Ct扩散炉结构简介ppt课件.ppt

Centrotherm分散分散炉设备构造简介炉设备构造简介CONTENT1、设备根本构成、设备根本构成2、炉体部分、炉体部分3、、Load station4、、Gas cabinate5、控制及监控系统、控制及监控系统根本构成根本构成—centrotherm Centrotherm分散炉机台主体由装载系统，TGA，炉体部分和气源柜四部分组成其各部分功能如下： 1.装载系统：用于将上料台上的石英舟及未分散硅片送入炉内，以及将分散完成的硅片传送到上料台 2.TGA〔Toxic Gas Exhaust〕：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程中能够走漏出来的有毒气体 3.炉体部分：机台的中心部分，由五个炉体及相关的电源系统和控制系统组成 4.气源柜：用于提供分散工艺过程所需的各种工艺气体，以及将分散过程中产生的尾气经过酸排风系统排出炉体部分炉体部分—centrotherm 炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分 炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着担任工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜担任供应整个机台所需的动力电源。

控制柜动力柜炉体控制柜动力柜CCC电脑放置处动力柜动力柜动力柜中的变压器机体温度监控CCC控制电脑与控制电脑与CMS CCC控制电脑〔控制电脑〔 Cell Control Computer 〕中包含用于创建〕中包含用于创建和管理和管理recipe的软件的软件CCC-RM〔〔Centrotherm Cell Control Recipe Manager〕〕,用于对用于对CESAR电脑进展集中控制电脑进展集中控制 CMS 〔〔central machine safety〕，错误监视单元，用于〕，错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的任务情况，并监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的任务情况，并将结果显示在将结果显示在CMI电脑用户界面上电脑用户界面上CMSCCC电脑CESAR控制电脑温度控制器CESAR CESAR 控制电脑控制电脑( (每个炉管有一个每个炉管有一个):): 其作用为：创建或更改其作用为：创建或更改reciperecipe，， 定义定义reciperecipe变量〔工艺时间，变量〔工艺时间，温度，压力，气流〕，温度，压力，气流〕，startstart，，stop and cancel recipestop and cancel recipe，数字控，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进展通讯，制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进展通讯，监视报警监视报警/ /中断情况〔气流，温度，压力〕，经过级联控制器控制中断情况〔气流，温度，压力〕，经过级联控制器控制温度，经过级联温度控制进展自动拉温，存储一定数量的温度，经过级联温度控制进展自动拉温，存储一定数量的reciperecipe，记录用户定义的工艺数据，对正在运转的工艺进展测试〔执行，记录用户定义的工艺数据，对正在运转的工艺进展测试〔执行工艺步骤，更改动量，设置工艺步骤，更改动量，设置/ /重置停顿点等〕重置停顿点等〕温度控制器〔每个炉管有一个〕：温度控制器〔每个炉管有一个〕： 采用采用REG97REG97温度控制器，硬件部分由温度控制器，硬件部分由controllercontroller，，transducertransducer，，pulse skipping unitpulse skipping unit组成。

组成控制柜动力柜UPS电源炉体电力配置箱，变压器动力柜，控制柜，炉体与变压器分布动力柜，控制柜，炉体与变压器分布Spike TC温度丈量模块Spike TC 供电超温监控CMS〔机器平安系统〕冷却水管接口冷却水管接口Spike TC炉体情况炉体情况接线柱Spike TCSpike TC〔包含两根热偶，一根用于超温报警，一根用于工艺控温〕石英管工艺气体进气管Paddle TC放置口尾气管放置炉丝及炉管炉丝及炉管炉丝与接线柱接口设计炉门控制系统炉门控制系统-TGA Centrotherm的炉门系统由专门的控制安装TGA〔Toxic Gas Exhaust〕，其上有热排风来抽走炉门开关过程中能够释放出的有毒气体和热量TGA炉门开关驱动电机炉门进出驱动电机炉门安装Load station Centrotherm分散炉的装载系统由冷却箱，桨及桨托，传送带系统，手动上料台，lift，store shelf，真空吸笔安装，过滤箱，CMI电脑以及相关的控制电路组成 手动上料台冷却箱CMI电脑 1.桨托的外形和作用：桨托的外形和作用：centrotherm的桨托起到固定桨的的桨托起到固定桨的作用，而桨的高低位那么经过升降整个传送系统来实现；作用，而桨的高低位那么经过升降整个传送系统来实现；Centrotherm桨托桨控制桨高低位的电机控制桨高低位的联动安装 2.桨的传送方式：centrotherm是利用固定在一侧的传送皮带带动桨托运动； Centrotherm的传送皮带皮带传送电机 3.lift的运动方式：centrotherm的lift能实现上下和前后运动，石英舟的左右运动那么是依托下方的传送带实现；Centrotherm的lift，只能上下和前后运动装载系统下的传送带 4.储存架的位置数量：centrotherm的储存架位于lift同一位置，一共七个〔由于储存架尚未安装，此数量是从store架的外形看出〕； Centrotherm储存架位置 5.控制方式：centrotherm的装载系统，recipe管理系统，程序运转和执行均由同一显示界面控制； Centrotherm的控制界面 6.配置：配置：centrotherm装载系统顶部有一个冷却箱，配有真空吸笔接口；装载系统顶部有一个冷却箱，配有真空吸笔接口；真空吸笔接口Centrotherm冷却箱 7. 净化风机位置：位置一样，都位于装载系统下部，但外形不一样。

