化合物及特色工艺半导体加工设备研发及产业化项目环评报告书

1 项目项目概述概述 1.项目背景项目背景 1.1 项目背景及建设内容项目背景及建设内容 近年来，化合物半导体作为第三代半导体的代表逐渐成为市场主要发展方向，中国在化合物半导体领域已有突破性的进展，但刻蚀等关键性工艺、设备仍然为发展瓶颈。为推动我国在化合物半导体领域装备制造的发展，打破国际厂商的垄断，创立电子专用装备领域的国产品牌，站在世界的前列，上海谙邦半导体设备有限公司应运而生。上海谙邦半导体设备有限公司（以下简称“谙邦半导体”）是一家集研究、开发、设计、生产、制造、销售于一身的制造高端设备的企业，致力于化合物半导体、封装测试、平板显示屏、集成电路半导体等生产过程中需要的关键设备刻蚀设备的研发和生产，为以上各领域厂商提供更先进、价格更合理的高端制造设备。2020 年 8 月 18 日，谙邦半导体作为金桥临港智荟园首批重点项目，签约落户临港，租赁金桥临港综合先行区洲德路 1588 号金桥临港智荟园一期 B2 厂房开展“化合物及特色工艺半导体加工设备研发及产业化项目（以下简称“本项目”）”。2020 年 9 月 15 日，本项目获得临港新片区管委会高新产业和科技创新处准入意见书，编号2020（9-02）号，允许项目入驻园区。本项目拟建设 2 部分内容：1 是人工组装化合物及特色工艺半导体用到的刻蚀设备，物理检测后出厂；2 是利用自厂组装的刻蚀设备开展刻蚀工艺的研发，获得刻蚀参数的最优解。项目建成后，年产化合物及特色工艺半导体加工设备 20 台/年；工艺研发实验使用硅片 1250片/年。年工作时间 260 天，白班制工作，每天 8h。1.2 项目特点项目特点 工程特点：工程特点：本项目化合物及特色工艺半导体加工设备以组装及物理调试为主，厂内对设备进行设计，零部件均外包加工或采购，制成的设备为一体化高端设备，连续密闭；刻蚀工艺的研发试验属于小试规模，用于获取更优的刻蚀工艺参数，研发使用自厂的设备；环境特点：环境特点：项目所在地位于上海市金桥临港综合先行区，属 104 地块，最近的环境保护目标为西北侧 1200m 处的东场居委。1.3 环评文件的判定及编制依据环评文件的判定及编制依据 本项目主要从事化合物及特色工艺半导体设备的生产以及刻蚀工艺的研发实验，根据国民经济行业分类（GB/T4754-2017），本项目行业类别为“C3599 其他专用设备制造”“M7320 工程2 和技术研究和实验发展”。按照中华人民共和国环境影响评价法和建设项目环境保护管理条例的要求，应进行环境影响评价工作。对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 版），本项目设备制造属于“三十二、专用设备制造业”“70 355 电子和电工机械专用设备制造”中的“仅组装的”，其环境影响评价工作豁免；工艺研发试验属于“四十五、研发和实验发展”“98 专业实验室、研发（试验）基地”中的“其他（不产生实验废气、废水、危险废物的除外）”应编制环境影响报告表。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 版）第四条的规定：“建设内容涉及本名录中两个及以上项目类别的建设项目，其环境影响评价类别按照其中单项等级最高的确定。”。因此，本项目环评文件因此，本项目环评文件类型为环境影响报告表。类型为环境影响报告表。根据本市环境影响评价制度改革实施意见（沪府规201924 号）的有关规定，本市建设项目实施分类管理，区分重点项目和一般项目，实行差别化的环境影响评价审批管理。对照 上海市生态保护红线，本项目不在本市生态红线范围内；对照上海市建设项目环境影响评价分类管理重点行业名录（2019 年版），本项目不属于重点行业，也不涉及其他中的工艺，因此不属于重点项目。根据关于支持中国（上海）自由贸易试验区临港新片区高质量发展环境管理的若干意见（沪环规20203 号）的有关规定：“（三）优化环评管理，4.扩大告知承诺的实施范围。