精密微小孔加工技术进展.pdf

综 述 1 5的深小孔 此外 ， 高 效实用 的超声加 工 设 备也 是 人 们努 力研 究 的方 向 德国德马吉公司 ( D MG) 的 D MS 3 5 Ul t r a s o n i c超声 振动加 工 机床 ， 主 轴转 速 3 0 0 0 ～5 0 0 0 r ／ mi n ， 特 别 适合陶瓷、 玻璃、 硅等硬脆材料， 与传统的加工方 式 相 比 ， 生 产 率提 高 5倍 ， 加 工 表 面粗 糙 度 R a d r i l ls u n d e r h i g h — s p e e d ma c h i n i n g[ J] ．Ma c h in e T o o l s and M a n u f a c t u r e ， 2 0 0 6， 4 6： 1 8 9 2— 1 9 0 0． [ 7 ] 朱晓翠， 赵云飞 ， 母德强 ．振动钻削 的国内外研究现状和 发展 趋势[ J ] ．机械工程 师， 2 0 0 5 ( 1 0 ) ： 2 8 —2 9 ． [ 8 ] 张鹏 ， 李先昊 ， 张德 远．实用化 振动切削技术—— 微小孔振动 钻削工艺及设备[ J ] ． 新技术新工艺 ， 2 0 0 7 ( 1 ) ： 3 3—3 4 ． [ 9 ] 李先吴 ， 季远 ， 姜兴刚 ， 等．高速钢钻头振动钻削 9 C r 1 8不锈钢 微小孔的研究[ J ] ．工艺与工艺设备 ， 2 0 0 5 ( 1 ) ： 6 9—7 1 ． [ 1 O ] 朱 晓翠 ， 韩雪 冰， 赵云飞， 等．变进给量振动钻削提高微小孔 加工质量的分析 [ J ] ．工具技术 ． 2 0 0 6 ( 4 ) ： 5 4—5 7 ． [ 1 1 ] 张建华．精密与特种加工技术[ M] ．北京 ： 机械工业 出版社 ， 2 0 03 ． [ 1 2 ] K e n i c h i ，Ta k a h a t a ，Y o g e s h 。

e t a 1 ．B a t c h mo d e mi c r o - e l ect r o - d i s c h a r g e ma c h i n i n g[ J ] ．j o u r n a l o f Mi c r o e l E c t r o me c h a n i c a l s y s t e ms ， 2 0 0 2． 1 1 ( 4 )： 1 0 2—1 1 1 [ 1 3 ] He e r e n P a u 1 He n r i s ，Re y n a e rts D o n mi n i e k ，V a n B r u s s e l H e n ． d r ik．M i c r o - s t r u c t u r i n g o f s i l i c o n b y e l e c t r o - d i s c h a n g e ma c h i n in g ( E D M) p a r t I ： t h e o r y [ J ] ．S e n s o r s and Ac t u a t o r s ， A： P h y s i c a 1 ． 1 9 9 7 ， 6 0 ( 5 ) ： 2 1 2 —2 1 8 ． [ 1 4 ] Mi n o r u Y a ma z a k i ， T a k e mi S y z u k i ， No r i to s h i Mo r i ， e t a1． E D M o f mic r o - r o d s b y s e l f ． d ri l l e d h o l e s [ J ] ．J o u r n a l o f Ma t e ri al s P r o ． c e di n gT e c h n o l o g y ， 2 0 0 4， 1 4 9 ( 1 —3 ) ： 1 3 4—1 3 8 ． [ 1 5 ] Ma s u z a wa F ．S t a t e o f t h e a rt o f mi c r o ma e h i n i n g [ J ] ．A n n al s o f t h e C I R P， 2 0 0 0， 4 9 ( 2 ) ： 4 7 3 —4 8 8 ． [ 1 6 ] P h a m D T，D i m o v S S， B i g o t S， e t a1．Mi c r o - E DM． r e c e n t d e ． v e l o p m e n t s a n d r e s e a r c h k~ s u r e s [ J ] ．J o u r n a l o f Ma t e ri a l s P r o — c e ssi n g Te c h n o l o g y， 2 0 0 4， 1 4 9： 5 0—5 7． [ 1 7 ] N e b a s h i N，Wa k a b a y a s h i K，Y a ma d a M，e t a 1 ．I n p r o e e s s t r u ． i n g ／ d r e s s i n g o f g ri n d i n g wh e e ls b y WE D G a n d E F I D[ J ] ．I n t e r — n a t i o n al J o u r n al o f E l e c t r ic a l Ma c h i n in g ， 1 9 9 8 ( 3 ) ： 5 9—6 4 ． [ 1 8 ] 颜 国正 ， 赵国光．微小 型任意行程 电磁 冲击式纳米级步距驱 动装置及其控 制 技术 的研 究 [ J ] ．仪 器仪 表学 报 ， 1 9 9 6 ， 1 7 ( 4 ) ： 3 9 1—3 9 5 ． n9 ] 德吉马公 司。

