全板电镀流程操作手册-柏宇说明书.doc

全板电镀流程操作手册2008年3月目录1. 柏宇专利化学品名称与储存要求 ................................32．全板电镀线配槽步骤...........................................4 2.1 新配槽的清洁处理方法..................................4 2.2 配槽简表..............................................4 2.3 配槽步骤..............................................53. 全板电镀线设备要求...........................................54. 药液生产控制范围.............................................65. 药液补充量及槽液寿命.........................................66. 生产线保养事项...............................................6 6.1 定期保养..............................................6 6.2 碳处理和阳极铜球处理..................................87. 药品分析方法.................................................98. 工艺问题处理简表.............................................119. 基本化学药品名称和规.........................................1610.产品说明书...................................................161．基本化学药品名称及规格1．1 所需基本化学药品规格2.2.1 硫酸(化学纯) H2SO4浓度98%重量比 密度g/cm31.835 - 1.945 氯max. 0.5 ppm 铁max. 5.0 ppm2.2.2 盐酸(化学纯) 含有HCl37.5% 密度g/cm31.16 - 1.20 重金属max. 1 ppm2.2.3 硫酸铜(化学纯) CuSO4.5H2O成份min. 98%重量比 氯max. 0.02%重量比1.2 含磷铜阳极规格含磷铜阳极 Cu>99.9%，不含Cu2O P0.04 - 0.06% Pbmax. 0.001% Bimax. 0.002% ASmax. 0.003% Sbmax. 0.003% Snmax. 0.003% Znmax. 0.001% Femax. 0.003% Nimax. 0.008% Semax. 0.001% Smax. 0.01%2. 全板电镀线配槽步骤2.1 新药槽的清洁处理方法2.1.1 药槽和有关设备的清洁方法1).用5% NaOH溶液浸缸，同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时后排放碱。

2).再用清水冲洗用2%(v/v)硫酸溶液浸缸及同时开启过滤泵/循环泵4 - 8小时3).排放硫酸液，然后用清水冲洗2.1.2 过滤芯及阳极袋的清洁方法1).用2% (w/w) NaOH溶液浸泡4小时，然后用清水冲洗2).再用2 % (v/v)硫酸溶液泡4小时，然后用清水冲洗2.1.3 铜球的清洁方法1).用2%硫酸(v/v)和5%(v/v)双氧水(35%)混合溶液用作微蚀处理铜球表面2).再用清水冲洗，并放入1%(v/v)硫酸溶液中储存备用2.1.4 阳极钛篮的清洁和电解处理1).用2 - 5%(v/v) NaOH溶液浸泡4 - 8小时，然后用清水冲洗2).再用2%(v/v)硫酸溶液浸泡4小时3).把钛篮放入注满10% 硫酸的镀铜槽中的阳极位置4).在阴极挂上不锈钢板5).用6 - 8V电压，稳压电解处理钛篮约一小时6).用去离子水彻底冲洗2.1.5 锡球的清洁方法1).用4%(v/v) 硫酸溶液浸泡4 - 8小时2).然后用清水冲洗，并放于1%(v/v)硫酸溶液中储存使用2.2 配槽简表药品配槽浓度100 L配槽用量纵横比> 7:1纵横比3:1-7:1纵横比< 3:1纵横比> 7:1纵横比3:1-7:1纵横比< 3:1硫酸铜硫酸(98%)氯离子酸铜添加剂1301M45 g/L165 ml/L75 ppm4 ml/L60 g/L145 ml/L75 ppm4 ml/L75 g/L125 ml/L75 ppm4 ml/L4.5kg16.5 L分析添加400 ml6.0 kg14.5 L分析添加400 ml7.5 kg12.5 L分析添加400 ml2.3 配槽步骤工序配槽步骤酸性镀铜a. 注入去离子水进入镀槽内至1/2水位。

b. 开动空气搅拌,加入适量的硫酸铜，c. 小心慢慢地加入适量的化学纯硫酸，切勿使用工业级硫酸在加入步骤中会产生大量热力，可帮助硫酸铜溶解d. 如有需要，可以作碳处理(详情可参考9.2部份)e. 加入去离子水至水位及搅拌均匀，先作定量分析，包括铜离子、硫酸和氯离子浓度，调校氯离子至约 75 ppmf. 待溶液冷却至约25°C左右可准备使用g. 用拖缸板先以10 ASF拖缸1小时，然后15ASF拖缸2小时，最后用20ASF 拖缸最少约2安培小时/升，使阳极表面产生阳极黑膜h. 再加入4ml/L 酸铜添加剂1301M.i. 当一层黑色的阳极薄膜产生(约2安培小时/升)，分析槽液，采用Hull槽实验确定光剂是否合适后，便可以进行电镀生产3. 全板电镀线设备要求工序加热/冷却器过滤器打气/Eductor酸浸不需要不需要酸性镀铜发热器及冷却器需要（5-10 mm PP棉芯）需要褪镀冷却管-不需要不需要摇摆幅度 = 25-50 mm 摇摆频率 = 10-15 cycle/ min4. 药液生产控制范围温度控制药液控制分析工序范围建议值成份范围建议值频率酸性镀铜20-27°C24°C硫酸铜硫酸(98%)氯离子酸铜光亮剂酸铜整平剂酸铜润湿剂污染度45-75g/L125-165 ml/L60 - 90 ppm0.8–1.2 ml/L 12- 20 ml/L4.0 -20 ml/L< 0.12 mA60 g/L140 ml/L75ml/L1 ml/L16 ml/L10 ml/L每周一次每周两次Hull槽 测试褪镀25-35°C30°CHNO3300-400ml/L350ml/L三日1次5. 药液补充量及槽液寿命药液补充量槽液寿命工序成份补充量范围建议值请参考7.1.4 部份酸性镀铜硫酸铜-分析添加硫酸(98%)-分析添加氯离子-分析添加酸铜补充剂1301R150-250ml/1000AH200ml/1000AH预浸硫酸(98%)-分析添加6. 生产线保养事项6.1 定期保养6.1.1 阳极阳极铜球建议每周补充两次。

