石山偏贴流程及机构介绍.ppt

石山偏贴流程及机构介绍,CELL工程部,报告人:梁海武 2009年7月17日,一、石山洗净机 流程说明(P3),二、石山洗净机 研磨机构(P4~P8),三、石山偏贴机 流程说明(P9),,,,,,,,,,,四、石山偏贴机 机构介绍(P10~P16),,石山洗净机 流程说明(1/1),,,基板移栽入洗净机,CF面研磨洗净,TFT面研磨洗净,基板纯水喷淋,基板高压空气烘干,基板载出,,,1. 基板LD移栽入,上下研磨洗净除去基板表面残胶异物玻璃屑,再经过纯水高压喷淋、高压空气烘干后,载出进入偏贴机. 2. 机种尺寸:95*58mm(4寸)~280*180mm(12寸) 3. 生产周期：8秒/枚 (7寸); 4. 生产能力(理论值)：最大450 个/时；最大10800枚/天（24 hr/天计）,,偏前表清机:,石山洗净机 研磨机构(1/4),洗净研磨机构,石山洗净机 研磨机构(2/4),洗净研磨机构 -- 研磨水平确认,Panel 吸附于上流Stage,感压纸A 贴付于背板胶层,送进感压纸 B,上流Stage手动操作向上,感压纸效果 平行度OK,奇异笔画九宫格,投入机台 取出,1.奇异笔画九宫格,2.感压纸测试,洗净研磨机构 – 保养与更换,石山洗净机 研磨机构(3/4),1. 研磨胶层清洁:,2. 研磨胶层更换:,边缘残胶割除,砂纸磨背板钢板,双面胶贴于背板处,重力作用压合,边缘双面胶 割除,石山洗净机 研磨机构(4/4),洗净研磨机构比较,,,,,,,偏光板移栽,偏光板定位,偏光板CCD认识,基板移栽,基板Mark认识,偏光板贴付基板,石山偏贴机 流程说明(1/1),1.偏光板Stock移栽出,X/Y轴汽缸机械定位,剥离机构离型膜撕离,CCD定位认识; 2.基板从表清机载出,十字Mark对位,移栽至贴付table; 3. Head上偏光板贴付于贴付Table之基板,先CF面,再TFT面贴付; 4. 产能/机种尺寸 与洗净机一致;,偏光板贴付机:,偏光板 移栽机构(1/1),偏光板移栽部,石山取偏光板方式: 优点: 省掉移载抖动事件,Tact time短; 缺点:1.无抖动机构,偏光板溢胶粘片,造成两枚检知异常; 2.取偏光板后，无Roller对偏光板表面进行清洁后进入撕膜机构 改造: 移载增加抖动汽缸*4pcs,仅在偏光版溢胶粘片严重时,程式上控制开启;,缺胶产生: 1. 偏光版边缘与档杠的摩擦; 2. Stock档杠或内壁 残胶,接触后将偏光版胶体带出; 3. 两枚检知 异常,挤压造成之缺胶; 4. 胶体太软 贴付压力过大,偏光版 胶体挤出,造成缺胶;,偏光板机械定位(1/1),偏光版定位调整: 1. 通过调节定位汽缸截留阀门调整定位速度,若定位速度合适值时, 2. 调整Head头若真空值,调整偏光板定位异常;,偏光板机械定位,偏光板剥离机构,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,前伸,,,,,,,,,Servo motor,,,汽缸,,,Tape 卷取轴,,Roller,,,Tape,偏光板剥离机构(1/4),,偏光板离型膜,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,剝離 70 mm/s,,,,,,,,,Servo motor,,汽缸,,Tape 卷取轴,Roller,,,Tape,,NIP roller,卷取弱,,,,,偏光板剥离机构(2/4),偏光板剥离机构,剥离机构异常,,,2008年11月3日~11月5日, 102NA2C上偏异物不良7%; 1、10月底，因离形膜卷曲凌乱，石山厂商有入厂改善机构（加一不锈钢挡片） 2、目视观察发现挡片一角稍高，与偏光板间隙小，有碰触到剥离后的偏光板之嫌疑; 3、将挡片拆除后,投入确认OK; 2009年03月,发生剥离Roller轴承磨损; 1、产商Roller直径(12mm ↓ 8mm)轴承直径(4mm↓ 2mm); 2、改造后大致2周发生剥离Roller轴承磨损,导致偏光版离型膜剥离异常;,,偏光板剥离机构(4/5),更换前,1. 剥离Roller更换:Roller直径(12mm)轴承直径(5mm)承受力增加,不易磨损; 2 改善剥离挡板,挡板固定角度视偏光板不同而变化调整(4种选择); 3. 3个白色Roller,起到防呆作用:剥离Roller调整过高,,改善成效: 1.工事后,流片确认:.投入070JA05基板*80pcs,下偏异物*3pcs,解析类似机构异物; 2.未贴付偏光板进行Cold Run 1个小时; 3. 7/02开机生产确认良率OK;从目前看,剥离机构改造后基本正常;,更换后,安装机台上,剥离机构改善,偏光板剥离机构(5/5),Camera 认识偏光板定位(1/1),Camera 认识偏光板定位,偏光板camera定位,偏光板camera定位后,基板补正table微调X、Y、Q三个轴,使得偏光板中心与基板贴付中心 重合;在定位方面更加精确(精度+/-0.1mm); 单靠机械定位，对马达的行走路径、原材的规格和误差值要求较高，这样的定位不够稳定(精度+/-0.2mm);,偏光板贴付(1/1),偏光板贴付,,,,,,,,,,180~250mm/s,,,面板,偏光板,贴付平台,1. 石山贴附方式,基板在下方、偏光板在上方,进行贴附动作.,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,2. 七忆/SR4贴附方式,基板在上，偏光板在下进行贴附动作.,Thank You !,CPT- MLCM,~以上报告~,。