微机电系统动力学课件

1、MEMS若干动力学问题研究,振动、冲击、噪声国家重点实验室 上海交通大学,孟 光 张文明,概要 (Outline),微机电系统的基本概况 MEMS动力学问题研究 微转子动力学问题研究 若干动力学问题的研究 MEMS动力学研究展望,1 微机电系统的基本概况,1.1 MEMS基本概念 1.2 MEMS基本模型 1.3 MEMS历史回顾 1.4 MEMS加工技术 1.5 MEMS研究成果 1.6 MEMS应用现状 1.7 MEMS技术小结,1.1 MEMS基本概念,微机电系统 MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems (USA) 微系统 Mcirosystem (Europe) 微型机械 Micromachine (Japan) 微科学 Microscience (Some researchers),1.2 MEMS基本模型,1.3 MEMS历史回顾,1947年，科学家率先发明半导体晶体管 1959年，诺贝尔物理学奖获得者Feynman教授发表著名的MEMS预言演讲 There is plenty of room at the bottom 1964年，N

2、athenson研制出第一个批量生产的MEMS设备 resonant gate transistor 1984年，美国加州大学伯克利分校Howe 和 Muller利用IC工艺开发出多晶硅表面微加工技术，此技术被誉为MEMS加工技术的前奏 1988年，美国加利福尼亚大学伯克利分校研制出首台静电微电机，标志着MEMS时代的来临,1.4 MEMS加工技术,表面微加工技术 薄膜生成技术；牺牲层技术 体形微加工技术 化学腐蚀；离子刻蚀 LIGA技术和SLIGA技术 光刻、电铸及注塑 特种精密机械加工技术 电火花加工；激光加工；光造型加工 固相键合技术 阳极键合；Si-Si直接键合；玻璃封接键合；冷压焊键合,1.5 MEMS研究成果,First batch-fabricated MEMS（1964）,First polysilicon surface micromachined MEMS device (1984),First electrostatic micromotor（1988）,MEMS历史上几个重要的第一次,1.6 MEMS应用现状,军事国防 生物医学 环境保护 工厂维修 信息通信 交

3、通运输 航空航天 ,1.7 MEMS技术小结,MEMS是人类科技发展过程一次重大技术整合 微电子、精密加工、传感器、执行器等技术 微小型化、智能化、集成化、高可靠性 MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成 在芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变 MEMS极大地改善了人类生存方式与生活质量 大批量、低成本的微传感器、微热行器 MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长 不是钢铁、汽车、微电子，而是微系统,概要 (Outline),微机电系统的基本概况 MEMS动力学问题研究 微转子动力学问题研究 若干动力学问题的研究 MEMS动力学研究展望,2 MEMS动力学问题研究,2.1 微尺度效应 2.2 多能域耦合效应 2.3 MEMS非线性动力学问题 2.4 动力学建模和模拟分析方法,2.1 微尺度效应(),MEMS 象征着超小型计算机芯片与微型传感器、 探头、光学元件及执行器的密切结合。,How small is small?,2.1 微尺度效应(),尺度范围: 微型机械 0.01m-0.1mm MEMS 0.1mm-0.1m NEMS 100nm-0.1nm,2.1 微尺度效应(),

4、S/V ratio shrinks with the scale friction inertia heat dissipation heat storage electrostatic force magnetic force energy coupling energy production Important decrease in manufacturing relative accuracy Shrinking world, changing behavior,微尺度律,2.1 微尺度效应(),自然的灵感: 旋转运动,惯性矩的大小 I = r2dm 微马达只需若干分之一秒可达最高转速；而大马达却需数秒才能达到全速,2.1 微尺度效应(),各种驱动器的尺度效应,2.1 微尺度效应(),驱动力的微尺度效应,静电力,电磁力,压电力,热动力,2.2 多能域耦合效应,流体、固体等耦合 微泵 微阀 微型水压动力驱动器 电、热、机械等耦合 热致动器 热传感器 机、电、磁等耦合 梳状谐振器 静电、电磁微电机等 电场力、空气阻力、机械变形等耦合 微压电传感器 原子力显微镜微梁探针,2.3 ME

5、MS非线性动力学问题,宏观非线性：材料特性、几何特性等 微观非线性：微摩擦、微动磨损、粘附等 固有非线性：初始应力、大位移、热传输效应等 机械非线性：表面接触、大变形、非线性阻尼等 多能域耦合非线性：电、磁、热、光、化学等,2.4 动力学建模和模拟分析方法(),建模过程,2.4 动力学建模和模拟分析方法(),动力学建模与分析方法,动力学特性表述方法 简化的微分方程 非线性时变偏微分方程 动力学模型 微机械双稳态系统模型 非线性电容器模型 集中参数模型 弹簧阻尼质量系统模型 平板电容器模型 三维分段线性动力学模型 动力学分析方法 宏模型建模分析方法 Melnikov方法 等效电路方法 摄动法 非线性解耦分析算法 有限单元分析方法等,概要 (Outline),微机电系统的基本概况 MEMS动力学问题研究 微转子动力学问题研究 若干动力学问题的研究 MEMS动力学研究展望,3 微转子动力学问题研究,3.1 微旋转机械的研究现状 3.2 微转子系统动力学问题 3.3 微转子动力学研究现状 3.4 微旋转机械的实验检测,3.1 微旋转机械的研究现状,静电微电机,磁感应微电机,超声微电机,电磁微电

