alicat质量流量计&控制器中文手册

精密流量控制精密流量控制 全球最快的流量控制器生产商全球最快的流量控制器生产商 ！ MCV系列系列 MCR 系列系列 WHISPER MCS 系列系列 MC 系列系列 操作手册操作手册 06/04/2014 Rev.34 DOC-ALIMAN16C 全方位技术支持 | 有条件的终身质保有条件的终身质保 校校 准准 艾里卡特产品属于精密仪器，因此我们建议您每年一次将设备寄回原厂重新校准。 其目的如下： 确保设备正常工作 管路中含有杂质可导致测量不准确，年度校准包含管路清洁服务， 确保设备管路无残留碎片 年度校准可使您的设备享有终身质保！ 将设备寄回原厂校准并不会花费您大量的时间和金钱，通常校准周期为 收到设备后 5 个工作日，与普通交货一样便捷。请使用艾里卡特原始包 装盒寄回待校准设备。更多关于重新校准的事项，请参见 42 页。 电源适配器 全球通用的墙插式电源适配器，使得您的艾里卡特 设备可工作于全球任何地方 BB9 多点式集线盒 可通过 USB、RS-232 或 RS-485 端口与电 脑或可编程控制器(PLC)连接，控制最多 9 台艾里卡特设备 MD8DB9 RS-232 转 8 针 Mini-DIN 通讯线缆，用于设备与电脑 之间连接。另有多种通讯线缆可选 Flow Vision SC 与Windows®兼容的用户操作界软件(GUI)，方 便用户通过电脑控制一台或多台艾里卡特设备 接头及管路过滤元件 正确连接设备到过程系统，确保设备无污染 请参见第 46-49 页艾里卡特全部配件清单。 06/04/2014 Rev.34 DOC-ALIMAN16C 配配 件件 除了测量与控制设备本身，艾里卡特一系列配件和软件亦可使您的工序 化繁为简。通常用户会需要下列配件： 感谢您使用艾里卡特设备感谢您使用艾里卡特设备! 认真阅读本操作手册将有助于您更有效地使用设备，本手册涵盖下列艾 里卡特设备： MC 系列质量流量控制器系列质量流量控制器 MCR 系列质量流量控制器系列质量流量控制器 WHISPER 系列低压损质量流量控制器系列低压损质量流量控制器 MCS 系列质量流量控制器系列质量流量控制器 MCRS 系列质量流量控制器系列质量流量控制器 MCS & MCRS 系列质量流量控制器专用于某些腐蚀性气体。(见第 65 页) 包括具有 CSA1 类 2 区和 ATEX1 类 2 区认证的、用于危险环境的质量流量 控制器。关于 CSA/ATEX 认证设备详细内容，请详见第 85-86 页。 MCV 系列质量流量控制器系列质量流量控制器 MCV 系列质量流量控制器特有的集成式气动切断阀专门设计用于高真空应 用。 (见第 27、59 页) MCP 系列质量流量控制器系列质量流量控制器 MCP 系列质量流量控制器特有的高性能电子气动阀专门设计用于低压应 用。(见第 61 页) MCD 系列双向质量流量控制器系列双向质量流量控制器 (见第 28、63 页) 除非另有说明，本操作手册内容适用于以上所有设备。 每个系列设备的详细参数，可参见第 50-70 页。 如有任何关于设备使用或操作问题如有任何关于设备使用或操作问题，请联系艾里卡特上海代表处：，请联系艾里卡特上海代表处： Tel: +86-21-60167680 / 60167681，Email: info-cnalicat.com 艾里卡特设备大多为定制艾里卡特设备大多为定制化产品化产品，两台两台相同相同型号型号、量程量程的设备可的设备可 能因为设计用于不同的应用，而在外观及功用上完全不同能因为设计用于不同的应用，而在外观及功用上完全不同 。 当设备被转换使用于不同项目时，请谨慎当设备被转换使用于不同项目时，请谨慎 处理！处理！ 艾里卡特录制了一系列关于设备使 用的视频教程，请访问艾里卡特中 文网站或官方微信(扫描右侧二维 码)浏览。 