净化风机位置：位置一样，都位于装载系统下部，但外形不一样centrotherm净化风机所放位置centrotherm净化风机外部Gas cabinate—centrotherm Centrotherm气源柜可以分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，磷源温度和液位监视区，气体控制区，热排，酸排，冷却水供应及净化区其位置如下图Bubbler放置区尾气瓶放置区气体控制柜Bubbler放置区冷却水及净化安装酸排热排尾气瓶放置区酸排热排冷却水及净化安装气体控制柜 尾气瓶放置区和尾气瓶尾气瓶放置区和尾气瓶工艺气体〔氧气，大小氮〕进气口Paddle TC尾气管炉体位置热排口通向酸排尾气瓶放置区凝结器沉淀搜集防漏盘热排口Bubbler放置区进气管出气管至排风至排风至排风至炉内小氮管Bubbler放置区源温及液位监控区源温及液位监控区内部情况外部情况 气体控制区气体控制区MFC气动阀气体冷却水系统气体冷却水系统酸排，热排系统酸排，热排系统气源柜上的热排废液搜集瓶气源柜上的酸排控制及监控系统控制及监控系统 centrotherm主要控制系统的组成和作用如下： 1. CMI 计算机 每个机台一个，用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑 2. CMS 〔central machine safety〕 错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉 体及电路的温度和冷却系统的任务情况，并将结 果显示在CMI电脑用户界面上，系统对偏向的呼应 可设置。

3. CESAR 控制电脑〔每个炉体一个〕 作用： 1〕 创建或更改recipe 2〕 定义recipe变量〔工艺时间，温度，压力，气流〕 3〕 start，stop and cancel recipe 4〕 数字控制温度 5〕 控制气流 6〕 装载机组参数设置 7〕 与装卸系统进展通讯 8〕 监视报警/中断情况〔气流，温度，压力〕 9〕 经过级联控制器控制温度 10〕经过级联温度控制进展自动拉温 11〕存储一定数量的recipe 12〕记录用户定义的工艺数据 13〕对正在运转的工艺进展测试〔执行工艺步骤，更改动量，设置/重置停顿点等〕4. Cell controller4. Cell controller 其中包含用于创建和管理其中包含用于创建和管理reciperecipe的软件的软件CCC-RMCCC-RM〔〔Centrotherm Cell Control RecipeCentrotherm Cell Control Recipe Manager Manager〕〕, ,用于用于 对对CESARCESAR电脑进展集中遥控。

电脑进展集中遥控5. Temperature controller5. Temperature controller 采用采用REG97REG97温度控制器，硬件部分由温度控制器，硬件部分由controllercontroller，，transducertransducer，，pulse skipping pulse skipping unitunit组成6. PLC6. PLC〔〔Programmable Logic ControlsProgrammable Logic Controls〕〕 设备中装有三个设备中装有三个PLCPLC 一个用于控制整个机台的气体流量一个用于控制整个机台的气体流量 一个用于控制整个机台的装卸机组一个用于控制整个机台的装卸机组 一个用于控制升降系统即一个用于控制升降系统即liftlift CMI控制界面控制界面CESAR软件界面软件界面。