补充前新铜球必须要经过2%(v/v)硫酸混合5%(v/v)双氧水(35%)作表面微蚀处理补充时，阳极钛篮必须用力摇动，使钛篮内的铜球能够紧贴一起，避免钛篮内形成空隙，影响电镀效果镀铜镀液经 500 AH/L电镀后(约3个月生产)，建议必须 取出阳极，清洗 钛篮内的阳极污泥及清洁钛篮袋，同时间阳极铜球最好经微蚀处理6.1.2 阳极钛篮袋阳极钛篮袋必须定期检查有否破裂或受阳极污泥堵塞新的阳极袋必须先浸洗于 5%(v/v) 氢氧化钠溶液 4 - 8小时，然后用清水冲洗，再经 2%(v/v)硫酸溶液浸洗，最后再用清水洗净后可使用旧的阳极袋可以5%双氧水混合5%硫酸浸洗切勿使用清洁剂清洗阳极袋6.1.3 自动加药器必须每星期最少检查和校正自动加药器一次6.1.4 碳处理一般情况而言，我司酸铜添加剂不会自我分解产生有害有机污染物影响电镀质量，但由于生产过程中，不断有机会从其它媒介带入其它污染物进铜缸内，所以当CVS污染数值大于0.12mA或镀液经2000 AH/L 电镀 生产后 (即约生产一年月后) ，建议必须作碳处理 ，以保证电镀质量正常情况下，镀液经碳处理后，镀液的CVS污染值应该少于0.06mA。

6.1.5 飞巴飞巴座与飞巴的接触位必须定期清洁，以保证最好的导电效果若整流器出现不正常的高电压值时，则有机会表示接触不良6.1.6 拖缸拖缸的目的是电镀生产前活化镀铜液，若停产不超过一天，一般不需要生产前拖缸拖缸时，自动加药器必须开启6.1.7 过滤蕊过滤蕊是用来过滤镀液中悬污物，过滤蕊滤网越小，过滤效果越高，可是寿命较短从过滤器的压力表可以观察过滤蕊有否堵塞，若压力指数比平常高，则表示有需要更换新棉蕊新棉蕊清洗方法可以先以2%(w/w) NaOH浸洗4 - 8小时，然后用清水洗 净后，再用2%(v/v)硫酸浸洗，最后用清水洗净可使用或可用热水浸洗4 - 8小时6.1.8 挂具损坏的挂具或挂具上的绝缘胶剥落，于电镀时会产生很多问题，因此有需要定期检查及保养挂具损坏的挂具必须马上更换，若挂具上的绝缘胶发现剥落，就必须马上填补6.2碳处理和阳极铜球处理阳极铜球微蚀处理1.取出钛篮内阳极铜球2.冲洗钛篮袋内阳极泥3.用高压水冲洗阳极表面4.以2%(v/v)硫酸混合10%(v/v)双氧水，用作微蚀处理阳极铜球微蚀处理后，用清水冲洗干净铜球后，放回钛篮内需要经碳处理的镀铜镀液¾¾¾¾® 双氧水处理1.加入5ml/L双氧水至镀铜镀液。

2.开打气或搅拌3.提高温度至40°C，保持3 - 4小时¯沉淀1.关打气或搅拌2.关发热器3.静化浸淀一天4.浸淀后，过滤镀液5.待镀液冷却后，用Hull Cell测试碳处理效果是否合格，否则就必须再作多一次双氧水及碳处理¬¾¾¾¾碳处理1.提高温度至65°C2.加5 g/L活性碳粉3.开打气或搅拌保持3小时¯ 镀液冷却至室温后镀液校正1.加去离子水，补充碳处理过程中挥发的水份2.定量分析后，校正镀液内无机成份3.加入4ml/L酸铜添加剂1301M先以10 ASF拖缸一小时,然后用15 ASF 拖缸二小时, 最后用20 ASF, 拖缸约2 Ah/L4.当一层黑色的阳极薄膜产生(约2安培小时。