高纯氮化硅粉体.doc

高纯氮化硅粉体高纯氮化硅粉体(用于晶硅生产坩埚喷涂粉末用于晶硅生产坩埚喷涂粉末)使用方法使用方法高纯氮化硅粉体(用于太阳能行业高级陶瓷粉末)使用方法产品名称 纯度 比表面积 平均粒度 等级 Si3N4 >99.95% 12.0-15.0 0.6UM M11 使用说明： 1.将氮化硅粉体加入去离子水中，搅拌均匀浓度大约为 25%，质量比） 2.在搅拌的同时，利用喷枪将氮化硅水浆液喷涂于石英坩埚内壁喷涂前坩埚先预热 50-60 度，涂层 厚度约为 0.1mm) 3.喷涂后将带有氮化硅涂层的石英坩埚烘烤 20 小时左右（缓慢加热到 1000 度后冷却） 4.烘烤结束后，即可装入硅料进行熔炼使用乙烯-醋酸乙烯共聚物化学品中文名称： 乙烯-醋酸乙烯共聚物 化学品英文名称： ethylene-vinyl acetate copolymer 英文简称： EVA 技术说明书编码： 1314 CAS No.： 24937-78-8 分子式： (C2H4) x.(C4H6O2)y 分子量： 2000( 化学品中文名称： 乙烯-醋酸乙烯共聚物 化学品英文名称： ethylene-vinyl acetate copolymer 英文简称： EVA 技术说明书编码： 1314 CAS No.： 24937-78-8 分子式： (C2H4)x.(C4H6O2)y 分子量： 2000(平均) 健康危害： 对眼睛和皮肤有刺激作用 。

燃爆危险： 本品可燃，具刺激性 皮肤接触： 脱去污染的衣着，用流动清水冲洗 眼睛接触： 提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗 吸入： 脱离现场至空气新鲜处 食入： 饮足量温水，催吐 特特点点耐水性：密闭泡孔结构、不吸水、防潮、耐水性能良好 耐腐蚀性：耐海水、油脂、酸、碱等化学品腐蚀，抗菌、无毒、无味、无污染 加工性：无接头，且易于进行热压、剪裁、涂胶、贴合等加工 防震动：回弹性和抗张力高，韧性高，具有良好的防震 / 缓冲性能 保温性：隔热，保温防寒及低温性能优异，可耐严寒和曝晒 隔音性：密闭泡孔，隔音效果好 危危险险特特性性 粉体与空气可形成爆炸性混合物 , 当达到一定浓度时, 遇火星会发生爆炸加热分解产生 易燃气体 有有害害燃燃烧烧产产物物 一氧化碳、二氧化碳VAE 乳液主要用于胶粘剂、涂料、水泥改性剂和纸加工，具有许多优良的性能VAE 乳液具 有永久的柔韧性VAE 乳液可以看作是聚醋酸乙烯乳液的内增塑产品，由于它在聚醋酸乙烯分子中 引入了乙烯分子链，使乙酰基产生不连续性，增加了高分子链的旋转自由度，空间阻碍小，高分子 主链变得柔软，并且不会发生增塑剂迁移，保证了产品永久性柔软。

VAE 乳液具有较好的耐酸碱性 VAE 乳液在弱酸和弱碱存在条件下均能够保持稳定性能，因 此它不论与弱酸或弱碱混合都不会发生破乳现象，产品应用范围较广 VAE 乳液能够耐紫外线老化由于VAE 乳液是采用乙烯作为共聚物的内增塑剂，使VAE 聚 合物具有内增塑性，增塑剂不会发生迁移，从而避免了聚合物性能老化因此，不仅是VAE 乳 液对紫外线有很好的稳定性，就是VAE 乳液成膜后同样也可保持这一特点 VAE 乳液具有良好的混容性 VAE 乳液能与大多数添加剂混合，如分散剂、润湿剂、防冻剂、 消泡剂、防腐剂、阻燃剂等，因而可以满足各种不同需要；VAE 乳液能与许多颜料和填料混合， 而不会发生凝聚现象； VAE 乳液能与许多低分子和高分子水溶性聚合物直接混合，如聚乙烯醇水溶 液、聚乙二醇水溶液、淀粉或改性淀粉糊化液、聚丙烯酸钠水溶液、聚马来酸水溶液、聚氧乙烯水溶液、脲醛、酚醛水溶液、羟乙基纤维素、 羧甲基纤维素 、甲基纤维素水溶液等； VAE 乳液能与 许多其它高分子聚合乳液直接混合，如聚醋酸乙烯乳液、聚丙烯酸酯乳液 ；VAE 乳液能与醛、酯、 酮、有机酸、多元醇、高级醇、卤代烃、芳香烃等直接混合，如甲醛、乙二醛、邻苯三甲酸二丁酯、 邻苯二甲酸二辛酯 、醋酸、四氯化碳、三氯甲烷、苯、甲苯、二甲苯、辛醇、乙二醇、丙三醇、醋 酸乙酯、醋酸丁酯等。

