laser target.doc

Kai Ping) Project & Development - 1 - General Document致：PE由：谭思策发出：王小林日期：05/08/03编号：KP-P&D-041-2003影送：杨帆小姐 / 刘艳小姐主题：关于 UV Laser 钻孔工具制作设计说明现在我司已利用 UV 镭射钻机对各种盲孔进行加工，而 UV 加工流程与以前 Conformal mask 工艺有差异，现对需要采用 UV 加工的样板工具设计说明如下：一、 一阶盲孔以内层标靶定位;1、流程： X-RAY、修边 → UV laser drill → 机械钻孔2、钻带设计(1) 镭射钻带上需要设计四套 UV 标靶和一套 CO2 标靶；其中 UV 标靶用于 uv direct drill ,而 CO2 标靶则用于 UV+CO2 方式的 CO2 镭射钻机对位；(2) 标靶须为不对称设计，分布于板的四角，其中 T1 标靶中心相对板边距离需要在 MI 注明；(3) 镭射钻带上 T1~T4 为 UV 标靶，由外至内顺序排列，T5 为 CO2 标靶尽量分布与单元的四角，如图：T1 T2 T3 T4 T4 T3 T2 T1T1 T2 T3 T4 T4 T3 T2 T10.5”~1.5”0.5”~1.5”T5ID 孔(Kai Ping) Project & Development - 2 - General Document3、菲林设计(1) UV 标靶图形应设计在盲孔的 target pad 所在层，如 L1-2 / LN-N-1 盲孔，则标靶应设计在 L2&LN-1上；（可参照 LS6B031 的菲林上的对应图形）标靶形状如下：5.0mm 5.0mm 5.0mm 5.0mm5.0mm 5.0mm 5.0mmT1 T2 T3 T4(2) 标靶所在层的相邻层对应标靶位置均需开铜窗；(3) 若制板 L1-2 & L2-3 ,LN-N-1 & LN-1-N-2 均有盲孔，则标靶分别放在 L2 & L3，而 L2 & L3 的标靶不能重合；LN-1&LN-2 类似。

4) 在通孔钻带上增加 T1 四个标靶，用 φ0.5 钻咀钻出四个通孔二、 二阶盲孔此类盲孔特点为将 1，2，3 层用同一个盲孔连接：定位：以内层标靶定位；若盲孔为 L1-2-3，则盲孔标靶设计在 L2；1. 流程：X-RAY 、修边 → UV laser drill → 机械钻孔2. 钻带菲林设计，参照一阶盲孔制作Cu或1.5mm 1.5mm 0.1mm0.5mm 0.5mm(Kai Ping) Project & Development - 3 - General Document三、 ESI 钻带转换由于 ESI UV 钻机所用钻带需经过 ESI CAM 软件转换，所以 PE 制作正常的英制钻带后，还要用ESI CAM 转换成 ESI laser 钻带形式（公制） 注意事项：1.钻带里应设定盲孔的开窗直径；T5 直径设定为 40mil；2.T1 标靶在 ESI CAM 里面设定为 T999；3.T2~T4 为备用标靶，为防止误用，应在 ESI 公制钻带中删除若 T1 标靶在操作过程受损坏，不能使用，则生产部需出 SRF，PE 再发出 T2 等标靶钻带；4.FA 测试孔合为一个 T，单元孔和相应的 IST 测试孔合为一个 T。

四、 以上设计标准从即日开始试行本部将根据试行结果对文件更新或发出 Guideline，则此标准自动失效，以新的文件为设计标准。