能谱分析EDX-操作规范

能谱分析EDX1. 开始菜单-<Programs>-<Edax Genesis>-<Genesis RTEM>，出现RTEM control界面。2. 确定物镜光阑已经退出。3. 调节放大倍数，使Mag.在SA倍以上（LA低倍下易探到Cu网，CPS值剧增）；调节样品位置，使其不要在铜网边缘。4. 在RTEM Control界面中点IN，此时EDX探头将会伸入。5. 注意RTEM control下拉界面的Actual CPS值，调节到2000-3000。调节方法：（1） spot size增大，CPS减小（spot size一般>3）（2） 如果CPS值太小，调节Holder的角度（Search-stage右拉-Set Alpha 10o）（3） 如果还不行，调节聚光镜光阑（一般不用）。6. 在主程序中选择EDX菜单，点击view，进行谱峰浏览。7. 判断EDX各项指数正常，谱图中需要的元素能够出现谱峰。8. 一切正常，则可点击Acquire开始做能谱分析。再次点击Acquire停止分析。<注意事项>1. counts/s值最好大于800。2. Dead time的数值不能为红色，若为红色，表明光太强，需要将光斑发散，或者将spot size变小。3. Dead time一般到20-30%最好4. 如果转动了Holder的角度，记住完成EDX后，把角度恢复。EDX软件分析1. 点击软件右下方的图标，进入能谱分析界面TIA。2. 在View中调出元素周期表选择需要分析的元素。3. 点击Quantify进行定量分析。4. 数据保存 点击谱图，选择File-Save As 保存原始数据为emi格式 右击谱图，选择Export 输出格式为tif或bmp的图片。 点击数据分析结果，选择File-Save As 保存数据分析结果为txt格式。软件右侧工具栏中最右侧第二个图标（实心的两个峰）peak定峰。第5个图标（实心两个峰%）定量分析。