激光加 工技术 [ J ] ．现 代制造 ， 2 0 0 5 ( 2 6 ) ： 5 0— 51 ． [ 2 O ] 李海．激 光成孔 技术现 状与 发展 [ J ] ．印制电 路信息 ， 1 9 9 9 ( 6) ： 2 5—2 7 ． [ 2 1 ] Tu n n a LOn e i l l W ，K h a n A，e t a 1 ．An a l y s i s o f l a s e r mi c r o d ril l e d h o l e s t h r o u g h a l u mi n i u m f o r mi c r o - ma nu f a c t u r i n g a p p l i c a - t io n s [ J ] ． Op t i c s a n dl a s e r s i nE n g i n e e r i n g ． 2 0 0 5 ， 4 3 ： 9 3 7—9 5 0 ． [ 2 2 ] Ti a w K S ，Ho n g M H．T e o h S H．P r e c i s i o n la s e r mic r o - p r o ． c e s s i n g o f p o l y me r s[ J] ．J o u rna l o f Al l o y s a n d C o mp o u n d s ， 一1 8一 [ 2 3 ] [ 2 4 ] [ 2 5 ] [ 2 6 ] [ 2 7 ] [ 2 8 ] [ 2 9 ] [ 3 O ] [ 3 1 ] [ 3 2 ] [ 3 3 ] [ 3 4 ] [ 3 5 ] [ 3 6 ] [ 3 7 】 [ 3 8 ] [ 3 9 ] [ 4 O ] [ 4 1 ] 2 0 0 8。

4 4 9： 2 2 8—2 31 ． 王玉英．飞秒光纤激光器及其在微细加工中的应用[ J ] ．激光 技术与应用， 2 0 0 7 ( 1 1 ) ： 1 7—2 1 ． Eg a s h i r a K ，M a s u z a wa T．M i c r o u l t r a son i c ma c h in i n g b y t h e a p ． p l i c a t i o n o f w o r k p i e c e v i b r a t i o n [ J ] ． An n al s o f t h e C I R P， 1 9 9 9 ． 4 8 ( 1 ) ： 1 3 1 —1 3 4 ． W a n g s h e n g Zh a o，Z h e n l o n g W a n g， Sh ic h u n Di ，e t a1．Ul t r a s o n ． i c an d e l ect r i c d i s c h a r g e ma c h i n i n g t o d e e p an d s ma l l h o l e o n t i t a ． n i u m a l l o y[ J ] ．J o u r n al o f Ma t e ri als P r o c e s s i n g T e c h n o lo g y ， 2 0 0 2， 1 2 0： 1 01— 1 0 6． 曹风 国 ， 张 勤俭 ．超声 加工技 术 的研究现 状及 其发 展趋 势 [ J ] ．电加工与模具 ， 2 0 0 5 ( 增刊) ： 2 5—3 0 ． 贾宝贤 ， 边 文风， 赵万生， 等．微 细孔超声加工关 键技术[ J ] ． 机械工程学报 ， 2 0 0 7 ( 1 1 ) ： 2 1 2 —2 1 6 ． Mo n h a n Se n ，S h a n H S．A r e v i e w o f e l e c t r oc h e mi c al ma c r o - t o mi c r o - h o l e d r il l in g p r oce s s e s [ J ] ． Ma c h in e T ool s and Manu f a c — t u r e ． 2 0 0 5 ， ( 4 5 ) ： 1 3 7 —1 5 2 ． 李小海 ， 王振龙． 赵万生．基于多功能加工平台的微细电解加 工工艺[ J ] ．上海交通 大学学报 ， 2 0 0 6 ( 6 ) ： 9 0 9—9 1 3 ． Li n J L，Li n C L．Th e u se o f t h e o r t h o g o n a l a r r a y y wi t h gr e y r e l a t i o n al an a l y s i s t o o p t imi z e t h e e l e c t i c a l d i sch a r g e ma c h i n in g p r oce s s wit h mu l t ip l e p e r fo r ma n c e h a r a c t e r — i S t iC S [ J ] T ool s and M a n u f a c t u r e ， 2 0 0 2， 4 2： 2 3 7—2 4 4． 李 志 永 ， 季 画 ．电懈 加 工 在 微 细 制 造 技 术 中 的 应 用 研 究 [ J ] ． 机械设计制造 ， 2 0 0 6 ( 6 ) ： 7 7—7 9 ． 张成光 ， 缪娟， 刘传绍 ． 脉 。