洁净室测试方法

洁净室测试方法 A.1 风量或风速的检测 A.1.1 对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方 法确定送风量。离高 效过滤器 0.3m，垂直于气流的截面作为采样 测试截面，截面上测点间距不宜大于 0.6m， 测点数不应少于 5个， 以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。 A.1.2 对于非单向流洁净室，采用风口法或风管确定送风量，做法 如下： 1 风口法是在安装有高效过滤器的风口处，根撼风口形状连接 辅助风管进行测量。 即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形 状及内截面相同、 长度等于2倍风口长边长的直管段，连接于风口外 部。在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于 6 点均匀布 置， 使用热球式风速仪测定各测点之风速。 然后，以求取的风口截面平均 风速乘以风口净截面积求取测定风量。 2 对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可 以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3 倍管径或长边长，局部阻力部件后5 倍管径或长边长的部位。 对于矩形风管，是将测定截面分割成若干个相等的小截面。 每个 小截面尽可能接近正方形，边长不应大于 200mm，测点应位于小截 面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3 个。 对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相 同的同心圆环，每个圆环测4 点。 根据管径确定圆环数量，不宜少于 3 个。 A.2 静 压 差 的 检 测 A.2.1 静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压， 由平面布置上与离外 界最远的里间房间开始，依次向外测定。 A.2.2 采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。 A.2.3 有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的 气流流向。洞口的平 均风速大于等于 0.2m/s 时，可用热球风速仪 检测。 A.3 空气过滤器泄漏测试 A.3.1 高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒 子计数器，D 类高效过 滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数 器。 A.3.2 采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引人均匀浓度 的大气尘或含其他气 溶胶尘的空气。 对大于等于0.5m尘粒，浓度 应大于或等于 3.5×105pc/m3；或对大于或 等于 0.1m 尘粒，浓 度应大于或等于 3.5×107pc/ m3；若检测 D 类高效过滤器，对大于 或等于0.1m 尘粒，浓度应大于或等于3.5×109pc/ m3。 A.3.3 高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计 数器的等动力采样 头，放在距离被检部位表面 2030mm 处，以 5 20mm/s 的速度，对过滤器的表面、边框和封头胶处进行移动扫描 检查。 A.3.4 泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效 过滤器下风侧测得的 泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于 出厂合格透过率的 2 倍；D 类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 3 倍。 A.3.5 在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行定点 检验。 A.4 室内空气洁净度等级的检测 A.4.1 空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态（空态、静 态、动态）下进行。 A.4.2 检测仪器的选用，应使用采样速率大于 1 L/min 的光学粒子 计数器。在仪器选 用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范 围和计数效率。仪表应有有效的标定合格 证书。 A.4.3 采样点的规定： 1 最低限度的采样点数NL，见表11.4.2-3。 2 采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（距 地坪 0.8m 的水平面），或设计单位、业主特指的位置。 A.4.4 采样量的确定； 1 每次采样的最少采样量见表11.4.2-4。 2 每个采样点的最少采样时间为1min，采样量至少为 2L。 3 每个洁净室（区）最少采样次数为 3 次。当洁净区仅有一个 采样点时，则在该点 至少采样3 次。 4 对预期空气洁净度等级达到 4 级或更洁净的环境，采样量很 大，可采用 IS0146441附录 F规定的顺序采样法。 A.4.5 检测采样的规定； 1 采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内的设计气流 速度。 2 对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向； 对于非单向流洁净 室，采样管口宜向上。 