投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展_曾爱军
7页1、第 !“ 卷! 第 # 期%:提要 阐述了投影光刻机调焦调平传感器的重要作用及其技术进展!详细介绍了国际上典型的调焦调平传感器 !并对多种传感技术的光学原理和关键技术进行了分析和比较“关键词 调焦调平传感器 步进重复投影光刻机 步进扫描投影光刻机 逐场调焦调平#$%4 /0 ?.7 .20747 ,;/ -./01./2 $%*;%:;S/ WSXP4=.SZ VS 4(/OSY 4Y X5UVSY)=9 %$/(X.Z 4Y (SS( ZS4ZV ZWSUUSVZX44SV=S(YE/E=S(Y (SS(=4N!引言光刻技术是大规模集成电路制造的基础!已经成为推动集成电路 发展的核心驱动力“ 光学光刻具有生产率高 # 套刻精度高 # 掩模制作简单# 工艺容易掌握等特点!是 集成电路制造产业中的主流光刻技术1*!02“ 在光学光刻设备中!高分辨率的投影 光刻机一直扮演着主角“ 投影光刻机主要经历了从步进 重复投影光刻机到步进扫描投影光刻机的发展过程132! 现已进入了*%45 分辨率的技术时代1!62“投影光刻机两个最基本的参数 是分辨率 ! 和焦深 “#$! 由瑞利判据确定为172
2、!%2!即在曝光之前使曝光视场内 的硅片区域位于有效焦深范围以内“ 逐场调焦调平开始应用于亚半微米 分辨率的步进重复投影光刻机中! 现已成为步进扫描投影光刻机的一 项关键技术“ 调焦调平传感器主要采用光学传感技术+ 仅有早期的少数传感器采用气压#电容原理进行传感14 公司 #?44 公司和荷兰的 ABCD 公司是世界上投影光刻收稿日期“ 0%!E%3E*F 收到修改稿日期G 0%!E%6E“?第 !“ 卷! 第 # 期% 接收到的光强也发生改变“ 为了提高信噪比!光路中利用振动反射镜进行光强 调制“ 振动反射镜在一定的角度 范围内产生角度随时间变化的旋转振动!则对光电探测器 * 接收的光强进行了调制“ 为了使传感器的基准面和投影物镜 焦平面重合!在 振动反射镜和探测狭缝之间插入可旋转的平行平板 $见图 0%!利用平行平板旋转引起的光束 平移调整传感器的基准面“图* 中用实线表示的光路为调平传感器的 测量光路“ 发光二极管$%发出的光束经过聚光镜 0 聚焦在光阑上! 由透镜 ! 准直成平行光并斜入射在硅片上! 硅片反射后由透镜 7 聚焦在光电探测器 0$如四像限探测器% 上“ 如果硅片没
3、有倾斜!即和投影物镜的光轴垂直!则聚焦 光斑位于四像限探测器的中心!则四个像限探测到的光强相等“ 若硅片相对于投影物镜焦平面产生 了倾斜! 透镜 7 焦面上的光斑将偏离探测器的中心 位置! 则四个像限探测到的光强不相等! 利用四个像限探测到的光强差可以计算出硅片的 倾斜量“ 离焦量和倾斜量分开测量的传感技 术不仅可用于整场调焦调平!还适合 于逐场调焦调平“步进重复投影光刻机发展为步进扫描投影光刻机以后! 调焦调平传感器采用了多点测量的方式4*0!*65“调焦调平传感器如图 0?A所示!其单点高度测量原理#光强调制方式和原有的调焦传感器相同 !不同的是将调焦标记改进为狭缝阵列!在硅片上得到图 0?BC所示的测量点分布!利用多点的高度值即可计算出硅片的倾斜量“ 对应于调焦标记的变化!探测标记也相应地变成探测狭缝阵列!并采用光电探测器阵列接收光强“ 在信号处理中!从 !7 个测量点中选择 D 个测量点的数据计算硅片的平均高度和倾斜量!图 + “#$% 形成多波长测量3*24$ 9:; 产生的光束通过聚光镜% 光阑和准直透镜后成为平行光! 经过聚焦透镜和转折棱镜掠入射在 硅片上并聚焦$ 经过硅
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