25MW太阳能电池工艺流程设备清单.doc

25MW太阳能电池工艺流程清单序号工序流程所用设备设备性能所用设备数量总价（万元）建议进口设备特点参考价国产设备特点参考价1制绒制绒台自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用300万1． 全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用2． 手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜，但人为因素对产品质量有影响130万60万1套130国产自动2扩散（掺杂）扩散炉无需进口600万设备性能稳定，已完全取代进口100万三台300国产3刻蚀（去周边杂质）刻蚀机无需进口80万设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口20万四台80国产4酸洗（去磷硅玻璃）酸洗台自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用1． 全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用2．手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜60万15万一套60国产自动5镀膜手动喷镀台或APCVD或PECVDAPCVD镀膜， 500万1400万APCVD镀膜国内没工业化生产设备手动喷膜：自动化程低，有色差（人为因素干扰），但价格便宜15万一台500进口APCVD或PECVD 6印背场网印机全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动：人工装卸片，印刷稳定120万40万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能满足要求18万二套240进口7烘干烘干炉设备简单无需进口50万设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。

12万二台24国产8印背电极网印机全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动：人工装卸片，印刷稳定120万40万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能满足要求18万二套240进口9烘干烘干炉设备简单无需进口50万设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口12万二台24国产10印栅极网印机全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动：人工装卸片，印刷稳定120万40万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能满足要求18万二套240进口11烧结烧结炉自动化程度高，性能稳定200万 设备性能接近国外设备，已有部分厂家使用，较果也好，价格便宜45万二套90国产一套，进口一套12分检测试台全自动：全自动：自动化程度高，性能稳定，但对硅片外型尺寸要求高手动：性能稳定200万30全自动：国内没有手动：性能不太稳定，但价格便宜18万一套350进口 。