激光干涉仪检测方法.doc

FANUC OKUMA床的激光干涉仪检测方法一、 光的相干性二、 激光干涉法测距原理三、 FANUC8补参数的设定四、 关于FANUCC统正负方向补偿号的计算方法五、 FANUC勺检测用程式六、 OKUMA!补参数的设定七、 OKUM脸测程式八、 检测值输入的方法、光的相干性相畏性干涉富雨彳固波畏相同的光束波形同步射出日寺，其波峰位置畲如下m 2一般重合，固稍舄“相畏性干涉” 在相畏性干涉的情况下，输出波的振幅等於雨彳固输入波的振幅之和相消性干涉富雨彳固相干光束波形以180 °的相位差巽步射出日寺，一彳固审俞入光束 的波峰位置畲如下H 3 一般舆另一彳固输入光束的波谷重合，固if舄 相消性干涉”在相消性干涉的情况下，雨彳固输入波畲互相抵消而生暗淡的光、激光干涉法测距原理光的干涉现象图片：根据光的干涉原理，两列具有固定相位差， 而且有相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠， 将会产生干涉现象，如图所示由激光器发射的激光经分光镜 A^成反射光束S1和 透射光束S2两光束分别由固定反射镜M洋日可动反射镜M农射回来， 两者在分光镜处汇合成相干光束 若两列光S1和S2的路程差为N入（为 波长，N为零或正整数），实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强 最大。

当S1和S2勺路程差为入/2或半波长的奇数倍）时，合成光的振 幅和为零，此时光强最小激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条 纹，由光电转换元件接收并转换为电信号，经处理后由计数器计数， 从而实现对位移量的检测由于激光的波长极短，特别是激光的单色性好，其波长值很准确所以利用干涉法测距的分辨率至少为 入/2 利用现代电子技术还可测定0.01个光干涉条纹因此，用激光干涉法 测距的精度极高激光干涉仪由激光管、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成三、FANUCC8补参数的设定FANUC 0i、16M 18M3620各轴多勺炽、的补偿亏3621负方向的最小补偿点号3622正方向的最大补偿点号3623螺补量比率3624螺补间隔1851背隙补偿FANUC 15M5420各轴多勺炽、的补偿亏5421负方向的最小补偿点号5422正方向的最大补偿点号5423螺补量比率5424螺补间隔1851背隙补偿FANUC 0M11/0.1螺补倍率712-715螺补间隔756-759螺补间隔1000,20003000,4000补偿基准点1001-11282001-21283001-31284001-4128补偿值535-538背隙补偿注：P11.1,P11.0组合形式:00X101X210X311X4四、关于FANUC^C统正负方向补偿号的计算方法例子：X轴行程：-1000mg0mm参考点为0mm，基准点编号为 20,间隔距离为100mm,补偿倍率为1负方向补偿号=基准编号一（负方向行程/间隔）+ 1=20 -1000/100+ 1 = 11正方向补偿号=基准编号+ （正方向行程/间隔）+ 1=20 + 0/100 +1 = 21五、FANU说测用程式FANUC佥测用的宏程式有A类宏程序和B类宏程序两种。

FANUC0i,15M , 18M采用B类宏程序，0M采用A类宏程序使用B类宏程序有两种编程方法例子：行程为1000mm间隔为100mm采用双方向编程程式1如下：G54G90G00X0X-1G04X3#100=0N123X#100G04X5#100=#100+100IF [#100 LE 1000] GOTO 123X1005G04X3#101=1000N234X#101G04X5#101=#101-100IF [#101 GE 0] GOTO 234M00M30注:GEA LE < GT> LT< EQ= NE 丰程式2如下：G54G90G00X0X-1WHILE [#100LE1000] DO 1X#100G04X5#100=#100+100END 1X1005G04X3#101=1000WHILE [#100GE0] DO 2X#101G04X5#101=#101-100END 2M00M30使用A类宏程序程式如下：G54G90G00X0X-1G04X3G65 H01 P#100 Q0; (#100=0) /G65 H01 P#i Q#j/代码:H01 功能：定义,替换,赋值 定义:#i=#jN123X#100G04X5G65 H02 P#100 Q#100 R100; (#100=#100+100)/G65 H02 P#i Q#j R#k/代码:H02 功能：加法 定义:#i=#j+#kG65 H86 P-123 Q#100 R1000; (IF [#100 LE 1000] GOTO 123)/G65 H86 Pn Q#j R#k/代码:H86 功能：条件转移 定义:IF #j < #k,GOTO nX1005G04X3G65 H01 P#101 Q1000N234X#101G04X5G65 H03 P#101 Q#101 R100; (#101=#101-100)/G65 H03 P#i Q#j R#k/代码:H03 功能：减法 定义:#i=#j-#kG65 H85 P-234 Q#101 R0 （IF [#101 GE 0] GOTO 234）/G65 H85 Pn Q#j R#k/代码:H85 功能：条件转移 定义:IF #j > #k,GOTO nM00M30另一种方法就是调用子程序的方法M98 P##### L##六、OKUMA!补参数的设定在 “SYSTEM PARAMET ER 面设定：P PITCH ERR COM P螺距补偿的正方向极限）N PITCH ERR COM P螺距补偿的负方向极限）PITCH COMP SPAN （螺补间隔）PITCH POINT （螺距补偿的补偿点数）在“PITCH ERROR COMP面输入螺补值，通过软键“ AXIS CHANGE来选择各轴七、OKUM脸测程式例子同上，采用宏程序编程程序如下：G15H10G90G0X0X-5G04P3VC1=0N10X=VC1G04P5VC1=VC1 + 100IF [VC1 LE 1000] N10X1005GO4P3VC1=1000N11X=VC1GO4P5VC1=VC1-100IF [VC1 GE 0] N11M30八、检测值输入的方法在检测软件中补偿值选择绝对值。

在机床上输入时，无需更改符 号输入值必须是5的整数倍而FANU筮择增量值在输入时，需要更改符号输入的最大值 为7,而补偿的倍率最大为4倍M00。