湿电子化学品和新型显示用液晶取向剂及配套化学品生产与研发项目环评报告书

半导体清洗剂及液晶取向剂电子专用材料项目环境影响报告书 概 述 一、项目由来 烟台显华高分子材料有限公司成立于 2021 年 05 月 31 日，主要经营新材料技术研 发；合成材料制造 (不含危险化学品) ；合成材料销售；电子专用材料研发；电子专用 材料制造； 电子专用材料销售等。 聚酰亚胺液晶取向剂作为液晶显示器中的重要高分子材料，为液晶显示器的性能质 量重要影响因子。显华高分子材料有限公司承习了具有 20 多年行业历史的台湾大立高 分子聚酰亚胺液晶取向剂的技术、产品生产工艺和客户资源。正积极布局现有产品具有 市场竞争力的黑白液晶领域，扩大市场份额。在此基础上，加强与液晶面板厂的技术联 结，投入有效技术资源，改进和研发未来 3-5 年具有竞争力的液晶取向剂。半导体清洗 剂是半导体关键配套试剂，芯片制造中不可或缺，半导体清洗剂是贯穿芯片制造始终的 关键配套品，主要覆盖晶圆制造中的清洗、刻蚀和显影等步骤，其纯度和杂质颗粒大小 是否达标对精密芯片制造的质量影响极大。在摩尔定律下，硅片尺寸不断变大，光刻精 度日益提高，芯片制造对半导体清洗剂的要求和依赖度越来越高。但目前高端半导体清 洗剂的国产化率较低，国产替代需求日趋高涨。 在此背景下，烟台显华高分子材料有限公司拟建设半导体清洗剂及液晶取向剂电子 专 用 材 料 项 目 ， 项 目 已 取 得 山 东 省 建 设 项 目 备 案 证 明 ( 备 案 编 号 ： 2208-370672-04-03-985700) ，项目租赁烟台八角湾海洋发展有限公司厂房，位于烟台 经济技术开发区台北北路 46 号 3 号楼 5 层， 占地面积 1859.36 m2 ，建设 1 个百级洁净 室、2 个千级洁净室、合成车间、测试间、实验室等设施，项目建成后形成年产显示用 液晶取向剂 10 t/a ，半导体清洗剂 30 t/a 的生产能力。 二、环境影响评价工作过程 根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021 版，2021 年 1 月 1 日起施行)， 本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39:第 81 项、电子元件及电 子专用 材料制造 398”的“半导体材料制造； 电子化工材料制造” ，需编制环境影响 报告书，为此，烟台显华高分子材料有限公司委托我单位对该项目进行环境影响评价工 作。我单位在接受委托后，认真研究该项目的有关材料，并进行实地踏勘调研，收集和 核实了有关材料，展开了环境影响评价工作，编制了《半导体清洗剂及液晶取向剂电子 专用材料项目环境影响报告书》。具体工作过程如下: 3 半导体清洗剂及液晶取向剂电子专用材料项目环境影响报告书 2022 年 5 月 6 日通过项目所在地政府网站 (烟台经济技术开发区) 进行首次环境影 响评价信息公开 (第一次公示) ； 2022 年 5 月-6 月，项目组技术人员根据建设单位提供的技术资料进行工程分析， 确定评价思路、评价重点及各环境要素评价等级；项目组根据分工进行各专题编写、汇 总，提出污染防治对策并论证其可行性。报告编制过程中，充分考虑项目的特点和区域 环境敏感特征，对项目的环境影响因素进行识别，筛选评价因子，核算污染物的产生与 排放情况，进而对项目运营期废气、废水、噪声、固体废物等环境影响进行评价。 2022 年 7 月 18 日-7 月 29 日在烟台开发区政府网站、山东工人报以及项目区周边 敏感目标现场完成征求意见稿公示，期间均未收到反对意见，2022 年 7 月 30 日完成内 部校核、审核，最终定稿后上报生态环境部门。 