2.厦门市三安集成电路有限公司通讯微电子器件（一期）项目

1 国环评证甲字第国环评证甲字第 2537 厦门市三安集成电路有限公司厦门市三安集成电路有限公司 通讯微电子器件（一期）项目通讯微电子器件（一期）项目 环境影响报告书环境影响报告书（供环保部门信息公开使用）（供环保部门信息公开使用）河南蓝森环保科技有限公司河南蓝森环保科技有限公司 2015 年年 5 月月 1 目录目录 目录目录.1 1 前前 言言.1 1.1 项目概况.1 1.2 项目特点及主要环境问题.1 1.3 评价工作过程.2 1.4 主要结论.3 2 总则总则.5 2.1 编制依据.5 2.2 环境影响因素识别和评价因子筛选.7 2.3 环境功能区划与评价标准.9 2.4 评价工作等级.15 2.5 评价范围和环境保护目标.21 3 工程分析工程分析.25 3.1 项目概况.25 3.2 主要工艺流程及简介.65 3.3 水平衡分析.76 3.4 物料平衡.81 3.5 污染源分析.87 3.6 产业政策符合性分析.118 3.7 规划符合性分析.119 3.8 选址合理性分析.122 3.9 厂区平局布局合理性分析.123 3.10 水资源承载力分析.124 3.11 项目建设制约因素.126 4 自然社会环境概况自然社会环境概况.128 4.1 自然环境概况.128 4.2 社会经济概况.135 2 4.3 厦门市同安新城片区控制性详细规划.137 4.4 周边工业污染源情况.137 5 区域环境质量现状评价区域环境质量现状评价.143 5.1 环境空气质量现状评价.143 5.2 水环境质量现状评价.153 5.3 噪声环境质量现状评价.156 5.4 地下水质量现状分析.157 5.5 土壤质量现状分析.159 6 施工期环境影响分析及污染减缓措施施工期环境影响分析及污染减缓措施.162 6.1 项目施工存在的问题及其整改措施.162 6.2 施工期水环境影响分析及污染防治措施.163 6.3 施工期噪声环境影响分析及污染防治措施.164 6.4 施工期固体废物影响分析及污染防治措施.166 6.5 水土保持分析与评价.167 7 大气环境影响评价大气环境影响评价.181 7.1 气象特征分析.181 7.2 大气环境影响预测与评价.184 7.3 大气环境防护距离和卫生防护距离.204 7.4 小结.207 8 水环境影响评价水环境影响评价.208 8.1 纳污水体功能及项目排污方案.208 8.2 翔安污水处理厂概述.208 8.3 水环境影响分析.209 8.4 废水排放对地表水环境的影响分析.212 9 声环境影响分析声环境影响分析.213 9.1 声环境影响预测.213 9.2 预测结果与分析.217 9.3 声环境影响评价结论.219 10 其它环境影响评价其它环境影响评价.220 3 10.1 固体废物影响分析.220 10.2 地下水影响分析.224 10.3 土壤环境影响分析.230 10.4 社会稳定风险评价.232 11 风险评价风险评价.240 11.1 风险识别.240 11.2 源项分析及后果计算.250 11.3 环境风险影响分析.255 11.4 突发性风险事故防范措施.285 11.5 突发性事故排放应急措施.299 11.6 突发环境事件应急预案.312 11.7 小结.313 12 污染治理措施及可行性分析污染治理措施及可行性分析.315 12.1 废气治理措施及可行性分析.315 12.2 废水处理措施及其可行性分析.327 12.3 地下水环境保护措施.331 12.4 土壤保护措施.333 12.5 噪声治理措施.333 12.6 固体废物治理措施评述.333 13 清洁生产评述清洁生产评述.337 13.1 清洁生产评价方法.337 13.2 清洁生产方案分析.338 13.3 清洁生产指标先进性分析.339 13.4 清洁生产评价结论与建议.348 14 