2V2薄膜物理与技术第一部分第二章ppt课件.ppt

第二章 真空的获得一一.真空泵的分类真空泵的分类二二.1. 按极限真空分按极限真空分三三.• 粗真空粗真空四四.• 低真空，高真空，超高真空低真空，高真空，超高真空五五.2. 按抽气原理分：按抽气原理分：六六.• 压缩型：气体进入泵经压缩排列空气中压缩型：气体进入泵经压缩排列空气中七七.• 吸附型：把气体吸附住，暂时或永久保存吸附型：把气体吸附住，暂时或永久保存在泵内• 此外，有的泵对样品室有油污染，有的没油污染各种泵基本分类情况前级泵(低真空泵)次级泵(高真空、超高真空泵)压缩型机械泵、罗茨泵(有油)扩散泵(有油、高真空泵) 涡轮分子泵(无油高及超高真空)吸附型吸附泵(无油)升华泵，升华离子泵，溅射离子泵，低温泵（无油及超高真空）二. 真空泵的基本参数1. 抽速s含义：入口处某气压下，单位时间流入泵内的气体体积or3. 流导C(1) 定义：单位压强差的流量即用于衡量管道时气体的传输能力大小主要取决于管道几何尺寸和形状(2) 长圆管道的流导条件：粘滞性流动时(3) 圆孔的流导 (分子性流动）4. 流动形式判别法: (克努曾判别法)5. 极限压强极限压强Pu泵对不漏气容器抽气时，经足够长时间所达到的泵对不漏气容器抽气时，经足够长时间所达到的最低平衡压强最低平衡压强6. 最大工作压强最大工作压强泵能工作所允许的最大压强泵能工作所允许的最大压强7. 压强的运用范围压强的运用范围泵具有相当抽气能力的压强范围泵具有相当抽气能力的压强范围§1. 旋片式机械泵1 机械泵的Pu:     5*10-4乇  机械泵的用途：抽低真空；扩散泵、分子泵的前级真空泵  机械泵的结构：由工作室、进气管、排气阀、油腔、气镇阀、马达构成 工作室包括：定子、转子、旋片旋片装于转子上并将定子分成三部分：吸气空间；膨胀压缩空间；排气空间。

2 工作原理：（见原理图）工作原理：（见原理图）利利用用转转子子及及其其上上的的旋旋片片的的高高速速旋旋转转使使分分成成三三部部分分的的各各泵泵腔腔容容积积发发生生周周期期变变化化来来完完成成吸吸气气和和排气 3 泵的有害空间：泵的有害空间：旋旋片片、、定定子子排排气气口口、、转转子子与与定定子子接接触触处处三三者者构构成的空间成的空间此空间的气体无法被旋片扫出排气口此空间的气体无法被旋片扫出排气口4. 影响极限真空的因素影响极限真空的因素: 有害空间的存在有害空间的存在 加工精度加工精度 材料放气、漏气材料放气、漏气泵油受热分解泵油受热分解 5. 提高极限真空的措施提高极限真空的措施: 6.气镇阀的作用气镇阀的作用: 7. 泵油的作用与选择泵油的作用与选择:8. 使用的注意事项使用的注意事项:  (1).  在新场所首次使用前需检查马达转向在新场所首次使用前需检查马达转向  (2).  停泵时注意避免返油停泵时注意避免返油  (3). 需需水水冷冷的的泵泵使使用用时时应应先先开开冷冷却却水水;用用油油正正确，油量合适确，油量合适 § 2. 罗茨泵§ 3. 扩散泵抽速：抽速： 几百到几千几百到几千L/secL/sec。

