7.华慧芯高端半导体芯片项目环境影响报告表

建设项目环境影响报告表建设项目环境影响报告表 项目名称：华慧芯高端半导体芯片项目 建设单位（盖章）：华慧芯科技（天津）有限公司 编制日期：2018 年 4 月 国家环境保护总局制 1 一、建设项目基本情况表一、建设项目基本情况表 项目名称 华慧芯高端半导体芯片项目 建设单位 华慧芯科技（天津）有限公司 法人代表 曲迪 联系人 陈墨 通讯地址 天津生态城中天大道 1620 号启发大厦 13 层 102B 联系电话 13212278889 传 真 邮编编码 300467 建设地点 天津生态城中天大道 1620 号启发大厦（N39 643.76，E1174452.51）立项审批部门 中新天津生态城管理委员会 批准文号 津生行政许可201790 号 建设性质 新建 行业类别 及代码 工程技术研究和试验发展 M7320 占地面积（平方米）480 绿地面积（平方米）/总投资（万元）500 其中环保投资（万元）177 环保投资占总投资比例 35.4 评价经费 （万元）预期投产日期 2018 年 8 月 工程内容及规模：工程内容及规模：1.1 项目项目背景背景 1.1.1 项目项目背景介绍背景介绍 清华大学天津电子信息研究院是由清华大学与天津滨海新区政府及中新天津生态城管委会于 2015 年 7 月共同推动建立的合作项目，选址于中新天津生态城，旨在通过发挥清华大学的科学研究及人才培养优势，依托生态城的高新技术企业孵化基地，进行电子信息领域科研成果的工程实现及产业化。为推动该项目落地发展，中新天津生态城管理委员会向中新天津生态城投资开发有限公司租赁天津生态城启发大厦整栋并转租于清华大学天津电子信息研究院用于办公及实验（启发大厦房产证及租赁协议见附件 2）。半导体芯片具有广阔的应用市场，包括手机、光通讯及无人驾驶等。基于实现半导体芯片国产化的战略需要及市场前景，清华大学天津电子信息研究院于启发大厦一层设立了超净实验室并委托华慧芯科技（天津）有限公司建设运营。目前超净实验室仅进行了内部装修，实验室建成运营后将为清华大学天津电子信息研究院提供半导体芯片研发平台，同时对外提供芯片的工艺试验及测试服务（委托协议见附件 2）。2 华慧芯科技（天津）有限公司于 2017 年 11 月于天津生态城注册成立，是一家致力于电子信息技术研发服务，经营范围包括电子信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询和技术服务，电子通讯系统集成服务，计算机系统集成服务，计算机科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询和技术服务，半导体器件的研发、生产、销售及相关信息咨询服务，企业管理咨询，自营及代理商品和技术的进出口等。为承接清华大学天津电子信息研究院超净实验室的建设运营，华慧芯科技（天津）有限公司拟投资 500 万元建设华慧芯高端半导体芯片项目（以下简称“本项目”），利用启发大厦一层现有 480m2超净实验室建设一条高端半导体芯片实验线，用于高端半导体芯片试验研发及代工（本项目“代工”是指对清华大学天津电子信息研究院以外的单位提供芯片的工艺试验及测试服务，下同），并购买 1 套废水处理设施安装于启发大厦地下 1 层。对照建设项目环境影响评价分类管理名录（环境保护部令第 44 号），本项目属于“三十七、研究和试验发展”中“107 专业实验室”的“其他”类，应编制环境影响报告表。对照环境影响评价技术导则地下水环境（HJ610-2016）“附录 A-地下水环境影响评价行业类别表”，本项目属于“V 社会事业与服务业”中“163、专业实验室”，且本项目非“P3、P4 生物安全实验室”亦非“转基因实验室”，地下水环境影响评价项目类别为 IV 类，不需要开展地下水环境影响评价。根据建设项目环境保护管理条例（中华人民共和国国务院第 682 号令修订）和 天津市建设项目环境保护管理办法（天津市人民政府201520 号令）的有关规定，华慧芯科技（天津）有限公司委托天津生态城环境技术咨询有限公司承担本项目环境影响评价工作。