[精选]镀膜流程简介.pptx

鍍膜流程簡介,Prepared by Eddy 2009/4,鍍膜流程,排列,將鏡片從托盤中取出一一排入合適的洗藍內，對部分易產生燒蝕不潔的鏡片，排列前增加用酒精手動拋光動作，以減少燒蝕及不潔超聲波清洗,將排列好的鏡片放入清洗機進行清洗. 清洗作業主要分三部分: 第一部分洗三槽藥劑及一槽市水，主要去除鏡片表面臟污，油漬等； 第二部分洗中間五槽為兩槽市水&三槽純水，主要去除鏡片表面藥劑； 第三部分對鏡片脫水及烘幹先洗三槽IPA脫水槽再進行烘乾. 每槽清洗時間90s,超聲波功率2A. 目前主要使用的清洗藥劑為: UP3 ORD-6.1 IPA,框入,將清潔乾淨的鏡片框入鍍膜環，在150W幻燈機下旋轉12圈檢驗不潔水紋傷痕等外觀不良,用60W台燈確認青燒蝕膜欠等外觀不良,然後將鍍膜環放入傘架. 框入常見外觀不良現象有: 線傷 不潔 點傷 水紋 破邊 燒蝕 其他,鍍膜,融藥的條件: 真空度:2E-2Pa以下 主閥打開 機台達到鍍膜的條件: 真空度:2E-3Pa以下 加熱溫度:350度 AR鍍膜主要使用的藥材: H4(LaTiO3) MgF2 鍍膜監控方式: 石英晶振片監控 利用附著在石英晶振片表面膜材質量之增加所 引發石英晶片共振頻率變化來量測膜層的厚度.利 用石英晶體振動頻率與其質量成反比.,抽氣加熱,融藥,真空2E-3 Pa,鍍膜,洩氣,清潔換料,蒸鍍,Mask,E-beam,Shutter,Chamber,Substrate Holder,光學監控系統&膜厚監控系統,鍍膜設備,鍍膜機外觀 鍍膜機內部,現有鍍膜設備,AR 制程,AR 制程為減少鏡片表面反射，一般在10層內,白玻反射,鍍單層MgF2反射,YC系列要求紅外的多層反射,普通AR多層反射,敬請指教Thank You,。