无尘室行为规范

无尘室行为规范无尘室行为规范 品质管理系列品质管理系列 无尘无尘室管理规定室管理规定 更衣室管理规定更衣室管理规定 无无尘室外部环境管理规定尘室外部环境管理规定 无无尘尘室污染源室污染源 无尘室简介无尘室简介 静电环点检流程静电环点检流程 出无尘室流程出无尘室流程 进入无尘室流程进入无尘室流程 无尘无尘室管控手段室管控手段 无尘无尘室清洁卫生规范室清洁卫生规范 无尘室着装标准无尘室着装标准 目目 录录 注意事项注意事项 一、何为无尘室一、何为无尘室 无无尘室简介尘室简介 无无尘尘室室( (Clean Room)Clean Room)，也，也称为称为洁净室。是指将洁净室。是指将一定一定空间范围内之空间范围内之空气中的微空气中的微 粒子、有害空气粒子、有害空气、细菌等之、细菌等之污染物排除污染物排除，并将室内之，并将室内之温度温度、洁净度、室内、洁净度、室内压力、压力、 气流速度与气流分布气流速度与气流分布、噪音振动及、噪音振动及照明照明、静电控制在某、静电控制在某一需求一需求范围内，而所范围内，而所给予给予 特别特别设计设计之房间。之房间。 二、二、FSFS- -209E 209E 空气空气中悬浮粒子洁净度等级中悬浮粒子洁净度等级 0.50.5m m 微尘粒径微尘粒径 肉眼可视肉眼可视 (5(5m)m) 人类头发人类头发 (15(15m)m) 1/101/10 1/31/3 一般微粒粒径对比示意图一般微粒粒径对比示意图 无无尘室简介尘室简介 国际单位 英制单位 m3ft3m3ft3m3ft3m3ft3m3ft3 1M13509.9175.72.1430.90.875100.283/ 2M1.511240352657.5106335.31/ 3M2350099.175721.43098.751002.83/ 4M2.5101240035026507510603035310/ 5M3350009917570214309087.5100028.3/ 6M3.5100/26500750106003003530100/ 7M4/7570021403090087510000283/ 8M4.51000/3530010002477 9M5/100000283061817.5 10M5.510000/35300010000247070 11M6/1000000283006180175 12M6.5100000/353000010000024700700 13M7/10000000283000618001750 等级名称 等 级 限 值 NO. 容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位 0.1um0.2um0.3um0.5um5um 三、自然界三、自然界空气空气等级等级 1,0001,000 10,00010,000 外外太空太空 大气层大气层 田园地带田园地带 街市区街市区 10,000,00010,000,000 1,000,0001,000,000 100,000100,000 工业地带工业地带 无无尘室简介尘室简介 四、无四、无尘尘室洁净等级测试室洁净等级测试 无无尘室简介尘室简介 A A、测试、测试仪器仪器 PARTICLE COUNTERPARTICLE COUNTER粒子计数粒子计数 仪，测试仪，测试风速风速1CFM1CFM, ,每一点测试每一点测试 时间一分钟。时间一分钟。 无无尘室简介尘室简介 B B、测量、测量点的点的选择选择 1.1.检测在洁净工作区进行检测在洁净工作区进行, ,当生产工艺无特殊要求时当生产工艺无特殊要求时, ,测试高测试高 度一般取度一般取1 1米米. . 2.2.层流洁净室测点总数不应小于层流洁净室测点总数不应小于2020点点, ,测点间距为测点间距为0.50.5- -2 2米米, , 粒径大于或等于粒径大于或等于0.50.5微米的尘粒数允许有一点超过微米的尘粒数允许有一点超过. . 3.3.