www.alicat.com.cn 3 4 目录目录 页页 使用入门 6 安装 6 管路连接 7 电源和信号连接 8 输入信号 9 模拟输入信号 9 RS-232 / RS-485 数字输入信号 10 输出信号 11 RS-232 / RS-485 数字输出信号 11 标准电压输出信号 (0-5 Vdc) 11 选配电压输出信号 (0-10 Vdc) 11 选配电流输出信号 (4-20 mA) 11 选配第二道模拟输出信号 11 TFT 背光彩色显示屏 13 显示屏与菜单 14 主菜单 15 气体绝对压力 15 气体温度 15 设定值 15 体积流量 15 质量流量 16 出错报警 16 分菜单 17 控制模式设置 18 控制模式 18 控制变量 19 自动调零 19 PID 参数调节 20 气体选择 22 通讯模式设置 23 设备 ID 23 波特率 23 其它参数 MISCELLANEOUS 24 其它参数 1 24 死区 24 压力平均 24 流量平均 24 屏幕亮度 24 其它参数 2 25 标准工况 25 诊断测试 26 制造商信息 26 MCV 系列质量流量控制器使用说明 27 MCD 系列质量流量控制器使用说明 28 5 目录目录 页页 RS-232 / RS-485 信号输出与输入 30 设置超级终端® 30 流模式 30 流模式切换到轮询模式 30 通过 RS-232 / RS-485 输入设定值 31 通过 RS-232 / RS-485 调节 P & D 值 32 气体选择 33 数据采集 34 数据格式 35 发送脚本文件到超级终端® 36 测量原理 37 标准气体列表 37 25o C 气体的粘度、密度和压缩系数 38 0o C 气体的粘度、密度和压缩系数 39 故障排除 40 日常维护与重新校准 42 选配功能: 累加器 43 选配功能: 分离式电子部件 45 选配功能: 分离式显示面板 45 配件: BB9 多点式集线盒 46 配件: Flow Vision SC 软件 47 配件: Flow Vision MX 配气软件 47 其它配件 48 MC & MCR 系列质量流量控制器参数表 50 WHISPER 低压损质量流量控制器参数表 55 MCV & MCVS 系列质量流量控制器参数表 59 MCP 系列质量流量控制器参数表 61 MCD & MCRD 系列质量流量控制器参数表 63 MCS & MCRS 系列质量流量控制器参数表 65 PROFIBUS 技术参数&引脚图 70 8 针针 Mini-DIN 引脚图引脚图 71 6 针工业接头引脚图针工业接头引脚图 72 DB9 引脚图引脚图 73 DB15 引脚图引脚图 79 CSA & ATEX 认证设备认证设备 85 使用入门使用入门 电源接口电源接口 8 针针 MiniDIN 通讯接口通讯接口 阀门阀门 显示屏显示屏 进气连接端口进气连接端口 出气连接端口出气连接端口 流量方向箭头流量方向箭头 上图为阀门前置并已装有管路连接件的的小流量质量流量控制器 进气连接端口进气连接端口 出气连接端口出气连接端口 上图为阀门后置并已装有管路连接件的大流量质量流量控制器 安装安装 质量流量控制器底部小孔用于与平板间的固定。(见第 50- 70 页) 小流量质量流量控制器(MC 系列)对安装方向/方式无要求。 大流量质量流量控制器大流量质量流量控制器 (MCR系列系列) 须确保阀门垂直安装须确保阀门垂直安装。 否则当阀门 受弹力驱动处于关闭状态时可能引起泄漏。. 无论进气端还是出气端，对管路是否为直管段均无要求。 6 管路连接管路连接 所有质量流量控制器所有质量流量控制器的进气端和出气端在出厂时均带有塑料防的进气端和出气端在出厂时均带有塑料防 护塞。为避免污染物进入设备，请勿于设备安装前拆下防护塞。护塞。为避免污染物进入设备，请勿于设备安装前拆下防护塞。 