Оптико-электронныйизмерительмикроперемещений
- 光学-电电子微动动动动 作测测量仪仪. , 符·符·巴拉诺诺夫 , , , 6 白俄罗罗斯国立信息工程和无线电线电 大学教授，明斯克市，博罗罗夫基大街6 号 vvbbsuir.by . , 符·伊·伊利林 , , - , 68 白俄罗罗斯国家科学院物理研究所实验实验 室主任，明斯克市，独立大街68号 ilyininel-bas.net 目录录 n 总则总则 n 测测量仪样仪样 机的 各个组组成部分 n 结结构和工作 原理 n 工作特点 n 参数软软件 n 计计量评评估 n 总结 总则总则 - , , , ( - VLSIs) 光学-电电子微动动动动 作测测量仪仪用于产产品表面规规格、位 移、侧侧面，以及大规规模集成电电路、超大规规模集成中 晶圆变圆变 形的非接触式测测量。 总则总则 - - 光学光学- -电电子微子微 动动动动 作作测测量量仪仪属于三角属于三角 函数激光微函数激光微动测动测 量量仪仪。 (). (). 样样机由机由 以下部分以下部分组组成：成： 三角函数激光微三角函数激光微动动 测测量量仪仪 .带带微微动进给载动进给载 物台的底座。物台的底座。 测测量仪样仪样 机的各个组组成部分 :三角函数激光微动测量仪包括：n 5 = 670 ,功率为5毫瓦，辐射波长 = 670纳米的半导体激光器； n , ,将激光焦点投射到被测量物体表面的聚焦 透镜；n 16,焦距为16毫米 的显示透镜；n ,校准镜n 半导体激光接收条和n .测量信息处理 和半导体激光接收条、半导体激光器控制用微处理器单元。 , .三角函 数激光微动测量仪可以接入计算机标准接口，并将测量信息显示软件下载到计 算机上。 结结构和工作原理 . 1 2 6. 3 CMOS- 4. 6 6' . 5 4. 测量仪根据光学三角原理进行测量 。镜头2将半导体激光器辐射聚焦 到物体6上。分散在物体上的散射被 镜头3集中到互补型金属氧化物半 导体接收条4上。物体6移动6'时， 物体的图像也随之移动。信号处理 器5根据在接收条4上的光点位置计 算物体的移动距离。 工作特点 :在三角函数激光微动测量仪同电源连接时，应 当采用工作人员推荐接口： , RF60X-SP然后启动 三角函数激光微动测量仪设置软件RF60X-SP标记标记 DB9F DB9F接触片 Power U+ 电电源正极U+ Power U -电电源负负极U TXD数据发射、分配单元2RXG接收输出增益调整单元 3Grd接地 5 参数软软件 “RF60-SP” :“RF60-SP”软件用于：n ;测试和演示三角函数激光微动测量仪工作过程；n ;设置三角函数激光微动测量仪； ;进行数据接收和累加； 在打开软件后，出现工作窗口。 参数软软件 “UART Baud Rate“ , ( 9600 /),在“UART Baud Rate“ （通用异步收发报机波特率）行中，选择 三角函数激光微动测量仪测量速度（初始设置为9600比特/秒）。 “COM Number“ RS232 , ,在“COM Number“（通讯端口号）行中，选择个人计算机 RS232端口作为三角函数激光微动测量仪接入端口， “Net Number of Device“ ( “1“),在“Net Number of Device“（设备网络号）行，确定三角函数激光微动测量仪的网络 地址（初始设置地址-1）， “Connect“ RF60-SP , . , .在按下“Connect“（连接）键后， RF60-SP软件试图建立三角函数激光微动测量仪与上述各行已经设定参数之间的连接。 参数软软件 :在顺利连接后： 1) “Device Type“ ;在“Device Type“（设备类 型）行中，显示三角函数激光微动测 量仪 类型； 2) “Serial Number“ - ;在“Serial Number“ （序列号）行中，显示三角函数激光微动测 量 仪序列号； 3) “Base Distance“ - ; 在“ Base Distance “ （基准距离）行中，显示三角函数激光微 动测 量仪基准距离； 4) “Measuring Range“ , :在“Measuring Range“ （测量范围）行中，显示三角函数激光微动测 量仪测 量范围； 参数软软件 : .在顺利完成连接后，检查仪 器 的工作能力： “Measure« “Oscillosco按右键，弹出菜 单“将数据保存在文件中”。
