湖北兴福电子材料有限公司6万吨芯片用超高纯电子级化学品项目环境影响报告书

6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 目录 湖北昌荣环保咨询有限公司 1 目 录 前言前言.1 1 总则总则.5 1.1 编制依据编制依据.5 1.2 评价目的与评价原则评价目的与评价原则.7 1.3 环境影响识别及评价因子筛选环境影响识别及评价因子筛选.8 1.4 评价等级、评价范围评价等级、评价范围.9 1.5 评价时段、内容与重点评价时段、内容与重点.16 1.6 环境功能区划环境功能区划.17 1.7 评价标准评价标准.17 1.8 环境保护目标环境保护目标.20 1.9 政策与规划及环境功能区划相符性分析政策与规划及环境功能区划相符性分析.21 2 现有工程概况现有工程概况.34 2.1 公司简介公司简介.34 2.2 现有项目工程概况现有项目工程概况.35 2.3 现有项目生产工艺流程及产排污节点现有项目生产工艺流程及产排污节点.51 2.4 现有项目污染物治理及达标情况现有项目污染物治理及达标情况.64 2.5 现有项目存在的环保问现有项目存在的环保问题及题及“以新带老以新带老”整改措施整改措施.75 3 技改技改工程概况及工程分析工程概况及工程分析.76 3.1 技改项目概况技改项目概况.76 3.2 主要原辅材料主要原辅材料.85 3.3 主要生产设备主要生产设备.87 3.4 生产工艺流程及产污环节生产工艺流程及产污环节.89 3.5 平衡分析平衡分析.95 3.6 运营期污染物产排分析运营期污染物产排分析.98 3.7 施工期污染物产排分析施工期污染物产排分析.105 3.8 非正常工况非正常工况.106 6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 目录 湖北昌荣环保咨询有限公司 2 3.9“三本账三本账”分析分析.107 4 项目所在地区环境概况项目所在地区环境概况.108 4.1 自然环境概况自然环境概况.108 4.2 环境质量现状调查与评价环境质量现状调查与评价.111 5 环境影响评价环境影响评价.128 5.1 运营期环境空气影响评价运营期环境空气影响评价.128 5.2 运营期地表水环境影响评价运营期地表水环境影响评价.140 5.3 运营期声环境影响分析运营期声环境影响分析.142 5.4 运营期固体废物影响分析运营期固体废物影响分析.144 5.5 地下水环境影响分析地下水环境影响分析.145 5.6 土壤环境影响分析土壤环境影响分析.154 5.7 施工期环境影响分析施工期环境影响分析.155 5.8 对区域环境保护目标影响分析对区域环境保护目标影响分析.157 6 环境风险评价环境风险评价.159 6.1 风险调查风险调查.159 6.2 环境风险潜势划分环境风险潜势划分.162 6.3 环境风险识别环境风险识别.167 6.4 风险事故情形分析风险事故情形分析.175 6.5 源项分析源项分析.177 6.6 风险预测与评价风险预测与评价.179 6.7 环境风险防范环境风险防范措施措施.181 6.8 事故防范措施事故防范措施.184 6.9 突发事故应急预案突发事故应急预案.188 6.10 环境风险评价结论环境风险评价结论.193 7 污染防治措施及可行性分析污染防治措施及可行性分析.194 7.1 运营期大气污染防治措施运营期大气污染防治措施.194 7.2 运营期水污染防治措施运营期水污染防治措施.198 7.3 运营期噪声治理措施运营期噪声治理措施.203 6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 目录 湖北昌荣环保咨询有限公司 3 7.4 运营期固体废物处理与处置措施运营期固体废物处理与处置措施.204 7.5 施工期污染防治措施施工期污染防治措施.207 7.6 其它污染防治措施其它污染防治措施.209 8 环境经济损益分析环境经济损益分析.210 8.1 环保投资估算环保投资估算.210 8.2 经济效益分析经济效益分析.212 8.4 环境效益分析环境效益分析.212 9 环境管理与环境监测计划环境管理与环境监测计划.213 9.1 环境管理环境管理.213 9.2 环境监测环境监测.214 