8低温泵系列资料

莱宝真空1 低温泵 莱宝公司全系列产品样本低温泵系列 低温泵 概述 附件、低温泵的应用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 低温冷头应用和附件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 低温泵 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 低温冷头的制冷能力 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 冷头 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 压缩机 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 产品 iCL系列全自动再生低温泵 COOLVAC 1500iCL, 2000 iCL , 3000 iCL,5000 iCL , 10000 iCL . . . . . . . . . . . . . 10 低温制冷机气动单级冷头COOLPOWER 50和140 T . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 气动双级冷头COOLPOWER 7 / 25、5 / 100 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 电机驱动冷头COOLPOWER 10 MD/250MD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 气动冷头和低温泵的压缩机，水冷版COOLPAK 2000 /2200 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 气动冷头和低温泵的压缩机，水冷版COOLPAK 6000 H/6200 H/6000 HD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 电机驱动冷头和低温泵的压缩机，水冷COOLPAK 6000 HMD/6200 HMD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27 压缩机COOLPAK的通用附件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 9700型低温控制器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 211S型低温测量仪表 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 温度传感器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 泄压阀 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 目 录 莱宝真空 莱宝公司全系列产品样本低温泵系列 2 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n 附件 页码 压缩机 COOLPAK 2000 /2200 25 压缩机 COOLPAK 6000 H/6200 H/6000 HD 29 温度传感器 39 氦管分配器 GD 2 33 氦管分配器 GD 4 33 n = 仅限双泵操作和多泵组合操作 概述 应用 UHV 系统 粒子加速器的电子束管 转移室/进样室 科研 镀膜系统 溅射系统 离子注入机 空间模拟室 电子束焊接系统 附件、低温泵的应用 COOLVAC 10000iCL COOLVAC 5000iCL COOLVAC 1500iCL 低温泵 COOLVAC 2000iCL COOLVAC 3000iCL n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n 莱宝真空3 低温泵 莱宝公司全系列产品样本低温泵系列 应用 样品和检测仪的冷却 超导体的冷却 低温泵的冷却 气体清洁 传感器的校准 光谱学 红外光谱 矩阵光谱 超导体的试验 超导磁铁、线圈和元件的冷却 HTC + LTC 单位的换算 摄氏温标、华氏温标、开氏温标 开氏温标（温度单位缩写K） 开氏温度标换算与摄氏温标的转换 公式如下： n °C = (n + 273 .15) K . 华氏与摄氏和开氏温标的转换 公式如下 n °F = 5/9 (n 32) °C n °F = 5/9 (n + 459 .67) K . 转换等式见如下所示： m K = (m 273 .15) °C m °C = (1 .8 m + 32) °F m K = (1 .8 m 459 .67) °F . 绝对零点转换： 0 K = -273 .15 °C ; -459 .67 °F . bar, psi 1 bar = 14 .5 psi 1 MPa = 10 bar 低温冷头应用和附件 附件 页码 压缩机 COOLPAK 2000 /2200 25 压缩机 COOLPAK 6000 H/6200 H 29 压缩机 COOLPAK 6000 HMD/6200 HMD 31 37 211S 型低温测量仪表 38 温度传感器 39 ( n ) = 仅限高温超导应用（HTc） n n n n n n n n n n n n n n n n COOLPOWER 250 MD COOLPOWER 10 MD COOLPOWER 7/25 COOLPOWER 5/100 COOLPOWER 50 低温冷头 COOLPOWER 140 T n n n n n n ( n ) ( n ) n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ( n ) ( n ) n n 6 7 5 4 8 9 1 2 3 10 11 莱宝真空 莱宝公司全系列产品样本低温泵系列 4 1 高真空法兰 2 泵体 3 排气口外形尺寸 4 带连接法兰用于连接 排气管的安全阀 5 热辐射防护屏 6 障板 7 二级冷头 8 冷伞 9 一级冷头 10 氦气接口 11 带外壳和电气接头的冷头电机 COOLVAC 低温泵（示意图） 低温泵 莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的 COOLPOWER双级冷头冷却（Gifford/ McMahon原理）。 有关COOLVAC系列低温泵的设计，请 见以下示意图的内容。 一级冷头（9）冷却热辐射防护屏和低 温泵的障板（6）。 根据泵的型号和工作条件不同，达到 45到80K的工作温度，水蒸汽在这里冷 凝。 热辐射防护屏和障板为铜质，它们能很 好地传递热量，从而优化制冷容量。 另外，热辐射防护屏经过抛光，将反射 损失降到最小。 二级冷头（7）用于冷却冷伞（8）。 根据工作条件，达到 10到 20 K的工作 温度。 氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。 冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相 连。氢气、氖气和氦气被吸附到冷伞上 面部分覆盖活性炭上。 低温泵的工作范围10-3到10-11mbar （0 .75 x 10-3到0 .75 x 10-11托）属于 气体捕集泵。工作原理是将气态物质通 过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。 为了能够获得高真空或超高真空，冷表 面（低温板）必须冷却到足够低的温 度。根据所用冷却系统的类型可以分为 制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发 器低温泵。 莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。 客户得益 低温泵的优势： - 所有气体都有高抽速 - 对水汽有极高的抽速 对于相同直径的高真空法兰，低温泵可 以达到所有高真空泵最高的抽速。 低温泵的优势2： 与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相 比，低温泵在真空侧没有任何机械活动 部件、润滑油或脂润滑部件。所以： - 10-3 至 10-11 mbar (0 .75 x 10-3 至 0 .75 x 10-11 Torr) .压强范围的无烃 真空 - 对外部振动不敏感 其它优点： - 与其他高真空泵相比更加紧凑（抽 速大于1500 l x s-1） - 仅启动和再生期间需要前级泵 - 利用计算机更容易对工艺和泵进行 控制 - 性价比更高，使用成本更低，尤其 是需要大抽速的应用 莱宝真空5 低温泵 莱宝公司全系列产品样本低温泵系列 COOLVAC制冷机低温泵 COOVAC系列的所有低温泵都配有安 全阀（UHV型带有爆破膜），安全阀由 工厂设置，过压150mbar（113托）时 打开。 低温泵的再生 低温泵工作的一个重要方面是再生。由 于低温泵属于气体捕集泵，所以被抽气 体都蓄积在泵内，饱和