极限真空：极限真空： 10-7 Torr 10-7 Torr特点：特点： 抽速大，寿命长，易维修抽速大，寿命长，易维修缺点：缺点： 会意外返油，使真空系统造成长久污染会意外返油，使真空系统造成长久污染用处：用处： 次级泵，非常适合动态真空系统中使用次级泵，非常适合动态真空系统中使用工作压强：工作压强： 10-2 Torr 10-2 Torr以下以下工作机理：工作机理：1 1〕工作液体被加热器加热，产生蒸汽；〕工作液体被加热器加热，产生蒸汽；2 2〕蒸汽从喷嘴向下、向外喷出；〕蒸汽从喷嘴向下、向外喷出；3 3〕从入口处进来的气体被蒸汽裹入，产生向〕从入口处进来的气体被蒸汽裹入，产生向下的动量；下的动量；4 4〕带有气体的蒸汽以超音速喷向泵壁；〕带有气体的蒸汽以超音速喷向泵壁；5 5〕蒸汽和气体混合物与水冷的泵壁接触，蒸〕蒸汽和气体混合物与水冷的泵壁接触，蒸汽被冷凝，再进入加热器；汽被冷凝，再进入加热器；裹夹的气体分子仍以获得向下的动量运动，在裹夹的气体分子仍以获得向下的动量运动，在底部被前级泵抽走底部被前级泵抽走扩散泵的结构与组成扩散泵的结构与组成:l  由由泵泵体体〔〔带带冷冷却却水水管管））、、泵泵芯芯、、电电炉炉 挡挡油油气组成气组成l 迷宫式泵油分馏器迷宫式泵油分馏器   必要性必要性:   自动分馏原理自动分馏原理: 对扩散泵油的要求对扩散泵油的要求:1.室温时饱和蒸气压要低室温时饱和蒸气压要低——利于提高利于提高Pu   沸沸腾腾时时饱饱和和蒸蒸气气压压要要高高——便便于于在在较较高高的的出口压强下工作出口压强下工作2. 热稳定性好热稳定性好  抗氧化性能好抗氧化性能好  化学性质好、无毒化学性质好、无毒3.表面张力强表面张力强4. 闪点高、沸点低、汽化热小闪点高、沸点低、汽化热小        8. 扩散泵的使用注意事项:（1〕样品室及扩散泵用机械泵抽到10-2乇才能加热泵油（2〕加热扩散泵前应先开冷却水（3〕扩散泵工作时始终必须有冷却水和机械泵（4〕要用扩散泵抽样品室前，样品室真空度不低于10-2乇（5〕扩散泵下部冷后才能停水、关机械泵（6〕泵油量合、水量适、加热功率正确§4.吸附泵与低温泵   （1〕极限真空与用途:  单泵时: 1 Pa;                  双泵联用： 10-2 Pa；   用于配合离子泵抽超高真空   （2〕吸附泵结构:  （3〕抽气原理: 利用微孔材料低温下大量吸气的原理  （4〕分子筛的特点: 高效吸附；选择吸附；可再生    (5〕吸附泵的使用:      对分子筛加热再生〔300-350度);               当抽气能力明显下降时要550度激活§5. 升华泵n抽速：抽速： 10 ~ 106 L/sec。

n极限真空：水冷时：极限真空：水冷时： 10-5 - 10-6 Pan                                 液氮冷：液氮冷： 10-9 Pan优点：对活性气体抽速大〔有的可达优点：对活性气体抽速大〔有的可达106 L/sec））n缺点：缺点： 对甲烷和惰性气体抽速很小；对甲烷和惰性气体抽速很小；n用处：用处： 快速提升真空度时用，作次级泵；快速提升真空度时用，作次级泵；为节省钛，采用间为节省钛，采用间 断性运行断性运行钛升华器钛升华器  升华泵升华泵: :操作要领：操作要领：1 1〕在真空压强小于〕在真空压强小于1010－－6 Torr6 Torr时使用；时使用；2 2〕使用前对〕使用前对TiTi除气除气3 3〕不要连续使用时间过长，特别是在压强较〕不要连续使用时间过长，特别是在压强较高时，否则会脱附大量过去吸附的气体，污高时，否则会脱附大量过去吸附的气体，污染样品各种常见气体在不同的温度下，在Ti材料上的吸附速度数据见图升华泵的使用注意事项升华泵的使用注意事项: l  真空度低于真空度低于10-6乇才能启用乇才能启用l  加温加温1200-1500度，不能超过度，不能超过1600度度l 因因Ti储储量量有有限限，，不不作作主主泵泵用用，，而而与与其其他他泵泵联联合使用合使用l 为省为省Ti，超高真空时采用间断升华，超高真空时采用间断升华  升华泵的特点：升华泵的特点：活活性性气气体体抽抽速速很很大大107L/S，，惰惰性性气气体体抽抽速速很很小，寿命取决于灯丝及小，寿命取决于灯丝及Ti储量。

