原子层沉积镀膜设备招标文件

1、东莞市政府采购东莞市政府采购 招标文件招标文件 项目名称：原子层沉积镀膜设备项目名称：原子层沉积镀膜设备 采购编号：采购编号：441900-201904-0099990033-0012441900-201904-0099990033-0012 采购方式：公开招标采购方式：公开招标 采采 购购 人：松山湖材料实验室人：松山湖材料实验室 采购代理机构：东莞市粤隆招标有限公司采购代理机构：东莞市粤隆招标有限公司 二二一九年四月一九年四月 原子层沉积镀膜设备 招标编号：441900-201904-0099990033-0012 东莞市粤隆招标有限公司编制2 目目 录录 目目 录录2 2 第一部分第一部分 投标邀请函投标邀请函 3 3 第二部分第二部分 用户需求书用户需求书 6 6 第三部分第三部分 评标方法、步骤、标准评标方法、步骤、标准 9 9 第四部分第四部分 投标人须知投标人须知 2121 投标须知前附表投标须知前附表 2222 一、 说 明 .24 二、 招标文件 25 三、 投标文件的编制 27 四、 投标文件的递交 30 五、 开标与评标 31 六、 授予合同 33 第五部分第五部

2、分 通用合同书格式通用合同书格式 3636 第六部分第六部分 投标文件格式投标文件格式 4444 附件 1 详细评审索引目录表46 附件 2 投标函48 附件 3 资格文件声明函49 附件 4 法定代表人证明书50 附件 5 法定代表人授权委托书51 附件 6 投标报价表52 附件 7 投标货物的详细情况56 附件 8 投标货物技术偏离表57 附件 9 实质性响应一览表58 附件 10 重要条款响应一览表 .59 附件 11 投标货物技术服务方案 .60 附件 12 制造商（或授权方）授权书 .61 附件 13 投标人基本情况表 .62 附件 14 商务条款响应表 .68 附件 15 承诺书 .69 附件 16 退投标保证金说明 .72 附件 17 其他（若有） .73 附件 18 政府采购投标担保函 .74 附件 19 政府采购履约担保函 .76 附件 20 唱标信封 .79 附件 21 询问函、质疑函参考格式 .80 原子层沉积镀膜设备 招标编号：441900-201904-0099990033-0012 东莞市粤隆招标有限公司编制3 第一部分第一部分 投标邀请函投标邀请函 原子层

3、沉积镀膜设备 招标编号：441900-201904-0099990033-0012 东莞市粤隆招标有限公司编制4 投投标标邀邀请请函函 东莞市粤隆招标有限公司（以下简称政府采购代理机构 ）受松山湖材料实验室（以下简称采 购人 ）委托，对原子层沉积镀膜设备进行国内公开招标，详情请参见招标文件。欢迎符合条件的合格 投标人参加投标，有关事项如下： 1.1.本项目投标邀请及招标文件中所有时间均为 24 小时制北京时间，所有货币单位均为人民币元，所 使用的计量单位均以中华人民共和国法定计量单位为准（特别注明除外） 。 2.2.项目编号：441900-201904-0099990033-0012 3.3.项目名称：原子层沉积镀膜设备 4.4.项目类型：货物类 5.5.项目预算: 人民币人民币 3,900,000.003,900,000.00 元元 6.6.项目情况一览表： 包号包号采购内容采购内容采购数量采购数量 简要技术要求或者采购项目的性质简要技术要求或者采购项目的性质 A 原子层沉积镀膜设备一套 详见招标文件用户需求书 备注：服务详细内容、要求及执行标准详见招标文件中的“用户需求书” 。 7

4、.7.投标人资格要求： 7.1投标人符合中华人民共和国政府采购法第二十二条规定的法人、其他组织或自然人； 7.2 投标人未被列入“信用中国”网站()“记录失信被执行人或重大税收违 法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网 ()“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。 （以采购代理机构于投标截止日当天在“信用中国”网站（）及中国政府 采购网()查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）； 7.3 本项目不接受联合体投标。 备注：备注：(1)(1) 单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下 的政府采购活动；的政府采购活动；(2)(2) 除单一来源采购项目外，为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管除单一来源采购项目外，为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管 理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。 8

5、.8.获取招标文件的时间、地点、方式及招标文件售价： 8.1招标文件公示时间: 2019 年 4 月 28 日至 2019 年 5 月 7 日 8.2获取招标文件时间：2019 年 4 月 28 日至 2019 年 5 月 7 日，每日 9:00-12:00，14:00- 17:00（法定节假日除外） 8.3获取招标文件地点：广东省东莞市南城街道体育路 2 号鸿禧中心 B902 号 8.4售标书联系电话：0769-88839111；联系人：陈小姐 8.5招标文件售价：招标文件每份人民币 150.00 元整，售后不退（本项目不办理邮购） 。 说明：供应商在购买招标文件时须提供说明：供应商在购买招标文件时须提供营营 原子层沉积镀膜设备 招标编号：441900-201904-0099990033-0012 东莞市粤隆招标有限公司编制5 业执照业执照或或事业单位法人证书事业单位法人证书复印件（加盖公章）复印件（加盖公章） 。 （注：如投标人为自然人，则须提供自（注：如投标人为自然人，则须提供自 然人的身份证明原件及复印件。然人的身份证明原件及复印件。 ） 8.6投标人须在开标前自行在东莞市政府

