真空设备操作维护保养规程版.doc

1.目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产,提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生2•范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养3 •操作规程3.1旋片泵操作规程3.1.1性能规范型号：2X- 70几何抽速：70L/S;极限压力：1帕；泵转速：450转/分；电机：Y132L-4 功率：5.5KW电机转速：1440转/分；配用三角带；B/1600: 4根；冷却水消耗量：480L/H;润滑油：1#真空机械泵油(KK-1)储存量8Kg；口径：进气90mm 排气60mm3.1.2操作规范起动前的准备(1) 检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，以 减少起动力矩2) 检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合3) 检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间4) 对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活5) 检查冷却水是否正常(管路上水压表水压w 0.2 — 0.3MPa)、润滑油是否正常起动(1) 打开冷却水阀2) 合上电源的开关，起动电机3) 泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。

停车 停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气3.1.3注意事项应经常注意油位及油的清洁，新泵工作 150小时后换油一次，以后每2-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间应经常保持泵及泵房的干燥清洁注意泵温及冷却水和油的温度，水温在 20-40 C之间，不应超过40C，即泵温不超过环境温度加上40C润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度入停车后泵温要下降至5C以下时，泵内冷却水必须除净3.2罗茨真空泵操作规程3.2.1性能规范型号：RTO,300S;抽气速率：300L/S;极限压力：0.6帕；进排气口径：160mm/100mm配用电机：3KW3.2.2操作规范起动前准备(1) 检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压w 0.2MP82) 检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寝没 3〜4个齿高度为宜电机侧 油位应以寝没1/3〜1/2油窗高度为宜润滑油封的油杯油位应在油杯高度的 1/3〜1/2之间(3) 如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果 吸入气体有腐蚀性，必须米取中和措施4) 检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。

5) 检查电机转向是否同泵体上的箭头一致起动(1) 起动前级泵2) 打开本泵的进气阀门（3） 打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵4） 泵运转时应平稳，转子不得有冲击声5） 泵的轴封处不得有漏油现象6） 泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或 其它异常现象，应立即停泵检查停泵（1） 停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高，负荷增大 而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵或会导致前级泵倒转，前级泵泵油倒灌入管道或罗 茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境2） 停止本泵并关闭排气阀门3） 停止前级泵4） 关闭冷却水进水阀3.2.3注意事项应经常保持使用环境清洁干净应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油不清洁时，应及时更换润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度3.3扩散泵操作规程3.3.1性能规范型号：KT600 600 表示吸气口径；抽气速率：》16000L/S;极限真空：6.5X10-5Pa；加热功率：9KVy装油量：6-7L（ks-3）;耗水量：w 1000L/H;进口 / 出口： 600/150。

3.3.2操作规范起动前准备（1） 检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压w 0.2〜0.3MPa；（2） 起动前，高真空阀门应处于关闭位置起动(1) 起动前级泵，抽出扩散泵内的气体2) 接通冷却水(注意：急冷水套在扩散泵停机时才能通水)3) 接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热 60min后，当容器压力达到工艺规定压力时， 打开高真空阀门，扩散泵可以进入正常工作状态停机(1) 关闭高真空阀门；(2) 切断扩散泵加热其电源，停止加热3) 当泵底温度w 60E关闭管道阀门4) 关闭前级泵， 并向前级泵充气，以防返油5) 停止对扩散泵供水3.3.3注意事项扩散泵出水温度应w 40r，否则应立即检查处理如果扩散泵在正常运行中突然停电停水，应按照以下步骤处理：(1) 立即关闭高真空阀和前级阀；(2) 迅速抽出加热器；(3) 马上接通急冷水路，并向扩散泵底部淋水；泵正常工作时，如性能突然变坏，应检查加热器是否损坏泵在长期工作后，性能如果下降，应拆泵检查油量及泵油氧化情况，酌情加油或换油(扩散泵专用油)，在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗，然后在 8o~iooc温度范围内烘干并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓，确保其无 松动安全可靠。

一般情况下，泵体应保持真空状态，以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化3.4分子泵操作规程3.4.1性能规范型号：TYFB-1600 抽气速率：1600 （ L/S）极限真空：v 8X 10-8/ v5X10-7电机转数：24000 （rpm）冷却水流量：1（L/mi n）3.5真空镀膜机操作规程3.5.1开停机顺序：3.5.1.1开机前，检查水，电，气是否符合要求，（水压表水压w 0.2 — 0.3MPa）,（气压表气0.4 — 0.6MPa）3.5.1.2 开机：打开真空机和流量控制器电源开关，依次按下“维持泵” 、“维持阀”、“扩散泵”、按钮大约30分钟后，扩散泵正常工作当分子泵电源频率达到225Hz时分子泵方 能正常工作）3.5.1.3在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况，清理炉内卫生装工件检查炉门密封 圈，关炉门3.5.1.4开主抽泵、开粗抽阀门3.5.1.5至真空度到400 Pa时（此时罗茨泵转子为静止状态）3.5.1.6 开前级阀3.5.1.7启动罗茨泵，3.5.1.8至真空度到6.7 Pa时，关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵，开精抽阀3.5.1.9至真空度到7.5 X10- Pa时开始镀膜。