9.3 总量控制总量控制.216 9.4 项目环境保护验收一览表项目环境保护验收一览表.218 10 评价结论评价结论.220 10.1 项目概况项目概况.220 10.2 环境可行性环境可行性.220 10.3 总结论总结论.225 6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 目录 湖北昌荣环保咨询有限公司 1 附图：附图：附图 1：项目区地理位置图 附图 2：项目评价范围图 附图 3：项目周边敏感点分布图 附图 4：项目平面布局图 附图 5：项目分区防渗图 附图 6：项目与宜昌市生态、环境空气及地表水红线规划相对位置关系图 附件：附件：附件 1：委托书 附件 2：备案证 附件 3：现有工程环评及验收批复 附件 4：监测报告 附件 5：化工园区规划环评批复 附表：附表：附表 1：建设项目环评审批基础信息表 6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 前言 湖北昌荣环保咨询有限公司 1 前言 1、项目背景、项目背景 湖北兴福电子材料有限公司由湖北兴发化工集团股份有限公司与华星控股有限公司共同出资组建，注册资本 1.38 亿元，其中湖北兴发化工集团股份有限公司出资人民币12550 万元，占注册资本的 90.94%；华星控股有限公司出资人民币等值外币 1250 万元，占注册资本的 9.06%。公司于 2008 年 11 月注册成立，位于宜昌市猇亭区猇亭大道 66-3号，占地面积 250 亩，现有员工 230 人，资产总额 4.8 亿元。公司主要从事化工产品及其包装物的生产、销售；电子化学品批发；硅烷、液氨批发；太阳能光伏组件、电池、硅片、硅棒、硅料、硅锭、硅粉、金属制品、机械器具及零件的批发及其相关技术服务与咨询。先后兴建了 3 万吨/年电子级磷酸及配套电子级包装桶项目、3 万吨/年电子级蚀刻液项目、1 万吨/年电子级硫酸项目、2 万吨/年电子级四甲基氢氧化铵项目、3 万吨/年电子级氢氟酸项目及配套、8 万吨数/年双氧水副产氢气综合利用项目。集成电路是一种把半导体设备和其他被动组件制造在硅晶圆表面上的技术，广泛应用于汽车、电子、通讯等领域。经过改革开放以来 40 多年的发展，特别是 2000 年国务院关于印发鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知发布以来，中国集成电路市场和产业规模都实现了快速增长。在集成电路配套方面，部分关键装备和材料也实现了从无到有，被国内外生产线采用。集成电路制造过程中洗净(包括干燥)、光刻、蚀刻、显影、去膜、掺杂等工艺流程都会用到化学品，这些化学品主要包括单酸类的硫酸、磷酸、氢氟酸等，还有配方类的功能混配产品。我国集成电路产业起步较晚，核心技术缺失，高端芯片仍然大规模依赖进口。集成电路配套化学品经过近几年的发展，虽然在国内外 8&12 寸晶圆厂有使用，高端技术（28nm以上）所用化学品基本上全部依赖进口。湖北兴福电子材料有限公司已充分掌握了芯片用超高纯的电子级磷酸、电子级硫酸、工业双氧水、混配化学品等湿电子化学品生产核心技术，研发出了晶圆减薄液、金属蚀刻液等新型功能电子化学品，在电子材料领域具备了国际水平的技术能力，形成了较大竞争优势。目前大多电子级化学品技术为保密状态和技术封锁状态，本项目利用兴福公司掌握的自有技术，具有技术优势。6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 前言 湖北昌荣环保咨询有限公司 2 鉴于上述情况，结合企业自身发展需求，进一步深加工提高产品附加值、进一步提高企业经济效益，湖北兴福电子材料有限公司计划投资 53015 万元，建设 6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目。主要建设内容包括：3 万吨电子级硫酸（含 318 国道南侧电子级硫酸装置就地技术改造）、1 万吨电子级双氧水、2 万吨电子级蚀刻液装置，及其配套设施。项目建成后，年产 6 万吨芯片用超高纯电子级化学品（新建 2 万吨/电子级硫酸装置位于 318 国道北侧）。本项目 已通 过宜 昌市 猇亭 区发 展和改 革局 备案，登 记备 案项 目编 号：2020-420505-26-03-002757。