储量 §6.升华离子泵 （（1））   Pu=10-12乇乇（（2）） 构构造造：：比比升升华华泵泵多多一一套套使使气气体体电电离离定定向向加速分流〔电离器）加速分流〔电离器）（（3））  工作原理工作原理:（（4）） 特特点点：：抽抽速速比比升升华华泵泵大大；；解解决决升升华华泵泵抽抽惰性气体差的问题惰性气体差的问题 (5) 缺点：高温元件多，易损坏，电源较多缺点：高温元件多，易损坏，电源较多 §7.溅射离子泵 抽速：抽速： 1 ~ 500 L/sec 1 ~ 500 L/sec极限真空：极限真空： < 10-11 < 10-11乇乇(Torr)(Torr)特点：特点： 安静，不将气体排除到真空系统外安静，不将气体排除到真空系统外用处：用处： 静态真空系统超高真空的获得，次级泵静态真空系统超高真空的获得，次级泵工作压强：工作压强： < 10-5 < 10-5乇乇工作原理：工作原理：1 1）） 高压〔几千伏〕电场使阴阳之间放电，产生电高压〔几千伏〕电场使阴阳之间放电，产生电子；子；2 2）） 在强磁场〔几千高斯〕下，电子螺旋运动，因在强磁场〔几千高斯〕下，电子螺旋运动，因而电子运动路程被大大加长，与气体分子发生碰而电子运动路程被大大加长，与气体分子发生碰撞并将气体电离的几率大大增加；撞并将气体电离的几率大大增加；3 3）） 产生的气体离子向钛阴极加速；产生的气体离子向钛阴极加速；4 4）） 被加速的气体离子把阴极材料原被加速的气体离子把阴极材料原/ /分子溅射出来分子溅射出来, ,产生新鲜表面产生新鲜表面, ,化学吸附离子和气体，或将它们埋化学吸附离子和气体，或将它们埋起来；起来；5 5）） 部分钛原部分钛原/ /分子沉积在阳极表面，此阳极表面也分子沉积在阳极表面，此阳极表面也吸附气体分子。

吸附气体分子§8.涡轮分子泵 抽速：抽速： 35 35 ～～ 25000 L/sec 25000 L/sec极限真空：极限真空： 10-10 --- 10-11 Torr 10-10 --- 10-11 Torr优点：优点： 无碳氢化合物污染，启动压强较高，无碳氢化合物污染，启动压强较高，对前级泵要求不苛刻对前级泵要求不苛刻缺点：缺点： 对氢气抽除不理想，机械加工精密度对氢气抽除不理想，机械加工精密度要求高，维修难要求高，维修难用处：用处： 静、动态超高真空抽空，次级泵静、动态超高真空抽空，次级泵工作原理：工作原理：1 1）） 快速转动的涡轮叶片〔快速转动的涡轮叶片〔10000 10000 ～～ 50000 rpm 50000 rpm〕〕将动能〔速度〕传递给气体分子；将动能〔速度〕传递给气体分子；2 2）） 被转子缝隙捕获的分子朝定子缝隙方向飞去；被转子缝隙捕获的分子朝定子缝隙方向飞去；3 3）） 气体分子不断被加速气体分子不断被加速4 4）） 在前级处被甩出分子泵，被前级泵抽除在前级处被甩出分子泵，被前级泵抽除注意：涡轮分子泵的工作原理并不是将气体抽出系注意：涡轮分子泵的工作原理并不是将气体抽出系统，而是通过动能传递将气体甩出系统。

统，而是通过动能传递将气体甩出系统。