三、关注的主要环境问题及环境影响 根据项目的特点，本次评价主要关注的环境问题包括： 1 、拟建项目的污染防治措施和环境管理，关注拟建项目所采用的污染防治技术措 施是否能实现达标排放要求，尤其关注污染物的全过程防控与末端治理问题。 2 、关注大气环境影响、地表水、地下水、噪声、风险等环境影响的可接受性。 (1) 大气环境影响评价 本项目 Pmax 最大值出现为车间排放的 VOCs，Pmax 值为 3.2631%，Cmax 为 65.263 μg/m³ 。根据《环境影响评价技术导则 大气环境》 (HJ2.2-2018) 分级判据，确定本项 目大气环境影响评价工作等级为二级。 拟建项目建成后，大气污染物对环境空气的影响可以接受。 (2) 地表水环境影响评价 拟建项目区内排水采用雨污分流制。项目产生的生活污水和纯水设备浓水进入市政 管网，生产污水全部进入厂区污水处理装置，经处理达标后排入市政污水管网，由中联 环污水处理厂进一步处理。因此，项目对其受纳水体——近岸海域的环境影响可接受。 (3) 地下水环境影响评价 拟建项目相应的区域做好区域防水、防渗处理及相应的防渗监测、检漏工作，落实 好相应的防渗措施前提下，项目运行对地下水环境影响较小。 (4) 声环境影响评价 对噪声源采取相应的减振、隔声、降噪措施，厂界噪声能够满足《工业企业厂界环 4 半导体清洗剂及液晶取向剂电子专用材料项目环境影响报告书 境噪声排放标准》 (GB 12348-2008) 3 类标准要求，实现达标排放，对厂界外声环境的 影响较小。 (5) 固体废物影响评价 本项目设置固体废物分类收集装置，对于各类废物分类集中收集，分类处理，固体 废物均得到合理处置，固体废物处理率 100% ，不会对外环境产生不利影响。加强各类 固体废物全过程管理，落实固体废物的收集、储存、运输、处置和综合利用措施，防止 产生二次污染。 (6) 土壤环境影响评价 本次评价通过定性分析的办法，项目大气沉降对土壤影响较小。 (7) 环境风险影响 本项目评价等级为简单分析，不需设置风险评价范围。本项目环境风险水平在落实 各项环保措施和本评价所列出的各项环境风险防范措施、有效的应急预案，加强风险管 理的条件下，项目的环境风险可防可控。 四、分析判定情况 1) 符合国家产业政策 本项目属于电子专用材料制造项目，对照《产业结构调整指导目录 (2019 年本) 》 (2021年修改) ，不属于鼓励类、限制类和淘汰类项目，属于允许建设项目，符合国家 产业政策规定。 2) 环保政策及规划符合性 项目位于烟台经济技术开发区古现街道，能够符合国家和地方有关环境保护法律法 规、标准、政策、规范的要求；本项目建设用地属于工业用地，建设从空间布局方面符 合《烟台市城市总体规划》《烟台经济技术开发区总体规划》等规划要求，同时本项目 属于电子专用材料制造，符合烟台黄渤海新区古现街道 (八角片区) 产业定位；项目符 合《烟台市“三线一单”生态环境分区管控方案》、《山东省生态红线保护规划》(2016-2020) 等环境保护规划要求，符合《烟台经济技术开发区总体规划环境影响报告书》和《关于 烟台经济技术开发区总体规划环境影响报告书的审查意见》 (环审[2008]261 号) 文件 要求；项目选址符合开发区整体规划要求，项目建设有利于推进烟台经济技术开发区发 展。 3) “三线一单”符合性分析 5 半导体清洗剂及液晶取向剂电子专用材料项目环境影响报告书 项目不在《山东省生态保护红线规划》 (2016~2020) 中划定的“生态保护红线区” 范围之内，符合有关文件的要求；拟建项目所在区域位于二类环境空气质量功能区和 3 类声环境功能区，生产废水经厂区污水处理装置处理达标后排入市政污水管网，由中联 环污水处理厂进一步处理，处理达标后排入黄金河然后排海，不会造成厂区附近地表水 及海水水质恶化，可维持现有水环境质量，废气经相应治理措施治理后达标排放也不会 