环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析.349 14.1 社会效益分析.349 14.2 环境效益分析.349 14.3 小结.353 15 公众参与公众参与.354 4 15.1 公众参与的目的.354 15.2 公众参与的形式、对象和内容.354 15.3 调查对象和内容.355 15.4 公众意见调查结果统计与分析.362 15.5 公众参与反馈结果及处理情况.364 16 污染物总量控制污染物总量控制.367 16.1 总量控制基本原则.367 16.2 项目污染排放总量控制.367 17 环境管理与监测计划环境管理与监测计划.372 17.1 环境管理.372 17.2 环境管理和保护计划.374 17.3 环境监理.375 17.4 环境监测.379 17.5 排污口规范化管理.391 18 总结论总结论.393 18.1 项目概况.393 18.2 工程环境影响评价.393 18.3 项目建设的环境可行性.398 18.4 评价总结论.401 附件附件 附件一：委托书；附件二：营业执照复印件；附件三：厦门火炬高新区管委会关于同意厦门市三安集成电路有限公司通讯微电子器件（一期）项目备案的批复；附件四：T2014Y12-G 地块使用权出让合同；附件五：T2014Y12-G 地块成交确认书；附件六：土地交接书；附件七：建设用地规划许可证（地字第 350212201514001 号）；附件八：建设用地批准书；5 附件九：项目雨水、污水接入市政管网确认书 附件十：厦环监2011118 号 附件十一：厦环（思）【2012】证字第 180 号 附件十二：关于砷化氢、磷化氢、丙酮环境质量标准的推算 附件十三：公参样表；附件十四：检测报告（引用）；附件十五：监测报告；附件十六：厦门市三安光电有限公司氨气回收系统废气监测报告。附件十七：专家评审意见 1 1 前前 言言 1.1 项目概况项目概况 厦门市三安集成电路有限公司通讯微电子器件（一期）项目选址于厦门火炬（翔安）产业区下潭尾北部三安集成电路产业化基地内。项目于 2014 年 6 月 11 日取得厦门火炬高技术产业开发区管理委员会出具的“厦门火炬高新区管委会关于同意厦门三安集成电路有限公司通讯微电子器件（一期）项目备案的批复”（厦高管201494 号）（附件 2），同意该项目的建设。厦门市规划局于 2015 年 1 月 5 日出具了“建设用地规划许可证”（地字第 350212201514001 号）（附件 3），项目用地性质为工业用地。项目总建筑面积为 237446.85m2，总投资 300475 万元，预计项目年生产 GaAs 高速半导体外延片 30 万片、GaN 高功率半导体外延片 6 万片，GaAs 高速半导体芯片 30 万片、GaN 高功率半导体芯片 6 万片。1.2 项目特点及主要环境问题项目特点及主要环境问题 1.本项目特点本项目特点（1）本项目选址于厦门火炬（翔安）产业区下潭尾北部三安集成电路产业化基地内，其选址符合园区产业规划。项目周边用地均规划为工业用地和产业区内道路，项目与中洲滨海城最近距离约 115m，与中洲滨海城内规划幼儿园距离约 345m，与规划的西炉中小学用地最近距离约 354m，其中外延片生产车间与规划西炉中小学用地距离约为471m，距中洲滨海城距离约为 412m，距中洲滨海城规划幼儿园约 580m，中间隔测试车间、民安大道、市政规划绿地。（2）项目位于翔安污水处理厂的服务范围内，项目废水可通过污水管网排至翔安污水处理厂处理。（3）项目运营过程中涉及的化学品种类较多，其中液氨的使用量和贮存量较大，根据危险化学品重大危险源辨识（GB18218-2009）指标判定：本项目构成重大危险源。（4）本项目产品方案为 GaAs 高速半导体外延片、芯片及 GaN 高功率半导体外延片、芯片，该生产工艺及污染治理措施较成熟，在厦门有多家生产相似产品的公司，目前尚未发现污染事件以及环境风险事故。2.主要环境问题主要环境问题 项目生产过程中产生的污染物包括废水、废气、噪声和固体废物。