................................................................................................................................................  35.7 冷却系统....................................................................................................................................................  35.8 运动控制系统............................................................................................................................................  36 安全与防护.......................................................................................................................................................  37 几何精度检验...................................................................................................................................................  48 检验方法...........................................................................................................................................................  69 检验规则...........................................................................................................................................................  69.1 检验分类....................................................................................................................................................  69.2 检验项目....................................................................................................................................................  69.3 出厂规则....................................................................................................................................................  69.4 型式检验....................................................................................................................................................  610 标志、包装、运输与贮存............................................................................................................................  610.1 标志..........................................................................................................................................................  610.2 包装..........................................................................................................................................................  610.3 运输..........................................................................................................................................................  610.4 贮存..........................................................................................................................................................  711 质量承诺.........................................................................................................................................................  7IT/JGXH 005—2020前 言本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和。