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操作步骤操作步骤 0534405344单晶炉装料硅料安装a. 取来装料不锈钢车和硅料，仔细核对配料单的各项内容是否与单晶炉号、配料实物一致，若有异常及时处理并报告班长或主任b. 更换装料用的手套，如有母合金先放入石英坩埚再将碎料、小料平铺在埚底c. 将大块料放置中央，用中型料放于大料四周上方左右予以固定，间隙中放入小硅料装料时要慎重作业，轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚，不要使料掉在保温罩的缝隙，以免造成打火d. 装料时注意不要使料探出石英坩埚，否则会在熔料过程中引起硅液流下，损坏石墨件，甚至焖炉e. 装料完成后打开埚转旋转一下，确认四周间隙一致，再快速将埚降至下限停止旋转f. 埚上部、加热器上部、保温罩上部再用干净吸尘刷吸净浮尘及硅渣 g. 依次装好保温盖、导流筒安装保温罩、导流时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅料发生接触时要调整硅料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅 单晶炉具体操作步骤1、 目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范2、 适用范围适用于 TDR-70A/B 和 JRDL-800 型单晶炉的操作3、 单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、 主要内容A. 作业准备a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。

b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净f. 用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净B. 热态检漏a. 检查上一炉功率关闭时间，在单晶冷却 4.0 小时（TDR-70A/B 型单晶炉） 、5.0 小时（JRDL-800 型单晶炉）后，关闭氩气（只关闭氩气阀门，主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min） ，开始抽高真空，并作时间记录b. 待炉内压力到达极限（要求达到 3Pa 以下）后，先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录，若 0.5 小时内抽不到 3Pa 以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录c. 检漏要求 3 分钟以上，漏气率0.67Pa/min，则需重复 a、b、c、d 步进行抽空检漏，若仍不合格报告维修人员处理并进行相应记录。

N. 充氩气、升功率、熔料a. 抽空检漏合格后，再打开真空泵电源b. 缓慢打开球阀c. 打开氩气充气系统，调节付室氩气流量在 20~30L/Min，使炉内压力稳定在 1000~1500Pad. 打开加热开关e. 根据下表通过欧陆表分步增加功率每次加温均作相应记录对欧陆表的使用应小心操作，防止功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而打火或损坏应严格按照加热顺序进行加热，否则可能会温度突然上升造成石英坩埚破裂、漏硅时间 功率0min 50KW30min 70KW60min <100KWf. 熔料过程中时刻注意观察炉内的情况,若无异常塌料后给定埚转2r/min，上升适当埚位并进行相应记录升埚时注意不要使硅液面触到导流筒下沿升完埚后通过对埚位标尺的确认埚无动作，方可完成，否则会使导流筒粘硅，发生跳硅g. 料熔完时，降低加热功率至引晶温度(与上炉对应)给定埚转到5~7r/min，并进行相应记录h. 欧陆表值降至引晶温度对应的数值时切入自动，将埚升至引晶埚位稳定即导流筒至液面距离为 15mm 左右引晶埚位也可在上炉装料基础上根据投料量增加/减少量，来确定本次引晶埚位，具体可参照附录 A 引晶位置变化参考表。

并进行相应记录O. 引晶、缩颈、放肩、转肩a. 测电阻率取样1) 温度切入自动后，按籽晶快降，将籽晶降至从主观察窗刚能看到的位置，并打开晶转电源，给定晶转 10~12r/min2) 20 分钟后，降籽晶使之与液面接触，通过欧陆表调整温度开始放肩3) 将肩放至直径 50~60mm 提离液面上升到至付室，打开付室氩气后盖住翻板阀，打开主炉室氩气，调节流量到炉压和原来一致4) 增大付室氩气流量拧松付室小门螺丝，等付炉室炉压表指示到0 时，打开付室小门，关闭氩气5) 缓慢调节晶转为 0 r/min，关晶转6) 用钳子取出籽晶下放肩部位，取籽晶时要慎重作业，不可用手直接接触籽晶，防止烫伤等冷却后去测电阻率7) 等籽晶冷却后用纸巾擦洗干净，关闭付室小门b. 付泵抽空作业1) 合好付室炉筒或关闭付室小门后打开付泵电源2) 慢慢打开后面的付室抽气球阀，直至全开3) 付室压力表抽至－0.05～-0.1Mpa 时打开付室氩气阀，同时关闭付泵球阀4) 付室压力表充至 0～-0.05Mpa 时关闭付室氩气阀，同时打开付泵球阀5) 步骤 3 和步骤 4 反复操作三次.6) 最后根据压力表指针确认付室与主室气压达到一致，关闭付室球阀，然后关闭付泵电源。

7) 缓慢打开翻板阀打开翻板阀时要缓慢操作，防止损坏或挤出阀口密封圈8) 打开付室氩气阀至正常流量，关闭主室氩气阀c. 补掺母合金1) 若电阻率测试结果在目标范围时，可进行下一步预热接触引晶；若有偏离，须补掺母合金，由组长根据电阻率测试结果和投料量计算出补掺母合金的类型和数量，并去取出称量，进行补掺，作好相应记录2) 补掺过程同 a 测电阻率取样一样，只是放肩放到 100~150mm，尽量放平肩3) 打开付炉室门后，不取下籽晶，而将已称量的母合金放在平肩上放母合金时要慎重作业，不可用手直接接触籽晶，防止烫伤4) 再按 b 付泵抽空作业后，适当调节熔硅温度，把籽晶和母合金降到液面中，使其熔化掺入5) 再重复 a 测电阻率取样，b 付泵抽空作业， c 补掺母合金，直到电阻率测试合格进入下一工序d. 预热接触1) 电阻率合格后按籽晶快降，将籽晶降至从主观察窗刚能看到的位置，并打开晶转电源，给定晶转 10~12r/min2) 20 分钟后，按籽晶快降按钮将籽晶降至距硅液面 10mm 处预热 20分钟作好相应记录必须预热，不然会由于籽晶由低温区到高温区、由固定到液态转变时，温差太大造成籽晶产生位错。

3) 籽晶快速上升或下降的位置必须给予确定，升降操作方可完成，否则会溶掉籽晶甚至重锤，升至上限时会导致重锤掉下进入溶硅内，造成漏硅或整炉料彻底报废，无法再次利用4) 降籽晶使之与硅液面接触，浸润 20 分钟，熔去籽晶较细的部分，根据接触光圈的形状，确定引晶温度是否合适，若合适开始引晶；若不合适，通过欧陆表调整温度 20 分钟后开始引晶，温度不宜偏低。