3.5.1.10 运行工艺流程3.5.1.11 镀膜：开流量计按工艺要求充入气体、对工件进行离子清洗（清洗时间有不同工艺而定） 3.5.1.12关闭离子清洗真空度恢复至本底真空（7.5 X10-3Pa）3.5.1.13调整气体开始镀膜，（按工艺要求镀膜）3.5.1.14 关机关闭真空计、关闭精抽阀打开放气阀3.5.1.17放气结束3.5.1.18打开箱体大门3.5.1.19取出工件3.5.1.20装入工件3.5.1.21关闭放气阀3.5.1.22重复上述过程3.5.2设备维护3.5.2 .1日常保养(1) 开机前，检查水、电、气是否符合要求开启磁控靶前，检查靶水开关，每次开炉 门后，用酒精摖拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部)(3)检查循环水路进水温度是否在(2) 检查循环水路各接口，保证无渗漏5-25°C回水温度是否低于35°Co进水压力为2.5kg/cm—3.0kg/cm(4) 检查水流量开关是否正常工作5) 检查压缩机管路各接口，保证无压缩空气外漏6) 检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水7) 设备运转时检查机械泵、罗茨泵、扩散泵有无过热和异响8) 在设备升温、镀膜过程中：检查设备阀门，侧壁，后壁，高阀等有无局部发热现象。

9) 检查门密封条有无伤痕10) 用吸尘器仔细清洁炉体内部11) 视污染情况更换观察窗保护片12) 检查机械泵油位是否正常13) 检查罗茨泵油杯油量，保证油杯量在 1/2 — 1/3油杯高度即可(14) 检查分子泵油池油量，保证油池油量处于油标上下限之间15) 检查溅射靶与罐体之间的绝缘度，绝缘电阻大于 200MQ为合格16) 检查转架绝缘度；绝缘电阻大于 200MQ为合格17) 注意记录隔日真空，养成良好的习惯，便于及时发现设备的问题3.5.2 .2 定期维护下面的工作应每周进行一次：(1) 检查水路系统内各水表，阀门等出接口有无渗漏2) 检查压缩空气管路及气三联件，查看油杯中油量是否合适及时放掉杯中残余水分3) 使用压缩空气清洁机械泵外部，防止灰尘过厚影响散热4) 以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部5) 清洁观察窗玻璃6) 检察各电源线是否有松动、发热现象7) 检查循环水各阀门接口有无渗漏 3.5.2.3 下面的工作应每月一次：(1) 以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部，内衬2) 检查罗茨泵泵油状况，如发现油质变色，変烯，乳化等情况，应立即换油3) 清理机械泵口过滤网4) 检查各靶材消耗状况。

每更换一次靶材，用特斯拉计测量靶磁场强度 (当心强磁场、 、手表等精密仪器及电气请远离！ ！带有心脏起搏器的人员请远离！ ！)下面工作应三个月进行一次(1) 以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套2) 更换机械泵油(或者考虑使用1000小时)3) 更换机械泵油过滤器4) 请打开各电源柜及控制柜外罩，以压缩空气清洁内部，检查紧固螺钉是否松动，机壳接地是否良好，各兀器件有无异常下面的工作应六月一次：(1)将全部屏蔽板拆出清洗，彻底清洗炉体内部，个别膜层较厚部分，可用抛光布轮或砂轮抛光清理2) 将高阀打开，检查清洗阀板下面3) 清洗抽气主管道4) 清洗充气阀过滤器5) 更换转动轴圭寸6) 更换前门密圭寸圈7) 更换炉体加热器密封圈8) 检查机械泵皮带松紧是否适当，每半年调整一次下面的工作应一年进行一次：(1) 更换机械泵排气过滤网2) 检查PLC电池电量3) 更换分子泵润滑油(或者每 4000小时)4) 检查设备动力线是否有老化现象，及时更换大修：视设备工作情况，每两至三年大修一次，彻底清理炉体，更换全部真空系统密封圈, 检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备4 •维护保养4.1真空系统较长时间以后，极限真空度下降，应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检 修。

必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修4.2泵不用时，应用橡皮塞把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内4.3冷却水水压应保持0.1 MP〜0.2 MPa之间，出水温度w 45C4.4压缩空气压力在0.4Mpa〜0.5 Mpa之间4.5每次开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶4.6经常检查设备各种仪表，保证完好；按照规定对仪表进行校验4.7设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把水冷 套内的循环水放掉4.8充入的保护性气体，纯度不应小于 99.99%。