请确保气体流动方向与设备上箭头方向一致请确保气体流动方向与设备上箭头方向一致。 艾里卡特质量流量控制器的标准进出口连接接口为 NPT 母螺纹，VCR 或其它类型的接头有公头可选。 各量程范围设备的进出口连接接口尺寸(与过程系统的连接)，请参见第 50-70 页。 连接接口为 M5 (10-32)母螺纹的质量流量控制器配有 O 型圈，无需使用 密封剂或生料带。焊接密封或 O 型圈密封的接口，请勿使用生料带。 非 M5 (10-32) 母螺纹连接接口，可使用 Teflon®生料带加固以防泄漏。 请勿请勿将生料带缠绕于最靠近设备本体的两格螺纹，以防止生料带进入设 备本体。 请勿在设备与过程系统连接处使用管道涂料或密封剂，倘若这些化请勿在设备与过程系统连接处使用管道涂料或密封剂，倘若这些化 合物进入质量流量控制器本体，将导致质设备永久性损坏。合物进入质量流量控制器本体，将导致质设备永久性损坏。 如需更换接头，请小心清洁螺纹上残留的生料带及碎片。 建议使用管路过滤元件以防止大颗粒物进入设备测量端口，建议使用管路过滤元件以防止大颗粒物进入设备测量端口，最大允许最大允许通过通过 颗颗粒粒大小大小如下如下: 满量程满量程1 sccm: 最大颗粒须小于最大颗粒须小于 5 微米微米 满量程满量程 2 sccm 1 slpm: 最大颗粒物须小于最大颗粒物须小于 20 微米微米 满量程满量程1 slpm: 最大颗粒物须小于最大颗粒物须小于 50 微米微米 浏览浏览管路连接件与过滤元件视频管路连接件与过滤元件视频教程，请访问艾里卡特中文网站。教程，请访问艾里卡特中文网站。 www.alicat.com.cn 压力压力 艾里卡特质量流量控制器允许的最大工作压力为 145 psig (1 MPa)。 若管路压力大于 145 psig (1 MPa)，请在进气口前端增加压力调节器，将压 力调至 145 psig (1 MPa)以下。 艾里卡特 MCP 系列质量流量控制器采用一种专门用于低压应用的 高性能阀门。MCP 系列允许的最大工作压力为系列允许的最大工作压力为 80 psig。(见第见第 61 页页) 7 注意注意! 超过允许的最大工作压力将导致超过允许的最大工作压力将导致压差压差传感器永久性损坏。传感器永久性损坏。 电源和信号连接电源和信号连接 艾里卡特质量流量控制器可通过设备顶部的电源接口(CSA/ATEX 认证设备无 电源接口)或 8 针 Mini-DIN 通讯接口供电。 若通过电源接口供电，需使用电源适配器将交流电转换成下述直流电压和 电流。 小阀门小阀门 质量流量控制器(MC 系列)要求用输出电压 12-30Vdc、输出电流 250 mA、直径 2.1 毫米的 DC 母头电源线供电。注：注：4-20mA 模拟信号输出至少 需要 15 Vdc 供电电压 大阀门大阀门质量流量控制器(MCR 系列) 要求用 输出电压 24-30Vdc、输出电流至 少 750mA、直径 2.1 毫米的 DC 母头电源线供电。 标准标准 8 针针 Mini-DIN 引脚图引脚图 颜色颜色 通常，引脚通常，引脚 2 (贴有贴有输出输出5.12 Vdc稳态直流电压稳态直流电压标签标签)较较容易容易被混淆被混淆，这，这 是因为标准模拟信号输出为是因为标准模拟信号输出为 0-5 Vdc。引脚2在默认状态下输出5.12 Vdc 恒定电压，可作为设定值信号供电电压。 6针工业接头、针工业接头、DB9及及DB15通讯接口，请参见第通讯接口，请参见第72 84页页； PROFIBUS通讯接口引脚图，请参加第通讯接口引脚图，请参加第 70页。页。 8 注意注意! 请勿将电源接到引脚请勿将电源接到引脚 1 6，否则将导致设备永久性损换，否则将导致设备永久性损换 引脚引脚 功能功能 引脚线引脚线 1 不连接 (或用于选配的第一道 4-20mA 模拟信号输出) 黑色 2 5.12 Vdc 稳态直流电压 或用于选配的第二道模拟信号输出 (4-