乱流洁净室可按洁净面积小于或等于乱流洁净室可按洁净面积小于或等于5050平方米布置平方米布置5 5个测个测 点点, ,每增加每增加2020- -5050平方米平方米, ,增加增加3 3- -5 5个测点个测点. . 4.4.最少测量点计算公式最少测量点计算公式: :面积的开根号面积的开根号 五、无五、无尘尘室的优点室的优点 一、无尘一、无尘车间内有大型中央空调，室内恒温恒湿，车间内有大型中央空调，室内恒温恒湿，不受不受外界气温外界气温影响影响， 环境环境舒适舒适。 二、无尘车间整洁、干净，有空气净化系统，室内空气等级远远二、无尘车间整洁、干净，有空气净化系统，室内空气等级远远好过好过 普通车普通车间间。 四、无尘车间内安静，无震动，噪音在四、无尘车间内安静，无震动，噪音在50dB50dB以内。以内。 五、五、无尘车间里面的生产设备都是高精密的仪器，生产无尘车间里面的生产设备都是高精密的仪器，生产安全得到严格安全得到严格 管控管控，安全有，安全有保障保障 六、六、在无在无尘车间内尘车间内穿着无尘服，戴口罩，不易穿着无尘服，戴口罩，不易被细菌传染，对皮肤比被细菌传染，对皮肤比 较好。较好。 七、无尘室内生产的产品质量有保证，产品合格率高，可以大幅降低七、无尘室内生产的产品质量有保证，产品合格率高，可以大幅降低 生产成本。生产成本。 无无尘室简介尘室简介 无尘室污染源无尘室污染源 无无尘室洁净度之维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好尘室洁净度之维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好的软件的软件 管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由下图测试结果来看，作业管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由下图测试结果来看，作业人员人员对无对无 尘尘室内洁净度影响最大，作业人员室内洁净度影响最大，作业人员进入无进入无尘室时尘埃有显著尘室时尘埃有显著增加，有增加，有人员来回人员来回走走 动等动等动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要原因为人为因素。原因为人为因素。 作业人员 70% 通风 12% 外来物品 10% 其它 8% 微尘来源数对比微尘来源数对比 一、无尘室污染源比例一、无尘室污染源比例 就就玻璃基板而言，微尘粒子之附着将造成玻璃基板的划伤，短路和贴附气泡玻璃基板而言，微尘粒子之附着将造成玻璃基板的划伤，短路和贴附气泡等等 制程品质不良制程品质不良，而造成报废。因此对污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。，而造成报废。因此对污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。 1 1. .外部尘埃侵入之防止外部尘埃侵入之防止 无无尘室适当正压保持（尘室适当正压保持（0.5mmHg0.5mmHg）, ,做好前期施工工程保证不漏气，人员做好前期施工工程保证不漏气，人员、 设备、原材料设备、原材料、治工具、耗材等携入无尘室之前必须做好清洁擦拭等防尘动作。、治工具、耗材等携入无尘室之前必须做好清洁擦拭等防尘动作。同同 时清洁工具时清洁工具需妥善需妥善放置放置及定时更换或清洁。及定时更换或清洁。 2 2. .无尘室内发生及防止无尘室内发生及防止 隔隔间板、地板等无尘室材料的适当选用，制程设备的发生控制即定期保养间板、地板等无尘室材料的适当选用，制程设备的发生控制即定期保养清清 洁洁，生产人员生产人员人在其位不得随意走动或较大肢体动作，特殊站点采取增加粘尘垫人在其位不得随意走动或较大肢体动作，特殊站点采取增加粘尘垫等等 预防施预防施。 3 3. .