根据项目特点，2 具体应关注的主要环境问题有：（1）项目废水主要有 GaAs 外延片生产过程产生的含砷烷磷烷废气喷淋废水，芯片生产过程产生的酸洗及 GaN 芯片研磨清洗、碱洗、有机清洗、GaAs 芯片研磨清洗、酸性废气喷淋废水、碱性废气喷淋废水以及冷却塔循环冷却水排水等，项目应关注废水经处理后汇入翔安污水处理厂处理的可行性。（2）项目废气主要有外延炉含氨废气、含砷烷磷烷废气，芯片生产过程中的酸性废气、碱性废气、有机废气、废水处理站酸碱废气、封装车间有机废气、天然气燃烧废气、食堂油烟废气。项目应重点关注含氨废气、含砷烷磷烷废气、酸性废气、碱性废气、有机废气、废水处理站酸碱废气、封装车间有机废气的治理。（3）项目固废主要有GaN 外延炉炉渣、GaAs 外延炉炉渣、废丙酮液、废异丙醇液、废去光阻剂、废碳纤维、危化品废包装物（有机物废包装物、显影液废包装物）、GaN 研磨废料、GaAs 研磨废料、含砷废水处理污泥等危险废物；废包装材料、废水处理站一般污泥等一般工业固废；生活垃圾。固废若处置不当，会对周围环境造成影响。（4）项目厂区空压机、变频风机、冷却塔、水泵、空调制冷机组、空调机组、各抽排风机等设备噪声对周围声环境的影响。（5）本项目涉及的危险化学品较多，应关注对周边环境造成的风险。1.3 评价工作过程评价工作过程 根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例有关条款要求以及建设项目环境影响评价分类管理名录有关规定，厦门市三安集成电路有限公司通讯微电子器件（一期）项目应进行环境影响评价，按规定编制环境影响报告书并报环保部门审批。厦门市三安集成电路有限公司于 2015 年 3 月 3 日委托我司承担上述环境影响评价任务。我司接受委托后，于 2015 年 3 月 5 日起为期 10 个工作日的第一次环评信息公示。之后组织人员多次踏勘现场，收集、分析有关资料。并于 2015 年 3 月 13 日起对声环境质量、地表水环境质量、大气环境质量等进行监测。编制完成初稿后，于 2015 年 3 月 23 日起进行为期 10 个工作日的第二次公示。并于 4 月初编制完成厦门市三安集成电路有限公司通讯微电子器件（一期）项目环境影响报告书（送审本），供建设单位报环保主管部门审查。2015 年 4 月 23 日厦门市环境保护局在厦门市主持召开“厦门市三安集成电路有限 3 公司通讯微电子期间（一期）项目环境影响报告书”技术审查会，与会专家形成了专家评审意见，环评单位根据专家意见，对报告书内容进行了补充、修改，现将修改后的厦门市三安集成电路有限公司通讯微电子期间（一期）项目环境影响报告书（复审本）上报环保主管部门审查。本评价工作分为三个阶段，第一阶段为前期准备、调研和工作方案编制阶段，第二阶段为现状调查、分析论证和预测评价阶段，第三阶段为环境影响评价文件编制阶段。前期准备阶段：环评单位接受委托后，评价技术人员收集项目设计方案及相关规划等基础资料，对现场初步调查，对项目工程进行初步分析，对环境影响因素进行识别与筛选，确定项目评价重点和环境保护目标、评价工作等级、评价范围和评价标准等。现状调查及预测评价阶段：开展对评价范围内环境质量现状进行调查与监测工作，同时对项目工程进行详细分析，确定项目主要污染因素。在环境现状调查与工程分析的基础上，对各环境要素环境影响进行预测与评价。环境影响报告书编制阶段：在各环境要素及专题影响分析的基础上，提出环境保护措施，从选址合理性、规划符合性，环境影响及采取的环保措施，公众参与调查等方面，明确给出项目建设环境可行性的评价结论。评价工作程序见图 1-1。1.4 主要结论主要结论 厦门市三安集成电路有限公司通讯微电子器件（一期）项目选址于厦门火炬（翔安）产业区下潭尾北部三安集成电路产业化基地内，用地面积 60303.18m2，总投资 300475万元，年生产 GaAs 高速半导体外延片 30 万片、GaN 高功率半导体外延片 6 万片、GaAs高速半