VAE 乳液具有良好的成膜性乳液性粘合剂只能在某一温度形成透明的薄膜，这个温度叫最 低成膜温度 VAE 最低成膜温度一般低于 5℃，因此能够很好成膜，皮膜对水滴有较好的阻隔性 VAE 乳液具有良好的粘接性它对纤维、木材、纸张、塑料薄膜、铝箔、水泥、陶瓷等制品有 很好的粘合作用 根据 VAE 乳液聚合物的防水性划分，可分为通用和防水用两类通用类产品牌号的VAE 聚 合物钢性好，补粘强度高，但耐水性差；防水用产品牌号的VAE 聚合物挠性好，耐水性好，但粘 接强度低根据 VAE 应用性能、共聚物组成和共聚第三单体类型，VAE 乳液可分为粘品和纺品 两大类粘品型 VAE 多用作通用型胶粘剂，纺品型胶粘剂则多用作纺织纤维的胶粘剂，但两者之 间并没有绝对界限由于 VAE 乳液具有许多优良的性质，因此在实际应用中有着十分广泛的用途VAE 乳液被广泛用于胶粘剂的基料 VAE 乳液具有很好的机械性能，乳液粒子平均粒径小， 耐蠕变性与热封性之间有很好的平衡关系，有很好的湿粘性及很快的固化速度VAE 乳液具有广 泛的粘接性能，除能粘接木材、皮革、织物、纸张、水泥、混凝土、铝箔、镀锌钢板等材料，还能 用作压敏胶和热封胶，而且对于一些难于粘接的材料如聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚酯等薄膜更 是具备特有的粘接性。

VAE 乳液可以用作涂料的基料以聚醋酸乙烯乳液、丙烯酸乳液、VAE 乳液、丁苯乳液、丙 苯乳液、醋苯乳液等为基料制造的涂料统称为乳胶漆VAE 乳胶漆可用作内外墙涂料、屋面防水 涂料、防火涂料、防锈涂料 VAE 乳胶漆涂膜耐起泡性好，耐老化不易龟裂，与多种基材有较好 的附着力，安全无毒，使用方便 VAE 乳胶漆不仅能够涂覆于木材、砖石和混凝土上，也能涂覆 于金属、玻璃、纸、织物表面，它与油漆的亲和力也很好，可以相互在其表面上涂刷 VAE 乳液可用于纸加工随着合成高分子技术发展，许多高分子物质在纸加工中发挥极大的作用， 特别是一些合成高分子乳液在纸加工中更具有优越性，VAE 乳液就是其中之一VAE 乳液在纸加工中 主要用于纸张浸渍、纸张涂层和纸浆添加，其特点是能够给多种纸张上光，增加纸的干湿强度、韧性、 光泽度，提高色彩稳定性，降低油墨印刷消耗量，提高纸张档次作为纸浆添加剂，可以制作各类非石 棉型垫片VAE 乳液还可以用于特种纸加工，如用干法膨化造纸制作一次性使用的餐巾、面巾、尿布、 卫生巾等 VAE 乳液可用于水泥改性剂，水泥是建筑工程中应用最广泛的材料之一但是单纯的水泥 制品存在容易龟裂和耐水性、耐冲击力、耐酸性差的缺点，在一定程度上影响了水泥的实用效果。

从 20 世纪 20 年代起，人们就致力于对水泥的改性研究随着研究不断深入，人们发现许多合成乳胶在水泥 改性上有较好的效果，如聚醋酸乙烯乳液、丙烯酸乳液、丁苯及甲苯乳液、VAE 乳液等其中 VAE 乳 液由于具有良好的耐水性、耐酸碱性和耐候性，价格也比同类产品便宜，因此作为新材料正在被广泛应 用于土建工程中近几年，处于环境保护的考虑，市场上逐渐出现了 VAE 可再分散乳胶粉 ，并逐步取 代了 VAE 乳液在水泥改性剂方面的地位，成为主要的水泥改性剂的主要产品SiO2 又称硅石在自然界分布很广，如石英、石英砂等白色或无色，含铁量较高的是淡黄色密度 2.2 ～2.66.熔点 1670℃（鳞石英） ；1710℃（方石英） 沸点 2230℃，相对介电常数为 3.9不溶于水微 溶于酸，呈颗粒状态时能和熔融碱类起作用用于制玻璃、水玻璃、陶器、搪瓷、耐火材料、硅铁、型 砂、单质硅等二氧化硅又称 硅石，化学式 SiO2自然界中存在有结晶二氧化硅和无定形二氧化硅 两种结晶二氧化硅因晶体结构不同，分为石英、鳞石英和方石英三种纯石英为无色晶体，大而透明棱柱状 的石英叫水晶若含有微量杂质的水晶带有不同颜色，有紫水晶、茶晶、墨晶等。