3 采样管必须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据 允许长度确定，如果 无规定时，不宜大于1.5m。 4 室内的测定人员必须穿洁净工作服，且不宜超过 3 名，并应 远离或位于采样点的 下风侧静止不动或微动。 A.4.6 记录数据评价。空气洁净度测试中，当全室（区）测点为 2 9 点时，必须计算每个采样点的平均粒子浓度 Ci值、全部采样点的 平均粒子浓度 N 及其标准差，导出 95%置 信上限值；采样点超过 9 点时，可采用算术平均值 N作为置信上限值。 1 每个采样点的平均粒子浓度 Ci应小于或等于洁净度等级规定 的限值，见表11.4.2-5。 2 全部采样点的平均粒子浓度 N 的95%置信上限值，应小于或等 于洁净度等级规定的限值。即： （）级别规定的限值 式中 室内各测点平均含尘浓度，； 测点数； 室内各测点平均含尘浓度N 的标准差：； 置信度上限为 95%时，单侧 t 分布的系数，见表 11.4.2- 6。 A.4.7 每次测试应做记录，并提交性能合格或不合格的测试报告。 测试报告应包括以下 内容： nstN/ NnCN i/ n s 1 )( 2 n NC s i t 1 测试机构的名称、地址； 2 测试日期和测试者签名； 3 执行标准的编号及标准实施日期； 4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标 图； 5 被测试的洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径（或 沉降菌、浮游菌）、被测洁净室所处的状态、气流流形和静压差； 6 测量用的仪器的编号和标定证书；测试方法细则及测试中的 特殊情况； 7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度 （或沉降菌、浮游菌的 菌落数）； 8 对异常测试值进行说明及数据处理。 A.5 室内浮游菌和沉降菌的检测 A.5.1 微生物检测方法有空气悬浮微生物法和沉降微生物法两种， 采样后的基片（或平 皿）经过恒温箱内 37、48h 的培养生成菌落 后进行计数。使用的采样器皿和培养液必须进行消毒灭菌处理。采样 点可均匀布置或取代表性地域布置。 A.5.2 悬浮微生物法应采用离心式、狭缝式和针孔式等碰撞式采样 器，采样时间应根据 空气中微生物浓度来决定，采样点数可与测 定空气洁净度测点数相同。 各种采样器应按仪器说明书规定的方法使 用。 沉降微生物法，应采用直径为 90mm 培养皿，在采样点上沉降 30min 后进行采样，培养皿最少采样数应符合表 13.2.4.2的规定。 A.5.3 制药厂洁净室（包括生物洁净室）室内浮游菌和沉降菌测试， 也可采用按协议确 定的采样方案。 A.5.4 用培养皿测定沉降菌，用碰撞式采样器或过滤采样器测定浮 游菌，还应遵守以下 规定； 1 采样装置采样前的准备及采样后的处理，均应在设有高效空 气过滤器排风的负压 实验室进行操作，该实验室的温度应为 22±2；相对湿度应为50%±10%； 2 采样仪器应消毒灭菌； 3 采样器选择应审核其精度和效率，并有合格证书； 4 采样装置的排气不应污染洁净室； 5 沉降皿个数及采样点、 培养基及培养温度、 培养时间应按有关 规范的规定执行； 6 浮游菌采样器的采样率宜大于100L/min； 7 碰撞培养基的空气速度应小于20m/s。 A.6 室内浮游菌和沉降菌的检测 A.6.1 根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度 的仪表进行测定。每 次测定间隔不应大于30min。 A.6.2 室内测点布置： 1 送回风口处； 2 恒温工作区具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或 等距离布置）； 3 没有恒温要求的洁净室中心； 4 测点一般布置在距外墙表面大于 0.5m，离地面的同一高度 上；也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平 面上。 A.6.3 测点数应符合表11.4.2-2 的规定。 A.6.4 有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温 度中偏差控制点温度 的最大值，占测点总数的百分比整理成累计统 计曲线。如 90%以上测点偏差值在室温波 动范围内，为符合设计 要求。反之，为不合格。 区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准，各测点平均 温度与超偏差值的点 数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线， 90%以上测点所达到的偏差值为区域温 差，应符合设计要求。相对 温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。 A.7 单向流洁净室截面平均速度， 速度不均匀度的监测 A.7.1 洁净室垂直单向流和非单向流应选择距墙或围护结构内表面 大于 0.5m，离地面高 度 0.51.5m作为工作区。水平单向流以距送 风墙或围护结构内表面0.5m 处的纵断面为 第一工作面。 A.7.2 测定截面的测点数应符合表11.4.2-3 的规定。 A.7.3 测定风速应用测定架固定风速仪，以避免人体干扰。不得不 用手持风速仪测定 时，手臂应伸至最长位置，尽量使人体远离测 头。 A.7.4 室内气流流形的测定，宜采用发烟或悬挂丝线的方法，进行 观察测量与记录。然 后，标在记录的送风平面的气流流形图上。一 般每台过滤器至少对应1 个观察点。 风速的不均匀度 0按下列公式计算，一般 0值不应大于 0.25。 式中 各测点风速的平均值（m/s）； s 0 标准差。 A.8 室内噪声的监测 A.8.1 测噪声仪器应采用带倍频程分析的声级计。 A.8.2 测点布置应按洁净室面积均分，每 50m2设一点。测点位于其 中心，距地面1.11.5m 高度处或按工艺要求设定。 s