室内发生之不积累室内发生之不积累 组织组织生产人员定期清洁无尘室内的各个角落，遵循从上到下、从外到内的生产人员定期清洁无尘室内的各个角落，遵循从上到下、从外到内的清清 洁洁方法。方法。 4 4. .无尘等级极度劣化之处理无尘等级极度劣化之处理 暂停暂停所有生产，将设备、所有生产，将设备、治具治具等清洁后打包密封，等清洁后打包密封，检查检查净化净化设备设备、过滤、过滤网网 等等，采取泄采取泄压方式处理。压方式处理。 二、无尘室污染源说明二、无尘室污染源说明 无尘室污染源无尘室污染源 三、人为因素产生的污染源三、人为因素产生的污染源 构成构成 细细 部部 事事 项项 唾唾 沫沫 人说话和打喷嚏的时候会产生人说话和打喷嚏的时候会产生2020- -3030的小水滴（蛋白酶的小水滴（蛋白酶, ,盐盐, ,食物颗粒）食物颗粒） 汗水、泪汗水、泪 剧烈运动后剧烈运动后3030分钟以内不能进入室内分钟以内不能进入室内 皮肤表皮皮肤表皮 2020- -4040大小大小, , 人的表皮人的表皮2 2- -3 3日会产生新的表皮，死的表皮会脱落。日会产生新的表皮，死的表皮会脱落。 化妆品化妆品 睫毛膏睫毛膏, ,胭脂，粉底胭脂，粉底, ,指甲油等指甲油等, ,会产生数千到数亿个会产生数千到数亿个0.50.5以下的灰尘以下的灰尘 鼻子、耳鼻子、耳 朵分泌物朵分泌物 人体新陈代谢的产物人体新陈代谢的产物 头头 发发 6060- -100100的大小的大小 1 1厚度厚度 510510个表皮层个表皮层 无尘室污染源无尘室污染源 四四、人为因素污染源、人为因素污染源数量数量与与活动量的活动量的关系关系 无尘室污染源无尘室污染源 ( (正常呼吸条件下正常呼吸条件下) ) 粒子粒径粒子粒径( (微米微米) ) 刷衣服刷衣服 1.51.5- -3 3 跺脚跺脚( (不带鞋套不带鞋套) 10) 10- -5050 跺脚跺脚( (带鞋套带鞋套) 1.5) 1.5- -3 3 从口袋中掏手绢从口袋中掏手绢 3 3- -1010 正常呼吸正常呼吸 1 1 吸烟者的呼吸吸烟者的呼吸( (吸烟吸烟2020分钟之后分钟之后) 2) 2- -5 5 打喷嚏打喷嚏 5 5- -2020 磨擦手或脸磨擦手或脸 1 1- -2 2 4 4- -5 5人一起走动人一起走动 1.51.5- -3 3 正常行走正常行走 1.21.2- -3 3 静坐静坐 1 1- -1.21.2 每分钟产生的每分钟产生的0.50.5微米粒子微米粒子 坐姿、站立不动坐姿、站立不动 100000100000 坐姿、头臂有动作坐姿、头臂有动作 500000500000 坐姿、臂、腿、头有活动坐姿、臂、腿、头有活动 10000001000000 起立起立 25000002500000 慢走慢走 50000005000000 正常行走正常行走 75000007500000 每秒每秒2.52.5米速度行走米速度行走 1000000010000000 工作时工作时 1500000015000000- -3000000030000000 无尘室外部环境管理规定无尘室外部环境管理规定 走廊走廊内不可大声喧哗、不可以跑步、不可以唱歌、不可以搭背行走内不可大声喧哗、不可以跑步、不可以唱歌、不可以搭背行走； 不允许敲玻璃窗或墙壁，如果要找人不允许敲玻璃窗或墙壁，如果要找人请用通话器；请用通话器； 走廊内不可以乱扔垃圾，如见到地下有垃圾应随手捡起走廊内不可以乱扔垃圾，如见到地下有垃圾应随手捡起； 不可不可将食物带入茶水间；将食物带入茶水间； 下班倒垃圾时需经更衣室安检员确认方可倒入垃圾房，且垃圾袋不可以下班倒垃圾时需经更衣室安检员确认方可倒入垃圾房，且垃圾袋不可以 在地下拖动。避免把地板划伤在地下拖动。避免把地板划伤； 宣传栏上张帖的内容和海报，不允许撕毁或涂改宣传栏上张帖的内容和海报，不允许撕毁或涂改； 切记不要穿错别人的拖鞋。更不要切记不要穿错别人的拖鞋。更不要将将贵宾贵宾鞋鞋或蓝色拖鞋拿回宿舍用或蓝色拖鞋拿回宿舍用。 更衣室管理规定更衣室管理规定 1.1.进入更衣室