项目的实施将产生良好的经济社会效益。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法和建设项目环境保护管理条例以及建设项目环境影响评价分类管理名录等法律法规规定，本项目为芯片用超高纯电子级化学品项目，属于“十五、化学原料和化学制品制造业36、基本化学原料制造：除单纯混合和分装外的”，该项目应当编制环境影响报告书。2、建设项目特点、建设项目特点（1）工程特点 项目为技改项目，在原有 1 万吨/年电子级硫酸装置厂房内空闲地新建 1 万吨/年电子级硫酸装置。同时在宜昌新材料产业园 C 区先锋一路 107 平台旁新增 1 套 2 万吨/年电子级硫酸装置，在宜昌新材料产业园 C 区工业级双氧水装置旁和宜昌新材料产业园 C 区TMAH 仓库旁各新增提纯装置，均利用公司现有原料提纯后得电子级双氧水 1 万吨/年，电子级蚀刻液 2 万吨/年。（2）环境特点 根据现场踏勘，湖北兴福电子材料有限公司 6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目位于宜昌市猇亭区兴发集团材料产业园区，具体地点是宜昌市猇亭区猇亭大道 66-3 号，项目厂区东侧为湖北宝塔纸业有限公司，其它方向与湖北兴瑞硅材料有限公司相邻。3、环评工作过程、环评工作过程 湖北兴福电子材料有限公司于2020年1月书面委托湖北昌荣环保咨询有限公司承担“6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目”的环境影响评价工作。我单位在接受委托后，随即组织有关技术人员对工程场址及其周围环境进行了详尽的实地勘查和相关资料的收集、核实与分析工作，制定了工作方案。环评期间，我单位与建设单位相关人员就项目组成、生产工艺、产污节点及所采取的污染防治措施等多次进行沟通确认，并初步完成了项目工程分析及污染防治措施分析6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 前言 湖北昌荣环保咨询有限公司 3 内容，并在环境现状监测的基础上进行了相关环境影响评价。按照环境影响评价技术导则所规定的原则、方法、内容及要求，并结合产业政策、项目污染特点、环境质量现状、环境影响预测等材料于 2020 年 3 月编制完成了6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目环境影响报告书（送审稿），并于 2020 年 3 月提交建设单位呈报宜昌市生态环境局审查。评价工作程序见图 1。图图 1 评价技术路线评价技术路线 4、关注的主要环境问题、关注的主要环境问题 本项目可能造成的主要环境问题如下：（1）项目废水、废气、固体废物及噪声污染排放特征，污染源能否稳定达到排放标准的要求。（2）项目采取的各项污染防治措施的合理性、技术经济可行性。6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 前言 湖北昌荣环保咨询有限公司 4（3）建设项目投入运营后废气、废水、噪声和固体废物对周围环境的影响范围和程度。（4）建设项目污染物总量控制情况。5、报告书主要结论、报告书主要结论 6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目的建设符合相关产业政策、环保政策以及各项规划要求，项目组成、选址、布局、规模、工艺合理可行，项目资源利用率高、能耗低、污染物产生量较少，具有较好的环境和经济效益，同时有利于当地经济发展和人民生活质量的提高。项目在运行过程中将产生一定的废气、废水、噪声及固体废物的污染，在严格落实各项环境影响减缓措施、实施环境管理与监测计划以及环境风险防范措施以后，各类污染物可达标排放，符合总量控制及清洁生产的要求。在认真落实各项环保措施、严格执行“三同时”制度及国家环保法律法规、加强环境管理的前提下，从环境保护角度分析，本项目的建设是可行的。6 万吨/年芯片用高纯电子级化学品项目 1 总则 湖北昌荣环保咨询有限公司 5 1 总则总则 1.1 编制依据编制依据 1.1.1 国家有关环境保护政策法规国家有关环境保护政策法规（1）中华人民共和国环境保护法（2015 年 1 月）；（2）中华人民共和国环境影响评价法（2019 年 1 月；根据 201