国内外超净高纯氢氟酸产能调研.docx

序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS1.浙江巨化集团凯圣氟化学有限公司凯恒电子材料公司3•••自创2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影 响报告书审批前公示在现有万吨/年的电子级氢氟酸基础上， 再新建万吨/年电子级氢氟酸装置计划于2011年新建一套万 吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化氢 装置；2013年新建一套万吨/年UP-S级HF生产装置2012年 初已发布了巨化股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢 氟酸固定资产投资项目的投资公告项目采用引进技术，包括 原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤 系统和成品贮槽系统等内容项目固定资产投资 8300万元，表1国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（ 2012-7 ）序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS预计2012年10月建成投产注：70%的ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠进口2.浙江蓝苏氟化有限公司•••苏威浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保髙科技股份有限公司、 苏威氟控股（亚太）有限公司合资建立的中外合资企业，注册资 金4000万元。

公司于2006年11月19日开工建设2万吨/年 无水氟化氢项目，2007年9月16日投产选址在衢州髙新技 术产业园区华阳路39号电子级氢氟酸项目引进苏威公司的 先进生产技术，总投资3500万元，其中环保投资170万元公司于2010年4月开工建设，2011年12月投入试运行产 品用于太阳能行业苏威Solvay在华氢氟酸企业根据2012 年浙江省工业转型升级财政专项资金项目汇总表（衢州市区）序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS列，项目总投资2838万元，审计后投资额1106万元，2012 年正在申请省工业转型升级财政专项资金项目补助资金 64万 元项目为年产5000吨电子级氢氟酸项目，可生产UP级、UPS 级电子级氢氟酸现有电子级氢氟酸等级有四级（从低到髙分 别为AR级、EL级、UP级、UPS级），现国内自有技术为AR级 和EL级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP级和UPS级项 目各项配套条件均落实，并已完工投产，质量已达到设计标准3.浙江瑞星氟化工业有限公司日本Stella在华氢氟酸企业4.浙江森美化工有限公司•••2003年11月成立（金华市武义县青年胡处工业区），日本森 田化学工业株式会社 （Morita Chemical ）在华氢氟酸企业。

序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS无水氟化氢产能15 000吨并于2004年12月取得 ISO19001-2000、于 2005 年 1 月取得 ISO14001 认证2009 年2月森田化学半导体级氢氟酸增产设备完成森田化学还与住友合资在张家港有限公司建有800吨/年的六氟磷酸锂厂5.6.江苏苏州晶瑞化学公司•••苏威位于苏州市吴中经济开发区澄湖东路，是一家生产销售微电子 业用超纯化学材料和其他精细化工产品的中港合资企业 品种 包括氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、氨水、硝酸、氟化铵等目 前主要量产品种的纯度为单项金属杂质含量小于 1ppb产品广泛应用于超大规模集成电路和 TFT-LCD面板制造过程中的 蚀刻与清洗总体产能2万吨，公司产品包括光刻胶和超净试序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS剂，髙纯氢氟酸产能7000多吨，占其利润一半，产品处于中 髙端水平，在行业中有较好口碑其产品80%用于太阳能领域， 20%用于半导体、TFT-LCD领域2011年在建1万吨氢氟酸生 产线，还计划在苏北建立1条万吨级的生产线，开拓北方市场。

UP-S级微电子用髙纯度氢氟酸2008年获奖2007年中国半导 体创新产品和技术项目2009年度苏州市科技发展计划各类 项目，经专家评审，公告确定了该公司UP-SS级微电子用超纯 氢氟酸获得苏州市科技型企业技术创新资金专项项目7.江苏江阴市润玛电子材料有限公司••总产能约2500吨，产品包括硫酸、氨水、氢氟酸等，产品95% 针对太阳能市场，仅5%针对半导体市场，公司总体路线是低 价路线序号生产厂家产能（万吨/年）等k级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS&江苏江阴江化微电 子材料股份有限公 司••生产微电子化学品一一紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻 胶配套试剂、超净髙纯试剂、通用化学试剂系列以及其它专用 电子化学品5000吨能力，产品类型与晶瑞相似，但技术水平 低于晶瑞9.江苏江阴化学品有限公司总体产能3000吨，主要产品是CMOS级、MOS级和低颗粒髙纯 试剂10.江苏昆山金城试剂有限公司即金城试剂厂，还包括金城精细化工厂、精细化工二厂和金城 公司昆山分公司等，是江苏最大的专业生产化学试剂产品的企 业之一髙纯试剂： 包括髙纯无机酸类（盐酸、硫酸、硝酸、 氢氟酸等）及部分有机溶剂（醇、酮、酯及苯类），纯度为4N、 5N （%、％）的金属氧化物（铋、铅、碲、钨、钼、锆）。