接受委托后，评价单位组织有关技术人员进行现场踏勘、收集资料，依据国家有关法规文件和环境影响评价技术导则，编制了本项目环境影响报告表。1.1.2 项目产业政策、规划与选址符合性项目产业政策、规划与选址符合性 根据本项目建设特点及运营内容，国家发展和改革委员会布的 产业结构调整指导目录（2011 年本）（2013 修正）（第 36 号令，2016.3.25）及相关文件，本项目属于第一类鼓励中第二十八项信息产业中“10、下一代互联网网络设备、芯片、系统以及相关测试设备的研发和生产”。中新天津生态城管理委员会于2017年11月23日以 关于同意华慧芯高端半导体芯片项目备案的通知（津生行政许可201790 号）文同意该项目备案（见附件 1）。因此，本项目符合国家和地方产业政策要求。3 本项目选址于天津生态城启发大厦现有超净实验室，根据 天津生态城三区统筹规划（2014-2020）及启发大厦房产证（房产证、租赁合同及合作协议见附件 1），该地用地性质为一类工业用地，启发大厦用途为办公及实验，符合天津生态城总体规划。1.2 工程概况工程概况 1.2.1 项目选址及项目选址及四至四至 本项目选址于天津生态城科技园启发大厦。科技园位于天津生态城南部片区，东至中央大道，西至中天大道，南至中津大道、环卫之家、停车场及加油站，北至中生大道。启发大厦位于科技园中部，东临中央大道，西临中天大道，南临科技园 13 号楼，北临科技园研发大厦。启发大厦整栋由清华大学天津电子信息研究院用于办公及实验室建设。本项目利用启发大厦主楼 1 层超净实验室进行，目前启发大厦已投用，超净实验室已完成内部装修，其余空间用于清华大学天津电子信息研究院办公。项目地理位置见附图 1，项目周边环境情况见附图 2。1.2.2 建设内容建设内容及规模及规模 本项目拟利用启发大厦 1 层现有超净实验室建设一条高端半导体芯片的实验线，同时在地下 1 层自建污水处理站一处。本项目建筑面积为 516m2，地上建筑面积为480m2，地下建筑面积 36m2，主要内容包括清洗实验间、光刻实验间、刻蚀实验区、划片解理实验区、镀膜测试实验区、减薄实验间、检测区、配套设备间、更衣间、风淋间、试剂防爆储存柜、储藏室、固体废物暂存间等，购置相关试验设备及配件，并配套建设废水、废气等环保处理设施。本项目建成后将进行高端半导体芯片的研发，并对外提供半导体芯片的代加工及测试服务，研发能力为 8 片/天（含代工），合格的研发产品交付委托方。自建污水处理站拟采用 DOCT、HMF 膜工艺，设计处理规模为10m3/d，由废水调节桶槽、一级 pH 反应池、DOCT 反应器、二级 pH 反应池、HMF膜池、排放池、板框压滤机、废气吸附等装置构成。项目技术经济指标见表 1-1、功能区面积分布见表 1-2、项目组成内容见表 1-3。表表 1-1 项目技术经济指标及功能分区表项目技术经济指标及功能分区表 序号 项目 m2 备注 1 占地面积 480-2 总建筑面积 516-其他 地上建筑面积 480 主要布置清洗实验间、光刻实验间、刻蚀实验区、划片解理实验区、镀膜测试实验区、减薄实验间、检测区、配套设备间、更衣间、风淋间、试剂防爆储存柜、储藏 4 室、固体废物暂存间等。地下建筑面积 36 主要自建污水处理站一处 表表 1-2 功能区面积功能区面积分布表分布表 序号 功能区名称 总建筑面积（m2）1 清洗实验间 28 2 光刻实验间 95 3 刻蚀实验区 35 4 划片解理实验区 35 5 镀膜测试实验区 45 6 减薄实验间 40 7 检测区 20 8 配套设备间 54 9 更衣间 25 10 风淋间 25 11 试剂防爆储存柜存放间 2.7 12 储藏室 14 13 固体废物暂存间 3.3 闲置 58 总计-480 表表 1-3 项目项目组成内容组成内容 类别 工程名称 主要建设内容及规模 备注 主体工程 清洗实验间 设置清洗实验间 1 间，建筑面积约为 28m2，配有试验台、药柜、通风柜等。