普通的砂是细小的石 英晶体，有黄砂(较多的铁杂质)和白砂(杂质少、较纯净)二氧化硅晶体中，硅原子的 4 个价电子与 4 个 氧原子形成 4 个共价键，硅原子位于正四面体的中心，4 个氧原子位于正四面体的 4 个顶角上，整个晶体是一个巨型分子，SiO2 是表示组成的最简式不表示单个二氧化硅分子，仅是表示二氧化硅晶体中硅和 氧的原子个数之比 SiO2 中 Si—O 键的键能很高，熔点、沸点较高（熔点 1723℃，沸点 2230℃） 化学性质很稳定不溶于水也不跟水反应是酸性氧化物 ，不跟一般酸反应气态 氟化氢或氢氟 酸跟二氧化硅反应生成气态 四氟化硅跟热的强碱溶液或熔化的碱反应生成 硅酸盐和水跟多种 金属氧化物在 高温下反应生成硅酸盐用于制造 石英玻璃、光学仪器、化学器皿、普通玻璃、耐 火材料、光导纤维，陶瓷等二氧化硅的性质不活泼，它不与除氟、氟化氢和氢氟酸以外的卤素、 卤化氢和氢卤酸以及硫酸、硝酸、高氯酸作用氟化氢(氢氟酸)是唯一可使二氧化硅溶解的酸， 生成易溶于水的 氟硅酸：测其二氧化硅的比表面积 SiO2 ＋ 4HF = SiF4↑ ＋ 2H2O二氧化硅在自然界分布很广，如石英、石英砂等。

白色或无色，含铁量较高的是淡黄色密度 2.65～2.66 熔点 1670℃（鳞石英）；1710℃（方石英）沸点 2230℃不溶于水微溶于酸，微粒 时能与熔融和碱类起作用石英坩埚石英坩埚 1．石英坩埚可在 1450 度以下使用，分透明和不透明两种用电弧法制的半透明石英坩 埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料当今，世界半导体工业发达国 家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节 约能源、质量稳定等优点 2、不能和 HF 接触，高温时，极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用 3．石英坩埚适于用 K2S2O7，KHSO4 作熔剂熔融样品和用 Na2S207(先在 212 度烘干)作熔剂处理样 品 4．石英质脆，易破，使用时要注意 5．除 HF 外，普通稀无机酸可用作清洗液 国内常 用拉制单晶硅用石英坩埚 18 英寸和 20 英寸也有厂家使用 22 及以上的坩埚目前国内坩埚生产厂家生产的18 和 20 英寸坩埚技术都比较成熟其生产使用原料石英砂主要由美 国进口国内产的石英砂纯度都达不到其要求其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气 泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。

目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英 砂使其形成致密层，其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率工艺过程如下：将粒径 5～200 微米的氮化硅颗粒和去离子水搅拌成乳浆状溶液并保持在喷涂过程 中不断搅拌，该溶液在内外压差作用下经雾化头形成氮化硅雾，在低压(10～100Pa)下该雾均匀连续的喷 涂到石英坩埚内壁上，水份被烘干后即形成干燥的 1～2mm 氮化硅薄层，再将涂有在氮化硅涂层的石英 坩埚在 950～1050℃下进行烧结，形成结构更加致密的氮化硅层将一定粒度的超纯氮化硅粉末和去离子水(DI 水)以一定量配比，搅拌均匀，然后在洁净腔室内用 高压枪喷涂在预热过的石英坩埚内壁，经过烘箱在一定程序下烧结，在石英坩埚内壁形成了一层致密的 氮化硅膜喷涂层，烘箱抽成真空后通入 Ar 气这层膜能阻止高温熔融硅液与石英坩埚反应，避免出现 粘埚现象；同时氮化硅膜的出现，替代了高纯石英坩埚的使用，节约了成本；还能最大程度阻止对成品 电池片电性能不利的氧元素和杂质元素的混入，为电池片的质量提供了保障。