CT pecvd日常报警说明.pptx

CT pecvd日常报警说明Process recipe has terminated with error stat e----Alarm ACK----(1)to store(2)to store enable unload(3)Restar t recipe进行中的工艺以错误的状态结束----警报确认----（1）储存 （2）储存并卸下（3）重新开始工艺1)用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工 艺时进行选择2)多数情况下选择此项3)工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜 情况警 报翻 译说 明警 报翻 译说 明Boat already in tube---- select: [ process=0 unload=1].石墨舟已经在管内----选择[运行工艺=0 取出卸下 =1]当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺时会出 现这样的提示，查看镀膜情况后在做选择123Lost homing, check position. 失去引导，检查位置此报警会自动解除，只需要检查一下桨是否在原 点的位置即可说 明翻 译警 报12HFGen out of 1st(2nd) tolerance. 高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退 出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后，选择手动工 艺输入剩余时间。

通常出现这样的报警有三种情况：(1)石墨舟的电极孔放反 (2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中 间 (3)炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片 电极之间的短路警 报翻 译说 明123Recipe abort2---- process abort! TO continue: enter AB.工艺推出----运行终止继续输入AB对工艺异常确认输入AB后，会出现第（一）个报警 说 明警 报翻 译123Vacuum tube out of 1st(2nd) tolerance.石英管内的真空度超过第一（二）个限值系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班说 明翻 译警 报12Boat sensor of grab has changed without permission.机械手上的传感器被非允许移动机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被锁定，出现报警。

此警报需要通知工序长或领班说 明翻 译警 报123Collective alert pump st.1真空泵报警一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报 警如复位无效的话通知工序长或领班说 明翻 译警 报12Gas N2(SiH4、NH3)out of 1st(2nd) tolerance.特气氮气（硅烷、氨气）超过第一（二）个限值出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷 却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个 限值报警，只是警告；超过第二个限值报警出现后工 艺会自动停止，此时报警消失，出现第五个报警信息说 明翻 译警 报123Warming: check SiH4 distribution.警告,检查硅烷的流量警告,检检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果不是 退出并重新运行工艺查硅烷的流量说 明翻 译警 报123Recipe couldn't de started. please check protocol for reason.工艺不能被运行，请检查原因此管已有一个工艺在运行；此管没有你要选的工艺文 件；状态不正确说 明翻 译警 报123There is already an active recipe ×××form local listing.已经有×××工艺在此管的工艺列表中。

十一、十二俩个报警有时会一起出现，终止任何一个 报警都会解除说 明翻 译警 报12Boat collision.舟被撞击Handling对话框中将舟移动到安全的位置；若是在上 下舟，检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置 匹配说 明翻 译警 报12Tube ready in undefined please ensure tha t the CESAR loading machine is at“0“ pos ition and softlander is “UP“.管子的状态无法被确认，请确保CESAR接收到桨在“0“ 和“UP“的位置检查桨是否在上位和原点的位置，如果是的，在空桨 的情况下运行homing工艺；如果不是，手动移动桨到 上位和原点说 明翻 译警 报123The boat sensor has detected no boat in the gra b although a boat should be in the grab. pleasecheck boat in grab sensor and try again.虽然有一个舟在机械臂上，但传感器测不到，请 检查一下舟是否接触到传感器后再试一次。

机械臂上的传感器没有感应到舟，将舟放到正确 的位置即可说 明翻 译警 报123Grab sensor undefined. No movement possibl e! Check boat position.传感器不明确，无法移动，检查舟的位置机械臂不在正确的位置，无法移动，若机械臂没 有被锁定在Handling的界面中将机械臂移至正确的位 置说 明翻 译警 报123Boat position (speed) out of 1st(2nd) t olerance.舟的位置（速度）超过第一（二）限值通常会发生在退舟失败后，手动使桨复位说 明翻 译警 报123Boat failure.退舟失败检查舟在桨上的位置，如果正确手动将桨复位；如果不正 确，戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位说 明翻 译警 报123Water flow gas side st.1.TGA（gas side ）冷却水报警将石英管后的冷却水流量调整一下即可说 明翻 译警 报123No process boat in source position. 在设定的位置没有舟的存在 通常是因为机械臂将石墨舟放到储存架上，储存架上的传 感器没有感应到。

调节传感器或者调节舟的位置即可说 明翻 译警 报123The trollery is in the collision area ofthe lift .please remove trollery. 小车在机械臂的撞舟区域，请移开小车小车上有舟，炉管空的情况，机械臂要去STORE取舟， 这时需要把小车移走说 明翻 译警 报123Warning water flow at plasma generator等离子电源水流量报警 炉管后便高频电源的冷却水流量低，调整进水阀门说 明翻 译警 报123Warning no connection to Cesar st1 Cesar连接不上说 明翻 译警 报123Warning handling stop 急停按钮报警 说 明翻 译警 报123Vacuum tube out of 2 nd tolerance 石英管真空度超出第二范围炉门密封圈上有碎片，需要清理碎片，或者后边的观 察窗石英玻璃坏掉，更换说 明翻 译警 报123External file could not be written (h:/pr otol/cvd-2/p%day%cil) 不能向外部储存器写程序。

重新加载工艺或者重启电脑说 明翻 译警 报123Unable to adjust network time .possibly t ime service on ccc not 不能够调整计算机网络时间CCC电脑报时功能不可用说 明翻 译警 报不能够调整计算机网络时间CCC电脑报时功能不可用CCC电脑时间不同步，重启CESAR或CCC电脑 123Door open or unlocked .no auto- processing possible. 门被打开或者没锁，不能自动运行工艺 门没关严实，打到手动挡，开关一下门，然后打开自 动，消除报警说 明翻 译警 报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说 明翻 译警 报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说 明翻 译警 报123Grab sensor undefined ,no movement pos sible! Check boat! 抓手信号不确定，不能运动，检查舟舟没有水平放在抓手上，抓手上限位开关未打开 到位，检查小车或STORE2/3位置，如果位置没变化， 检查开关是否损坏，更换备件。

说 明翻 译警 报123Boat position- EFM error 4 :not positioned. 舟的EFM位置不确定 桨上没有舟，感应开关感应不到舟的位置存在， 如有舟，检查感应器是否损坏说 明翻 译警 报123Alarm water flow at main cooler. 主冷却水流量报警出水流量低，打开出水阀 说 明翻 译警 报123Alarm compressed air supply 压缩空气报警说 明翻 译警 报1Boat positionEFM error 1023 : boat is mi splaced for the lift ,problem must be cl eared and acknowledged mannually. 舟在机械臂的位置不确定，问题需要清除或者手 动确定说 明翻 译警 报123The motion did not complete .timeout,checkplug connection and power supply! 运动不能完成，超时，检查接头或电源说 明翻 译警 报123State of arm has changed! Cancel , if i t is in vertical direction. 机械臂位置改变，如果在垂直方向，就取消。

请在此处添加文本说 明翻 译警 报123Alarm EXT. exhaust systerm failed. 尾排系统错误 尾气排风错误，请及时联系外围说 明翻 译警 报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说 明翻 译警 报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说 明翻 译警 报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说 明翻 译警 报123请在此处添加文本请在此处添加文本请在此处添加文本说 明翻 译警 报。