新建 光刻实验间 设置光刻实验间 1 间，建筑面积约为 95m2，配有操作试验台、通风橱、试剂柜等设施 刻蚀实验区 设置刻蚀实验区，建筑面积约为 35m2。划片解理实验区 设置划片解理实验区 1 间，建筑面积约为 35m2。镀膜测试实验区 设置镀膜测试实验区 1 间，包括缓冲间、嗅辨室、配气室，总建筑面积约为 45m2。减薄实验间 设置减薄实验间 1 间，包括土样制样室、土壤风干室、留样室，总建筑面积约为 40m2。检测区 设置检测区 1 间，建筑面积约为 20m2。辅助工程 配套设备间 设置配套设备间 4 间，设置供配液柜、泵、尾气处理系统等配套设备，总建筑面积约为 54m2。新建 更衣间 设置更衣间 1 间，总建筑面积约为 25m2。风淋间 设置风淋间 1 间，总建筑面积约为 25m2。纯水机房 设纯水机房 1 间，位于启发大厦地下 1 层。为 超净 实 5 验 室现 有设施 储运工程 试剂防爆储存柜存放间 设置试剂防爆储存柜存放间 1 处，用于放置主要实验所需的试剂。新建 储藏室 设置储藏室 2 间，用于储藏实验所需特气（除硅烷、氨气、氯气）气瓶。特气房 设置特气房 1 间，用于储藏硅烷、氨气、氯气等气瓶。依 托启 发大 厦现 有门房 固体废物储存间 主要用于一般固废储存和危险废物储存，设置防渗层和围堰等措施。新建 公用工程 给水工程 依托启发大厦现有供水设施，由市政供水管网供水。依 托启 发大 厦现 有设施 排水工程 依托启发大厦现有排水设施，污水经市政污水管网排入天津生态城水处理中心进行处理。供电工程 由中新天津生态城市政电网供电。制冷采暖 由超净实验室外南侧涡旋式风冷热泵机组供冷供热。通风净化 设有空调新风系统，置于启发大厦二层，本项目实验室楼上。为 超净 实验 室现 有设施 供气 压缩供气来源于启发大厦负一层空压机房和真空机房，路径为负一层机房至超净间高架地板下方。环保设施 废气 本项目共设 9 处通风橱。工艺尾气由设备末端直接进入尾气处理系统（即 Scrubber，下同）进行处理，随后与其他工艺的酸性废气（经通风橱收集）通过酸碱排风（风量为 3500m3/h）进入楼顶的碱液洗涤塔，最终经一根 58m 高的排气筒（P1）排放。有机废气经通风橱收集，通过有机排风（4500m3/h）进入楼顶活性炭吸附塔处理，最终经一根 58m 高的排气筒排放（P2）。废水 清洗废水、Scrubber 废液、碱液洗涤塔废水经自建污水处理站处理后与排浓水一起进入启发大厦污水管道，通过启发大厦污水总排放口进入市政污水管网，最终均排入生态城水处理中心进行处理；实验废液作为危险废物委托处理，不外排。依 托启 发大 厦现 有排 水管网 噪声 合理布局、采用墙体隔声、选用低噪设备等措施。/固废 设置一般固废和危险废物储存区，设置防渗层和围堰等措施。1.2.3 主要设备主要设备 本项目主要设备见表 1-4，自建污水处理站主要设备清单见表 1-5。表表 1-4 设备清单设备清单 编号 设备名称 型号 数量（套/台）位置 用途 6 1 标准清洗台(RCA)*神通光电（定制）1 清洗实验间 清洗 2 有机清洗台*神通光电（定制）1 清洗 3 配液柜 神通光电（定制）3 配液 4 接触式光刻机(SUSS)SUSS MA/BA6 1 光刻实验间 光刻 5 电子束光刻机 JEOL JBX-9500FS 1 光刻 6 涂胶净化台*神通光电（定制）1 涂胶 7 氮气柜 松鑫电子SXD-730 1 储存 8 显影台*神通光电（定制）1 显影 9 涂胶预处理系统*(HMDS)真萍电子科技 MD-40 1 表面预处理 10 马弗炉 博纳热P330 1 高温处理 11 恒温干燥箱 上海华连 DHG 9053A 1 恒温处理 12 显微镜 奥林巴斯 MX63-U、OLS5400 2 表面观测 13 高密度等离子刻蚀机*(ICP InP)Samco ICP-200IP 1 刻蚀实验区 刻蚀基底 14 等离子体干法刻蚀机*(IC