对未纳入临港新片区建设项目环境影响评价分类管理重点行业名录的建设项目，原要求编制环境影响报告表的建设项目，实施告知承诺管理，建设单位只要作出相应承诺的，可当即取得环评批复”。对照临港新片区建设项目环境影响评价分类管理重点行业名录，本项目不属于其中的重点行业，不涉及其中列举的重点工艺，不位于本市生态红线范围内，因此本项目不属于重点行业项目。可以实施告知承诺管理制度。根据上海市生态环境局关于印发加强规划环境影响评价与建设项目环境影响评价联动的实施意见（试行）的通知（沪环规20197 号）和上海市生态环境局关于发布实施规划环境影响评价与建设项目环境影响评价联动的区域名单（2020 年度第一批）的通知，本项目所在的临港综合先行区属于实施规划环评与项目环评联动的区域。2.项目概况项目概况 2.1 项目基本情况项目基本情况 项目名称：项目名称：化合物及特色工艺半导体加工设备研发及产业化项目 建设单位：建设单位：上海谙邦半导体设备有限公司 3 建设性质：建设性质：新建 建设地点：建设地点：金桥临港综合先行区洲德路 1588 号金桥临港智荟园一期 B2（B 幢 2 号楼）项项目目投投资资：项目总投资 5000 万元，其中环保投资 100 万元。建设进度：建设进度：项目周期为 4 个月。计划与 2021 年 4 月开工，2021 年 8 月竣工。行业类别：行业类别：“C3599 其他专用设备制造”“M7320 工程和技术研究和实验发展”2.2 建设地点及周边环境建设地点及周边环境（1）项目所在厂房四周情况）项目所在厂房四周情况 目前本项目所在厂房四周厂房均为空置待租状态。（2）项目所在园区四至情况）项目所在园区四至情况 东侧：凯汇路，路东现状为空地；南侧：雪洋路；路南为凯世通半导体；西侧：伟展路、景观河道；北侧：洲德路，路北为空地；2.3 建设规模及产品方案建设规模及产品方案 项目建成后，年产化合物及特色工艺半导体加工设备 20 台/年；刻蚀工艺研发实验使用硅片1250 片/年。表表 1 项目产品方案表项目产品方案表 序号序号 产品名称产品名称 产能产能/规模规模 备注备注 1 化合物及特色工艺半导体加工设备 20 台/年 组装、物理调试为主 2.4 主要工程组成内容主要工程组成内容 项目主体工程为 1 幢 2 层厂房，建筑面积为 4807m2，1F 内设计 2 间 1 万级无尘室，分别用于设备组装、研发试验；2F 主要设计为办公、仓库区域。项目工程组成详见下表：表表 2 工程组成一览表工程组成一览表 工程工程类别类别 主体工程 组装测试间 工艺研发室 辅助工程 QC 质检室 电路设计室 办公室 公用工程 供电 供水 4 排水 纯水 工艺设备冷却水 压缩空气 储运工程 气体储存 化学品储存 原料储存 环保工程 废气 废水 固废 风险 2.5 平面布局合理性分析平面布局合理性分析 项目主体工程为 1 幢 2 层厂房。1 层设置 2 个万级无尘室，无尘室气体真空泵泵房位于车间中部，利于降噪；纯水机、工艺冷却水水泵机位于工艺研发室正南方，特殊气体室紧邻工艺研发室，物料输送距离短，利用安全、节能；2 层北侧设置办公区域，中间设置零部件仓库，南侧设置设备检测区域，也有利于物料输送。项目废气排口最大落地范围内不存在居民区，危废仓库位5 置远离周边敏感目标，厂房平面布置从源头减小了环境风险，布局合理。综上，项目各层布局紧凑，装置内部物料输送距离短，利于安全、节能，减小环境风险。2.6 主要设备主要设备 项目化合物及特色工艺半导体设备以人工手动组装为主，不适用大型设备，工艺研发实验使用自厂的设备。项目主要设备如下表：表表 3 项目主要设备清项目主要设备清单单 2.7 项目原辅材料及年用量项目原辅材料及年用量 表表 4 项目原辅材料清单项目原辅材料清单 6 表表 5 项目主要化学品理化性质一览表项目主要化学品理化性质一览表 7 8 9 10 2.8 劳动劳动定员及生产制度定员及生产制度 本项目拟设员工 20 人，设备生产工作制度为年生产天数 260 天，每天工作 8 小时，夜间不运行；不设食堂，员工就餐依托金桥临港智荟园餐厅。