真空专业英语.doc

镀膜真空术语全集1.标准环境条件 standard ambient condition：2.气体的标准状态 standard reference conditions for gases：3.压力（压强）p pressure：4.帕斯卡Pa pascal：5.托Torr torr：6.标准大气压atm standard atmosphere：7.毫巴mbar millibar：8.分压力 partial pressure：9.全压力 total pressure：10.真空 vacuum：11.真空度 degree of vacuum：12.真空区域 ranges of vacuum：13.气体 gas：14.非可凝气体 non-condensable gas：15.蒸汽vapor：16.饱和蒸汽压 saturation vapor pressure：17.饱和度 degree of saturation：18.饱和蒸汽 saturated vapor：19.未饱和蒸汽unsaturated vapor：20.分子数密度n，m-3 number density of molecules：21.平均自由程 ι、λ，m mean free path：22.碰撞率 ψ collision rate：23.体积碰撞率 χ volume collision rate：24.气体量G quantity of gas：25.气体的扩散 diffusion of gas：26.扩散系数D diffusion coefficient; diffusivity：27.粘滞流 viscous flow：28.粘滞系数 η viscous factor：29.泊肖叶流 poiseuille flow：30.中间流 intermediate flow：31.分子流 molecular flow：32 克努曾数 number of knudsen：33.分子泻流 molecular effusion; effusive flow：34.流逸 transpiration：35.热流逸 thermal transpiration：36.分子流率 qN molecular flow rate; molecular flux：37.分子流率密度 molecular flow rate density; density of molecular flux：38.质量流率 qm mass flow rare：39.流量 qG throughput of gas：40.体积流率 qV volume flow rate：41.摩尔流率 qυ molar flow rate：42.麦克斯韦速度分布 maxwellian velocity distribution：43.传输几率Pc transmission probability：44.分子流导CN,UN molecular conductance：45.流导C,U conductance：46.固有流导Ci,Ui intrinsic conductance：47.流阻W resistance：48.吸附 sorption：49.表面吸附 adsorption：50.物理吸附physisorption：51.化学吸附 chemisorption：52.吸收absorption：53.适应系数 α accommodation factor：54.入射率 υ impingement rate：55.凝结率 condensation rate：56.粘着率 sticking rate：57.粘着几率Ps sticking probability：58.滞留时间 τ residence time：59.迁移 migration：60.解吸 desorption：61.去气 degassing：62.放气 outgassing：63.解吸或放气或去气速率 qGU desorption or outgassing or degassing rate：64.蒸发率 evaporation rate：65.渗透 permeation：66.渗透率 φ permeability：67.渗透系数P permeability coefficient2. 1.真空泵 vacuum pumps1-1.容积真空泵 positive displacement pump：⑴.气镇真空泵 gas ballast vacuum pump：⑵.油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：⑶.干封真空泵 dry-sealed vacuum pump：⑷.往复真空泵 piston vacuum pump：⑸.液环真空泵 liquid ring vacuum pump：⑹.旋片真空泵 sliding vane rotary vacuum pump：⑺.定片真空泵 rotary piston vacuum pump：⑻.滑阀真空泵 rotary plunger vacuum pump：⑼.余摆线真空泵 trochoidal vacuum pump：⑽.多室旋片真空泵 multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：⑾.罗茨真空泵 roots vacuum pump：1-2.动量传输泵 kinetic vacuum pump：⑴.牵引分子泵molecular drag pump：⑵.涡轮分子泵turbo molecular pump：⑶.喷射真空泵ejector vacuum pump：⑷.液体喷射真空泵 liquid jet vacuum pump：⑸.气体喷射真空泵gas jet vacuum pump：⑹.蒸汽喷射真空泵vapor jet vacuum pump ：⑺.扩散泵 diffusion pump ：⑻.自净化扩散泵self purifying diffusion pump：⑼.分馏扩散泵 fractionating diffusion pump ：⑽.扩散喷射泵 diffusion ejector pump ：⑾.离子传输泵 ion transfer pump：1-3.捕集真空泵 entrapment vacuum pump：⑴吸附泵adsorption pump：⑵.吸气剂泵 getter pump：⑶.升华（蒸发）泵 sublimation (evaporation)pump ：⑷.吸气剂离子泵getter ion pump：⑸.蒸发离子泵 evaporation ion pump：⑹.溅射离子泵 sputter ion pump：⑺.低温泵 cryopump：2.真空泵零部件2-1.泵壳 pump case：2-2.入口 inlet：2-3.出口outlet：2-4.旋片（滑片、滑阀）vane; blade ：2-5.排气阀 discharge valve：2-6.气镇阀 gas ballast valve：2-7.膨胀室 expansion chamber：2-8.压缩室 compression chamber：2-9.真空泵油 vacuum pump oil：2-10.泵液 pump fluid：2-11.喷嘴 nozzle：2-13.喷嘴扩张率nozzle expansion rate：2-14.喷嘴间隙面积 nozzle clearance area ：2-15.喷嘴间隙nozzle clearance：2-16.射流 jet：2-17.扩散器 diffuser：2-18.扩散器喉部 diffuser thoat：2-19.蒸汽导管vapor tube(pipe;chimney)：2-20.喷嘴组件nozzle assembly：2-21.下裙 skirt：3.附件3-1阱trap：⑴.冷阱 cold trap：⑵.吸附阱sorption trap：⑶.离子阱 ion trap：⑷.冷冻升华阱 cryosublimation trap：3-2.挡板baffle：3-3.油分离器oil separator：3-4.油净化器oil purifier：3-5.冷凝器 condenser：4.泵按工作分类4-1.主泵main pump：4-2.粗抽泵roughing vacuum pump：4-3.前级真空泵backing vacuum pump：4-4.粗（低）真空泵 roughing(low)vacuum pump：4-5.维持真空泵holding vacuum pump：4-6.高真空泵high vacuum pump：4-7.超高真空泵ultra-high vacuum pump：4-8.增压真空泵booster vacuum pump：5.真空泵特性5-1.真空泵的抽气速率 （体积流率）s volume flow rate of a vacuum pump：5-2.真空泵的抽气量Q throughput of vacuum pump：。

5-3.起动压力 starting pressure：5-4.前级压力 backing pressure ：5-5.临界前级压力 critical backing pressure：5-6.最大前级压力maximum backing pressure：5-7.最大工作压力maximum working pressure：5-8.真空泵的极限压力ultimate pressure of a pump：5-9.压缩比 compression ratio：5-10.何氏系数Ho coefficient：5-11.抽速系数 speed factor：5-12.气体的反扩散back-diffusion of gas：5-13.泵液返流back-streaming of pump fluid：5-14.返流率back-streaming rate5-15.返迁移back-migration：5-16.爆腾bumping：5-17.水蒸气允许量qm water vapor tolerable load：5-18.最大允许水蒸气入口压力maximum tolerable water vapor inlet pressure：5-19.蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的加热时间warm-up time for a vapor jet pump ora di。