6、机,步进微电机,SDA微电机,摆式微电机,微 电 机 (Micromotor),3.1 微旋转机械的研究现状,微型水压动力驱动器,微型转子飞机,微型Otto循环发动机,微型涡轮机,微型发动机,微型火箭发动机,微型燃气涡轮发电机,动力MEMS (Power MEMS),MEMS涡轮增压器,3.1 微旋转机械的研究现状,美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75125s，推力0.5mN，功率 5W，效率50%，质量为几克，大小为1cm2。,微推进器,3.1 微旋转机械的研究现状,美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。其性能目标为：比冲5075s，推力0.5mN，功率 2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。,微推进器,3.1 微旋转机械的研究现状,上海交大研制的微马达,3.2 微转子系统动力学问题,微尺度下的转子系统动力学建模和分析方法 微尺度下转子系统动力学及非线性特性问题 微尺度下转子系统的摩擦、磨损与润滑问题 转子高速运动

7、及机电耦合非线性动力学问题 转子系统振动测量与控制、稳定性分析问题 微尺度下的动态特性测试及可靠性技术问题,3.3 微转子动力学研究现状,不同驱动方式下动力学特性研究 多能域耦合非线性动力特性研究 微尺度下动力润滑特性机理研究 超高转速工作转子系统的稳定性 微尺度下摩擦磨损动力特性研究 转子动力系统特性实验检测技术,A. 微转子动力学建模与分析,动力学模型 可变电容三维场模型 平行板模型 独立模块模型 等效电路模型等 分析方法 场电路分析方法 数值优化算法 自动有限元建模方法 运动模拟方法 重叠单元方法 场计算方法等 模拟软件与系统 VHDL-AMS系统建模 mTORQUE与MICROTOR仿真 Spice与Saber静电仿真 ANSYS多能域仿真等,B. 微转子系统摩擦磨损问题研究(),摩擦系数的测量,各种微电机摩擦系数,B. 微转子系统摩擦磨损问题研究(),微转子系统存在的磨损问题,采用光滑环状转子、支撑结构 采用滚动接触代替滑动接触 采用LB膜、自组装单分子膜(SAMS)等超薄膜 材料改性可提高材料的耐磨性能 采用Z-15和Z-DOL等多种PFPE润滑剂 适当湿度，加固磨损部位，

8、清除磨损碎片,减磨方法与防护措施,C. 微轴承动力润滑问题研究(),气体轴承模型,超短静压径向轴承模型,弹性动压径向轴承模型,流场模型: 动压与静压,推力轴承模型,径向轴承模型,转子-轴承模型,C. 微轴承动力润滑问题研究(),超短静压气体径向轴承的尺度律,C. 微轴承动力润滑问题研究(),气体轴承特性测试,承载能力与转速关系,气体轴承过临界响应,3.4 微旋转机械的实验检测(),AFM 测试多晶硅微电机,AFM,3.4 微旋转机械的实验检测(),微发动机测试摩擦力,3.4 微旋转机械的实验检测(),微涡轮机实验测试系统,Micro turbine,概要 (Outline),微机电系统的基本概况 MEMS动力学问题研究 微转子动力学问题研究 若干动力学问题的研究 MEMS动力学研究展望,4 若干动力学问题的研究,4.1 MEMS非线性动力学特性研究 4.2 微转子系统摩擦磨损特性研究 4.3 微转子-固定轴承接触问题研究 4.4 微转子系统碰摩动力特性分析 4.5 微转子系统动力润滑特性研究 4.6 微旋转机械可靠性评估与研究 4.7 电磁微电机振动测试实验分析,4.1 MEMS非线性

9、动力学特性研究,微尺度下MEMS压膜阻尼特性分析 静电驱动MEMS耦合动力特性分析 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制,A. 微尺度下MEMS压膜阻尼特性分析(),挤压效应,穿孔效应,滑流效应,加速释放或减小阻尼, 加工释放孔,无滑流效应,有滑流效应,A. 微尺度下MEMS压膜阻尼特性分析(),刚度系数,阻尼系数,穿孔效应,B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(),压膜阻尼力,动力学模型,动力学模型示意图,B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(),吸合效应( Pull-in),静电刚度软化效应,固有非线性特性,B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(),参数激励与外激励耦合响应,非线性马休(Mathieu)方程,幅频关系,B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(),分岔与混沌特性分析,交流电压幅值,压膜阻尼比,C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(),动力学模型,C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(),Rayleigh-Ritz方法,线性化反馈控制,C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(),模态形状,C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(),模态频率,C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(),阶跃响应,频率响应,无阻尼,有阻尼,不同位置,不同电压,高增益观测器,4.2 微转子系统摩擦磨损特性研究,摩擦磨损的尺度效应 微转子枢轴摩擦磨损特性分析 微转子轴衬摩擦磨损特性分析 微转子的材料选择,A. 摩擦磨损的尺度效应,摩擦的尺度效应,磨损的尺度效应,弹性,塑性,B. 微转子枢轴摩擦磨损特性分析 (),平端枢轴模型,锥型枢轴模型,球型枢轴模型,模型,简图,线磨损率,体积磨损率,摩擦力矩,B. 微转子枢轴摩擦磨损特性分析 (),锥型枢轴,球型枢轴,枢轴类型,线磨损率,体积磨损率,摩擦力矩,C. 微转子轴衬摩擦磨损特性分析 (),SEM photo of

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