高真空机组项目设计方案（含设计图）.doc

高真空机组项目设计方案（含设计图）一、分子泵机组 I 设计方案1、主要技术指标1）极限压力： ≤5×10 -5 Pa2）抽气速率： 1400L/S3）装置与真空室连接：DN250 （CF250 接口，向上水平）2、分子泵机组 I 结构图3、主要配置说明1）P2：直联式真空泵 3 台 2）P1：分子泵 2 台 3) VI：气动高真空插板阀 2 个 4) V2：气动高真空挡板阀（不锈钢） 2 个 5) G1\G2：电阻、电离复合真空计 2 台6) 过度管道（长 250mm，法兰 DN250） 2 根 7)不锈钢波纹管（长 1m） 2 根 8)控制柜（三项集成） 1 套9) 电源、测量、控制线 （50 米） 配套相符二、 分子泵机组 II 设计方案1、主要技术指标1）极限压力： ≤5×10 -5 Pa2）抽气速率： 450L/S3）装置与真空室连接：DN150 （CF150 接口，向上方向）2、分子泵机组 II 结构图3、主要配置说明1）P2：型直联式真空泵 1 台 2) P1：型分子泵 1 台 3）VI：气动高真空插板阀 1 个 4）V2：气动高真空挡板阀（不锈钢） 2 个 5）G1\G2：电阻、电离复合真空计 1 台 6）过度真空管道等（长 250mm，法兰 DN150） 1 根 7）不锈钢波纹管 1 根 8）电源、测量、控制线 （50 米） 配套相符。