2.9 公辅工程公辅工程（1）供水工程）供水工程 市政管网给水，项目所在厂房供水依托金桥临港智荟园供水系统，年设计用水量 333t/a。其中员工生活用水 260t/a，纯水制备 33t/a，碱洗塔喷淋用水 40t/a。（2）纯水制备）纯水制备 项目纯水用于工艺设备冷却水、无尘室空调系统。制备工艺为“多介质过滤+二级 RO”，纯水制备效率约为 65%，年设计给水量 33t/a，制得纯水用量 21t/a。用于工艺设备冷却水用量为 3t/a，用于无尘室空调系统量为 13t/a，无尘室内员工洗手烘干机 5t/a。（3）排水工程）排水工程 园区雨污分流，已建成完善的雨污管网。本项目排水包括生活污水以及纯水制备尾水。生活污水排放量按用水量的 90%计，则生活污水排放量为 234t/a；项目纯水制备尾水为 12t/a；项目提供无尘室空调系统损耗 10%，排放 90%，排放量为11.7t/a，洗手烘干机全部损耗。纯水制备尾水、空调系统尾水同员工生活污水（共257.7t/a）直接纳入园区污水管网，排入临港新城污水处理厂。本地废气处理装置、碱液喷淋塔产生的废液，经收集后交由有资质单位处置。11 给水纯水制备废气洗涤塔工艺设备冷却水无尘室空调用水无尘室洗手烘干机员工生活用水纳管排放3t/a13t/a5t/a21t/a33t/a40t/a260t/a制纯尾水12t/a损耗26t/a246t/a损耗5t/a损耗3t/a损耗4t/a333t/a损耗1.3t/a11.7t/a257.7t/a交由有资质单位处置36t/a循环20m3/h 图图 1 项目水平衡图项目水平衡图（4）供电工程）供电工程 市政管网供电，依托园区供电系统。年设计用电量 260 万 KW h。3 环保责任及考核边界环保责任及考核边界 本项目废气、废水、噪声环保责任主体为上海谙邦半导体设备有限公司。废气达标考核位置：废气达标考核位置：本项目为租赁厂房，废气考核边界为项目租赁区域边界和 1#排气筒。临港金桥智荟园厂界四至废气无组织考核责任主体为临港金桥智荟园运营管理单位即上海金桥临港综合区投资开发有限公司。废水达标考核位置：废水达标考核位置：本项目为租赁厂房，故此本项目废水考核点位为纳入园区污水管网前的厂房排水口。噪声达标考核位置：噪声达标考核位置：本项目西侧与同一幢厂房内其他工厂相邻，不设置噪声考核点位，因此项目噪声考核租赁区域边界北侧、南侧、东侧厂房墙体外 1m。临港金桥智荟园厂界四至噪声考核责任主体为临港金桥智荟园运营管理单位。12 规划相容性分析规划相容性分析 1.规划的相符性规划的相符性 上海谙邦半导体设备有限公司租赁金桥临港综合先行区洲德路 1588 号金桥临港智荟园一期 B2 厂房开展“化合物及特色工艺半导体加工设备研发及产业化项目”。本项目主要从事化合物及特色工艺半导体等高端设备的生产以及化合物半导体刻蚀工艺的研发，致力于打破国际设备厂商的垄断，开发更优刻蚀工艺参数。项目行业类别为“C3599 其他专用设备制造”“M7320工程和技术研究和实验发展”。1.1 环保相关规划相符性分析环保相关规划相符性分析 对照上海市环境保护和生态建设“十三五”规划、上海市 20182020 年环境保护和建设三年行动计划、上海市清洁空气行动计划（20182022 年）、上海市挥发性有机物深化防治工作方案（20182020 年）和上海市生态环境局关于开展本事重点行业挥发性有机物综合治理工作的通知（沪环气 2020 41 号），本项目与其相符性分析如下。表表 6 本项目与环保相关规划相符性分析本项目与环保相关规划相符性分析 相关规划名称相关规划名称 相关内容相关内容 相符性分析相符性分析 上海市环境保护和生态建设“十三五”规划 104 个工业区块外原则上不得新建工业项目（都市型产业项目除外），对符合产业导向及环保要求、发展潜力大且确有改造需求的技改项目，按照不得增加污染排放量和环境风险的要求进行审批。符合。本项目位于 104 个工业区块内。禁