引起周围大气环境恶化，可维持现有环境空气质量，噪声在采取各种隔声降噪措施后， 可确保厂界噪声达标，符合环境质量底线的要求；本项目位于烟台经济技术开发区，其 供水、供气、供电等均依托于烟台开发区，根据烟台经济技术开发区总体规划环境影响 报告书中相关内容，区域资源承载力能够满足规划实施的要求，因此项目建设满足资源 利用上线；根据《烟台经济技术开发区总体规划环境影响报告书》，通过分析开发区规 划的发展定位、目标及区域环境质量资源现状，对入区企业环境准入提出了明确的要求， 并列出了“生态环境准入清单”，本项目为电子专用材料制造项目，属于开发区准许进 入行业，符合政策要求，同时符合《关于烟台经济技术开发区总体规划环境影响报告书 的审查意见》 (环审[2008]261 号) 文件要求。 本项目能够符合国家产业政策要求，选址符合《山东省生态保护红线规划 (2016－ 2020 年) 》、《烟台市“三线一单”生态环境分区管控方案》的要求。根据本项目的影 响预测结果，项目能够符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准 入清单的要求，因此项目符合“三线一单”相关要求。具体见 16.3 章节。 五、环境影响评价主要结论 烟台显华高分子材料有限公司半导体清洗剂及液晶取向剂电子专用材料项目符合 国家产业政策，项目所在区域用地性质为工业用地，位于烟台黄渤海新区古现街道范围 内，符合规划要求。项目建成运行后产生的污染物能做到稳定达标排放，并且对区域环 境影响较小，项目的建设选址可行，对区域环境污染较小。从环境保护角度分析，项目 的建设是可行的。 6 半导体清洗剂及液晶取向剂电子专用材料项目环境影响报告书 目 录 概 述 3 1 总论 1 1.1 编制依据 1 1.2 评价目的、原则和重点 6 1.3 环境影响因素识别与评价因子筛选 8 1.4 评价工作等级和评价范围 9 1.5 环境保护目标 12 1.6 评价标准 15 2 拟建项目工程分析 21 2.1 项目概况 21 2.2 项目组成 25 2.3 产品方案 26 2.4 主要生产设备 26 2.5 主要原辅材料使用情况 28 2.6 项目总平面布置 34 2.7 公用工程 36 2.8 工艺流程及产污 40 2.9 污染源分析及防治措施 47 2.10 非正常工况污染物排放情况 63 2.11 清洁生产 66 2.12 营运期污染物产生及排放情况汇总 68 3 自然、区域环境概况 72 3.1 自然环境概况 72 3.2 环境质量状况 86 4 大气环境影响评价 88 4.1 环境质量现状监测与评价 88 4.2 大气环境影响预测与评价 95 4.3 小结 103 I 山东海岳环境科技股份有限公司 半导体清洗剂及液晶取向剂电子专用材料项目环境影响报告书 5 地表水环境影响评价 104 5.1 评价等级及评价范围确定 104 5.2 水环境质量现状调查与评价 104 5.3 地表水环境影响评价 109 5.4 小结 113 6 地下水环境影响评价 118 6.1 地下水环境现状概况 118 6.2 地下水环境质量现状监测与评价 118 7 声环境影响评价 126 7.1 声环境质量现状监测与评价 126 7.2 声环境影响预测与评价 127 7.3 小结 131 8 固体废物环境影响评价 133 8.1 固体废物来源 133 8.2 固体废物处置措施与影响分析 134 8.3 小结 139 9 土壤环境影响评价 140 9.1 土壤环境影响识别 140 9.2 土壤环境影响评价等级及评价范围 141 9.3 区域土壤质量调查 142 9.4 土壤环境影响评价 149 9.5 土壤环境保护措施 150 9.6 土壤评价结论 150 10 生态环境影响评价 152 10.1 评价等级 152 10.2 生