序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS11.江苏苏州旭昌化学科技（昆山）有限公 司•苏州市发展和改革委员会2012-1-30发布新建项目核准的批 复，该项目位于昆山市千灯镇精细化工区，其中电子级氢氟酸 清洗剂8000吨12.江苏昆山市富乐化工有限公司专业生产工业级氢氟酸、电子级、分析纯、超髙纯氢氟酸、氟 硼酸、氟硼酸亚锡、氟硼酸铅、氟化铵、氟化氢铵等氟化物产 品及硝酸、盐酸、硫酸、无水乙醇、氢氧化钠、双氧水、丙酮 等年总产量达到10000多余吨，年产氢氟酸为5000吨、氟 硼酸为1000吨、双氧水为800吨硝酸为3000吨，盐酸为1500 吨等氢氟酸产品为试剂级、电子级、mos级13.江苏三美化工股份有限公司1••江苏南通2011-07对江苏三美化工有限公司（在如东洋口化学 工业园如东）年产6万吨ODS替代品（包括年产1万吨二氟甲序号生产厂家产能（万吨/年）产级口 口口等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨四氟乙烷及1 万吨五氟丙烷）、5万吨无水氟化氢、1万吨髙纯电子级氢氟酸、 3万吨偏二氯乙烯、3万吨三氯乙烯、万吨聚偏二氟乙烯树脂； 联产19万吨石膏、17万吨盐酸、万吨40%氢氟酸、万吨氟硅 酸、万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯项目进行了审批公示。

14.江苏海安南通明鑫化工有限公司最专业的髙活性氟化钾设计制造商：南通市明鑫化工有限公司 专业生产结晶氟化钾、无水氯化钙生产氢氟酸、氯化钾、氯 化钙、钝化液，同时经营硫酸、硝酸、盐酸、氟化氢铵、氟化 氢钾等15.江苏南京苏纯化工科技有限公司南京苏纯化工科技有限公司是一家领先的超净髙纯电子化学品与水处理化学品提供商其超净髙纯-氢氟酸（40%/49% ）纯序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS度规格EL级/UP级/UP-S级，16.江苏阿科玛（常熟）氟化工有限公司道达尔集团阿科玛Arkema在华氢氟酸企业1996年6月成立 的中国第一家致力于拓销无水氢氟酸及氟利昂替代品的外商 投资企业目前拥有三个项目：分别为生产销售 HF及F22的 氟化工项目，生产共聚酰胺类的热熔胶项目，以及有机过氧化 物项目，总投资超过六千万美元公司于2000年5月正式投 产，目前生产无水氢氟酸20000吨、F0RANE22达35000吨， 并正在为增产建设17.福建邵武永飞化工有限公司•••2009-9月下旬，项目破土动工，2010-5月底完成生产厂房 采用钢架结构以及采用普通优等品AHF为生产原料。

9月15 日公司顺利完成“ 15000吨/年髙纯超净氢氟酸（电子级氢氟序号生产厂家产能（万吨/年）等技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS酸）项目”福建省外经贸区域协调发展促进资金的申报工作 供货于日本关东电化18.福建顺昌富宝腾达化工有限公司1•福建南平市顺昌县埔上镇，无水氟化氢3万吨/年，氟化盐系 列产品8千吨/年、氟表面活性剂20吨/年拟投资6亿以上， 开发电子级氢氟酸、电子级双氧水等7个以精细化工产品为主 的项目2010年已环评公示计划2011年建成投产超纯电 子级氢氟酸工艺流程简述：经计量的氢氟酸及电子级纯水进入 蒸发器，加热汽化，然后进入精馏塔，塔顶汽体经冷凝器冷凝 成超纯氢氟酸，放至超纯氢氟酸贮槽未冷凝气体再经尾气吸 收塔吸收处理超纯有水氢氟酸的制备：超纯氢氟酸储槽为髙 浓度超纯氢氟酸，需经稀释到不同要求浓度的超纯有水氢氟号/ 吨 万匕匕厶冃 ) 产年等k级技术来源注 备合计已建-t 壬二」 在萇拟建EEupSup菱牛nL水除阴 磁怡O纯去的 氟子-#及膜量 KMiwa*非商

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