6、采购网（投标人须在开标前自行在东莞市政府采购网（http:/ 交易网（交易网（http:/http:/）进行建档入库，已在市公共资源交易中心入库（企业身份为）进行建档入库，已在市公共资源交易中心入库（企业身份为 “政府采购类政府采购类” ）的除外。入库路径：）的除外。入库路径：1.1.东莞市政府采购网东莞市政府采购网- -供应商注册；供应商注册；2.2.东莞市公共资源交东莞市公共资源交 易网易网- -企业信息登记企业信息登记- -公共资源交易企业库。公共资源交易企业库。 （详见办事指南链接：（详见办事指南链接： http:/ 4. 生产能力（生产能力（8nm8nm 膜厚工艺条件）：膜厚工艺条件）：500500 片片/ /小时；小时； 5. 反应腔破片率反应腔破片率0.05%0.05%； 6. 反应腔镀膜绕镀反应腔镀膜绕镀0.5mm0.5mm； 7. 生长台适用的样品尺寸：158.75mm*158.75mm 单晶/多晶硅片 8. 反应腔材料：不锈钢； 9. 反应腔是双层水冷构造 10. 反应腔工作压力范围：3-10mbar 可调 11. 反应腔体真空度：无流气抽真空 0.5 小时底压 0

7、.3mbar 12. 危险化学品供气管道漏率： 5.0 x 10- 9 mbar.l/sec. 13. 设备安全：设备自身具备必要的电气安全保护、防机械运动损坏、防真空损坏、防高温损 坏、危化学品安全侦测及互锁机制等自我保护安全互锁机制； 14. 反应气流量控制精度：偏差1% 15. 反应源温度控制精度：偏差+/-2 16. 反应腔具有不少于三个温度侦测通道 17. 反应腔温度控制精度：室温至 300，稳态时温度设定值与反馈值偏差+/-5 18. 预热腔体配备红外测温计，测温范围：20-600 19. 可通过电脑自动控制设备，完成一个独立的工艺实验 20. 能够实时监控水流量、真空腔、及传感器的工作状态 21. 供电电压:三相 400 V 10% 22. 验收条件 1：反应腔工艺生长厚度区间：满足 2-10nm 均可实现； 23. 验收条件 2：反应源（三甲基铝 TMA）消耗量：生产厚度 6nm 条件下，消耗量4g/千片； 24. 验收条件 3：反应腔沉积膜厚均匀性：批次间均匀性+/-4%，批次内均匀性+/-5%，单 片硅片内均匀性+/-5%； 25. 验收条件 4：反应腔镀膜绕镀0.

8、5mm； 26. 验收条件 5：生产能力（8nm 膜厚工艺条件）：500 片/小时（不包含手动上下料时间） ； 27. TMATMA 气源由独立气源柜供应。气源由独立气源柜供应。 原子层沉积镀膜设备 招标编号：441900-201904-0099990033-0012 东莞市粤隆招标有限公司编制8 二、 商务要求 1.1. 完完工期：合同签订后工期：合同签订后 9090 天内交货安装调试完成。天内交货安装调试完成。 2.2. 付款方式：付款方式： 1 1）合同签订及递交设备清单后合同签订及递交设备清单后 1515 个工作日内预付个工作日内预付 30%30%货款；货款； 2 2）经采购人确认，设备到货后付经采购人确认，设备到货后付 50%50%货款；货款； 3 3）中标人交货并经采购人验收合格，办理完验收手续后）中标人交货并经采购人验收合格，办理完验收手续后 1515 个工作日内一次性向中标人支付中标个工作日内一次性向中标人支付中标 价的价的 10%10%验收款，验收款，10%10%质保款于质保期满后质保款于质保期满后 5 5 个工作日内支付个工作日内支付。 3.3. 质保要求：整机保修

9、质保要求：整机保修 1818 个月。个月。 4.4. 售后服务：随本项目设备赠送售后服务：随本项目设备赠送5 5万元额度备件供采购人选购，能够提供国内售后服务，两个万元额度备件供采购人选购，能够提供国内售后服务，两个 工作日内响应，五个工作日提出解决方案，如果采购人需要，可派遣技术支持工程师到现场指工作日内响应，五个工作日提出解决方案，如果采购人需要，可派遣技术支持工程师到现场指 导、配合工作。导、配合工作。 原子层沉积镀膜设备 招标编号：441900-201904-0099990033-0012 东莞市粤隆招标有限公司编制9 第三部分第三部分 评标方法、步骤、标准评标方法、步骤、标准 原子层沉积镀膜设备 招标编号：441900-201904-0099990033-0012 东莞市粤隆招标有限公司编制10 评标方法、步骤、标准评标方法、步骤、标准 根据中华人民共和国政府采购法、中华人民共和国政府采购法实施条例及相关法律、法规 的规定确定以下评标方法、步骤及标准： 一、总则一、总则 1评标委员会 1.1 本次招标依法组建评标委员会。评标委员会成员按政府采购规定由采购人代表和有关技术、经济 等方面的专家组成，采

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